Dual-Damascene ose fa'agasologa fa'atekonolosi fa'aaogaina e gaosia ai feso'ota'iga u'amea i totonu o feso'ota'iga tu'ufa'atasi. O se isi atinaʻe o le faʻagasologa o Tamaseko. E ala i le faia i pu ma grooves i le taimi lava e tasi i le laasaga lava lea e tasi ma faʻatumu i latou i uʻamea, o le gaosiga tuʻufaʻatasia o fesoʻotaʻiga uamea ua iloa.
Aiseā ua taʻua ai o Tamaseko?
O le aai o Tamaseko o le laumua lea o Suria, ma o pelu a Tamaseko e taʻutaʻua i lo latou maʻai ma le matagofie o le fausaga. E manaʻomia se ituaiga faiga faʻapipiʻi: muamua, o le mamanu manaʻomia o loʻo togitogia i luga o le uʻamea o Tamaseko, ma o mea na saunia muamua e faʻapipiʻiina lelei i totonu o vaʻa togitogiga. A maeʻa le faʻapipiʻiina, atonu e le tutusa teisi luga. O le tufuga o le a fa'alelei ma le fa'aeteete ina ia mautinoa le lamolemole atoa. Ma o lenei faagasologa o le faʻataʻitaʻiga o le faiga lua Tamaseko o le pu. Muamua, o vaʻa poʻo pu e togitogia i totonu o le dielectric layer, ona faʻatumu ai lea o uʻamea. A maeʻa ona faʻatumu, o le a aveese le sili atu uʻamea e cmp.
O laʻasaga autu o le faʻagasologa lua damascene e aofia ai:
▪ Fa'amauina o le fa'aeletise:
Tuu se vaega o mea dielectric, e pei o le silicon dioxide (SiO2), i luga o le semiconductorwafer.
▪ Photolithography e faamatala ai le mamanu:
Fa'aaogā ata fa'ata'ita'iga e fa'amatala ai le fa'ata'ita'iga o vias ma alavai i luga ole laiga dielectric.
▪Tusia:
Fa'afeiloa'i le fa'ata'ita'iga o vias ma alavai i le 'ele'ele e ala ile fa'amamago pe susu.
▪ Taofi o uamea:
Teuina u'amea, e pei o le kopa (Cu) po'o le alumini (Al), i vias ma lua e fausia ai feso'ota'iga u'amea.
▪ Faila fa'ainisinia:
Faila fa'ainisinia fa'ama'i o le u'amea e aveese ai u'amea tele ma fa'amafola le pito.
Pe a faʻatusatusa i le faʻagasologa o le gaosiga o fesoʻotaʻiga uʻamea masani, o le faiga o le damascene e lua o loʻo i ai tulaga lelei nei:
▪Laasaga fa'afaigofie:e ala i le fausia o vias ma lua i le taimi e tasi i le laasaga lava lea e tasi, o le faagasologa o laasaga ma le taimi o le gaosiga e faaitiitia.
▪Fa'aleleia lelei le gaosiga:ona o le faʻaitiitiga o laasaga faʻagasologa, o le faʻaogaina o le damascene e lua e mafai ona faʻaleleia le gaosiga lelei ma faʻaitiitia le tau o gaosiga.
▪Fa'aleleia le fa'atinoga o feso'ota'iga u'amea:e mafai ona ausia e le faiga lua damascene le vaapiapi uʻamea fesoʻotaʻiga, faʻapea le faʻaleleia o le tuʻufaʻatasia ma le faʻatinoga o taʻaloga.
▪Fa'aitiitia le malosi o le parasitic ma le tete'e:e ala i le faʻaaogaina o mea e maualalo-k dielectric ma optimizing le fausaga o fesoʻotaʻiga uʻamea, capacitance parasitic ma teteʻe e mafai ona faʻaitiitia, faʻaleleia le saoasaoa ma le faʻaogaina o le eletise faʻatinoga o taʻaloga.
Taimi meli: Nov-25-2024