O le a le eseesega i le va o le PECVD ma le LPCVD i masini semiconductor CVD?

Fa'afuga ausa vaila'au (CVD) e faasino i le faagasologa o le teuina o se ata tifaga malo i luga o se siliconwafere ala i se gaioiga fa'a-kemikolo o se paluga kasa. E tusa ai ma tulaga eseese tali (omiga, precursor), e mafai ona vaevaeina i ni meafaigaluega eseese.

O a faiga e fa'aoga ai nei masini e lua?
PECVD(Plasma Enhanced) meafaigaluega e sili ona tele ma sili ona faʻaaogaina, faʻaaogaina i le OX, Nitride, faitotoa uʻamea, carbon amorphous, ma isi; LPCVD (Low Power) e masani ona faʻaaogaina i le Nitride, poly, TEOS.
O le a le mataupu faavae?
PECVD-se faʻagasologa e tuʻufaʻatasia atoatoa le malosi o le plasma ma le CVD. O le tekonolosi PECVD e fa'aogaina le plasma maualalo-vevela e fa'aoso ai le susulu i le cathode o le potu fa'agasologa (ie, fata fa'ata'ita'i) i lalo o le mamafa. E mafai ona fa'atupuina le vevela o le fa'ata'ita'iga i se tulaga na mua'i fa'atulaga, ona fa'ailoa mai lea o se aofa'i fa'atonutonuina o le kesi fa'agasologa. O lenei kesi e feagai ma se faasologa o vailaʻau ma plasma faʻaalia, ma iu ai ina fausia se ata tifaga malo i luga o le faʻataʻitaʻiga.

LPCVD - O le fa'aputuina o ausa vaila'au ma'i maualalo (LPCVD) ua fuafuaina e fa'aitiitia ai le fa'agaoioiga o le mamafa o le kasa fa'aoso i totonu o le reactor i le tusa ma le 133Pa pe itiiti.
O a uiga o ia mea taitasi?
PECVD - O se faʻagasologa e tuʻufaʻatasia lelei ai le malosi o le plasma ma le CVD: 1) Faʻaogaina le maualalo o le vevela (aloese mai le faʻaleagaina o le vevela o meafaigaluega); 2) Faʻateleina ata tifaga vave; 3) Le filifili e uiga i mea, OX, Nitride, faitotoa uʻamea, carbon amorphous e mafai ona tupu uma; 4) O loʻo i ai se faiga mataʻituina i totonu, lea e mafai ona fetuutuunai le fua e ala i faʻamaufaʻailoga ion, fua o le kesi, vevela ma le mafiafia ata.
LPCVD - O ata manifinifi na teuina e le LPCVD o le a sili atu ona lelei le faʻapipiʻiina o laʻasaga, lelei le tuʻufaʻatasia ma le faʻatonutonuina o le fausaga, maualuga le tuʻuina atu ma le gaosiga. E le gata i lea, e le manaʻomia e le LPCVD le kasa vaʻavaʻa, o lea e faʻaitiitia ai le puna o le filogia ma faʻaaogaina lautele i alamanuia semiconductor faʻaopoopo maualuga tau mo le teuina o ata manifinifi.

 

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