O le ogaumu tuputupu ae tioata o le meafaigaluega autu mocarbide silikonituputupu ae tioata. E tali tutusa ma le ogaumu tuputupu a'e tioata tioata tioata. O le fausaga o le ogaumu e le faigata tele. E tele lava e aofia ai le ogaumu tino, faiga faʻavevela, masini faʻapipiʻi coil, faʻaogaina o le gaogao ma le fuaina o mea, faiga ala kesi, faiga faʻamafanafana, faiga faʻatonutonu, ma isi.tioata carbide silikonpei o le lelei, tele, conductivity ma isi.
I le tasi itu, o le vevela i le taimi o le tuputupu ae otioata carbide silikone maualuga tele ma e le mafai ona mataituina. O le mea lea, o le faigata autu o loʻo taoto i le faagasologa lava ia. O fa'afitauli autu e fa'apea:
(1) Faigata i le pulea o le fanua vevela:
O le mataʻituina o le tapuni o le vevela maualuga e faigata ma e le mafai ona taofiofia. E ese mai le masani fa'avae fa'ata'ita'iga fa'apipi'i tu'u sa'o meafaigaluega tuputupu a'e tioata ma se tikeri maualuga o le masini ma mata'ituina ma pulea le faagasologa o le tuputupu ae tioata tioata, tioata carbide silicon ola i se avanoa tapuni i se siosiomaga maualuga-vevela i luga aʻe o le 2,000 ℃, ma le vevela o le tuputupu ae. e manaʻomia le faʻatonutonu saʻo i le taimi o le gaosiga, lea e faigata ai ona pulea le vevela;
(2) Faigata i le fa'atonutonuina o foliga tioata:
Micropipes, polymorphic inclusions, dislocations ma isi faaletonu e faigofie ona tupu i le faagasologa o le tuputupu aʻe, ma latou aʻafia ma faʻaleleia e le tasi le isi. Micropipes (MP) o fa'aletonu e ala i le tele o le tele o microns e o'o i le sefulu microns, o ni fa'aletonu tele o masini. Silicon carbide tioata tasi e aofia ai le sili atu ma le 200 ituaiga tioata eseese, ae na o ni nai fausaga tioata (4H type) o mea semiconductor e manaʻomia mo le gaosiga. E faigofie ona tupu le suiga o foliga tioata i le taimi o le tuputupu aʻe, e mafua ai le faʻaogaina o le polymorphic. O le mea lea, e manaʻomia le faʻatonutonu saʻo o faʻamaufaʻailoga e pei o le silicon-carbon ratio, faʻasolosolo o le vevela o le tuputupu aʻe, fua faʻatatau o le tuputupu aʻe tioata, ma le mamafa o le ea. E le gata i lea, o loʻo i ai se faʻagasologa o le vevela i totonu o le vevela o le silicon carbide e tasi le tuputupu aʻe tioata, lea e oʻo atu ai i le faʻalavelave faʻapitonuʻu i totonu ma le faʻatupuina o faʻamaʻi (basal plane dislocation BPD, TSD dislocation sikulima, pito dislocation TED) i le faagasologa o le tuputupu ae tioata, o lea. afaina ai le lelei ma le faatinoga o le epitaxy ma masini mulimuli ane.
(3) Fa'afaigata le pulea o le doping:
O le faʻaofiina o mea leaga i fafo e tatau ona faʻatonutonuina ina ia maua ai se tioata faʻataʻitaʻi ma le doping faʻatonu;
(4) Faʻateleina le tuputupu aʻe:
Ole fua ole tuputupu aʻe ole silicon carbide e matua tuai lava. E na'o le 3 aso e tupu a'e ai se to'a tioata, a'o la'au tioata carbide e mana'omia le 7 aso. Ole mea lea e ta'ita'i atu ai ile fa'aitiitiga fa'alenatura ole gaosiga ole silicon carbide ma fa'atapula'aina le gaosiga.
I le isi itu, o tapulaa o le silicon carbide epitaxial tuputupu aʻe e matua faigata lava, e aofia ai le malulu o meafaigaluega, le mautu o le mamafa o le kesi i totonu o le potu tali, le pulea saʻo o le taimi faʻafeiloaʻi o le kesi, le saʻo o le kesi. fua, ma le pulea lelei o le vevela o le teuina. Aemaise lava, faʻatasi ai ma le faʻaleleia atili o le maualuga o le voltage resistance, o le faigata o le puleaina o faʻamaufaʻailoga autu o le epitaxial wafer ua faʻatupulaia tele. E le gata i lea, faatasi ai ma le faateleina o le mafiafia o le epitaxial layer, pe faʻafefea ona pulea le tutusa o le resistivity ma faʻaitiitia le faʻalavelave faʻaletonu ao faʻamautinoa le mafiafia ua avea ma se isi luitau tele. I totonu o le faʻaogaina o le eletise, e manaʻomia le tuʻufaʻatasia o masini faʻapitoa ma mea faʻamalosi e faʻamautinoa ai e mafai ona saʻo ma faʻamautu faʻatonuga eseese. I le taimi lava e tasi, o le faʻaleleia o le faʻatonuga algorithm e taua foi. E manaʻomia le mafai ona fetuʻunaʻi le taʻiala faʻatonutonu i le taimi moni e tusa ai ma le faʻaaliga faʻaalia e faʻafetaui i suiga eseese i le faagasologa o le tuputupu aʻe o le epitaxial silicon carbide.
Autu faigata imea fa'apipi'i carbide silikonigaosiga:
Taimi meli: Iuni-07-2024