Silicon carbide crystal growth process and equipment technology

1. SiC tioata tuputupu aʻe tekinolosi ala

PVT (auala sublimation),

HTCVD (maualuga CVD),

LPE(suavai vaega auala)

e tolu masaniSiC tioataauala tuputupu aʻe;

O le auala sili ona lauiloa i totonu o le alamanuia o le PVT metotia, ma sili atu nai lo le 95% o tioata taʻitasi SiC e tupu aʻe i le auala PVT;

AlamanuiaSiC tioataO le ogaumu tuputupu a'e o lo'o fa'aogaina le ala fa'atekonolosi PVT masani a le alamanuia.

2. SiC fa'asolosolo fa'atupuina tioata

Fa'atosina o le pauta-togafitiga tioata o fatu-fa'atupu fa'akristily-fa'ato'a fa'asusu-waferfaiga.

3. PVT auala e tupu aitioata SiC

O lo'o tu'u le SiC raw material i le pito i lalo o le graphite crucible, ma le SiC seed crystal o lo'o i le pito i luga ole graphite crucible. E ala i le fetuunaiga o le insulation, o le vevela i le SiC raw material e maualuga atu ma o le vevela i le tioata fatu e maualalo. Ole mea mata ole SiC ile maualuga ole vevela e fa'apalapala ma fa'apala i mea kesi vaega, lea e momoli atu ile tioata fatu e maualalo le vevela ma fa'a tioata e fausia ai tioata SiC. O le faʻagasologa o le tuputupu aʻe e aofia ai faʻagasologa e tolu: faʻaleagaina ma sublimation o mea mata, faʻafeiloaʻi tele, ma tioata i luga o fatu fatu.

Decomposition ma sublimation o mea mata:

SiC(S)= Si(g)+C(S)

2SiC(S)= Si(g)+ SiC2(g)

2SiC(S)=C(S)+SiC2(g)

I le taimi o le tele o felauaiga, o le Si vapor e toe tali atu i le puipui o le graphite crucible e fausia ai le SiC2 ma le Si2C:

Si(g)+2C(S) =SiC2(g)

2Si(g) +C(S)=Si2C(g)

I luga o le mata o le fatu tioata, e tolu vaega o le kesi e ola e ala i fua faʻatatau e lua e gaosia ai tioata carbide silicon:

SiC2_(g)+Si2C_(g)=3SiC_(s)

Si_(g)+SiC2_(g)=2SiC_(S)

4. PVT auala e tupu SiC tioata tuputupu aʻe meafaigaluega tekinolosi auala

I le taimi nei, o le faʻavevelaina o le faʻavevelaina o se auala faʻatekonolosi masani mo le PVT auala SiC tioata tuputupu aʻe ogaumu;

Coil fafo induction faamafanafana ma graphite tetee faamafanafana o le itu atinae oSiC tioataogaumu tuputupu a'e.

5. 8-inisi SiC induction faʻavevela ogaumu tuputupu aʻe

(1) Faamafanafanaina o lefa'amea graphite elemene faamafanafanae ala i le fa'aogaina o le maneta; faʻatonutonuina o le vevela fanua e ala i le fetuunaʻi o le mana faʻavevela, tulaga faʻapipiʻi, ma le faʻapipiʻiina o le fausaga;

(2) Fa'amafanafanaina o le kalafi e ala i le fa'avevela fa'avevela ma le fa'auluina o fa'avevela vevela; pulea le vevela fanua e ala i le fetuutuunai o le taimi nei o le vevela graphite, le fausaga o le vevela, ma le sone pulea i le taimi nei;