Wafertipiina o se tasi o sootaga taua i le mana semiconductor gaosiga. O lenei laasaga ua mamanuina ina ia saʻo le vavaeeseina o taʻaloga tuʻufaʻatasia taʻitoʻatasi poʻo tupe meataalo mai semiconductor wafers.
O le ki iwafero le tipiina o le mafai lea ona tu'u'ese'ese tupe meata'i ta'ito'atasi a'o fa'amautinoaina o lo'o fa'apipi'i i totonu o le va'aiga ma'ale'ale fausaga ma ta'amilosaga.wafere le faaleagaina. O le manuia poʻo le toilalo o le faʻagasologa o le tipiina e le gata ina aʻafia ai le tuʻueseeseina o le lelei ma le gaosiga o le pu, ae e fesoʻotaʻi saʻo foi i le lelei o le gaosiga atoa.
▲Tolu ituaiga masani o le tipiina | Punavai: KLA CHINA
I le taimi nei, o le masaniwaferua vaevaeina faiga tipi i:
Otioti lau: tau maualalo, e masani ona faʻaaogaina mo le mafiafiawafers
Leisa tipi: tau maualuga, e masani ona faʻaaogaina mo wafers ma le mafiafia o le sili atu i le 30μm
Plasma tipi: tau maualuga, sili atu tapulaʻa, e masani ona faʻaaogaina mo wafers ma le mafiafia o le itiiti ifo i le 30μm
O'otiina lau mata
O le tipiina o le lau o se faiga o le tipiina i luga o le laina tusiupu e ala i se tisiki olo (lau). O le lau e masani lava ona faia i mea faʻafefete pe ultra-manifinifi taimane mea, talafeagai mo slicing po grooving i luga o le kasa wafers. Ae ui i lea, i le avea ai o se metotia tipiina, o le tipiina o lau e faʻalagolago i le aveeseina o mea faitino, lea e faigofie ona taʻitaʻia i le taʻe poʻo le taʻe o le pito o le pu, ma aʻafia ai le lelei o oloa ma faʻaitiitia ai fua.
O le lelei o le oloa mulimuli na gaosia e ala i le faʻaogaina o masini e aʻafia i le tele o faʻamaufaʻailoga, e aofia ai le saoasaoa o le tipiina, mafiafia o le lau, le lautele o lau, ma le saoasaoa o le taamilosaga o lau.
O le tipi atoa o le auala pito sili lea ona taua o le tipiina o lau, lea e tipi atoa ai le mea faigaluega e ala i le tipiina i se mea mautu (e pei o se lipine tipi).
▲ La'au fa'ainisinia - tipi atoa | Fesootaiga puna ata
O le afa tipi o se auala e gaosia ai se tootoo e ala i le tipiina i le ogatotonu o le mea faigaluega. E ala i le fa'aauauina o le fa'agasolo o le toto, e mafai ai ona maua ni mata e pei o se nila.
▲ La'au fa'ainisinia tipi-afa tipi | Fesootaiga puna ata
O'oti fa'alua ose faiga e fa'aogaina ai le va'aiga fa'alua fa'alua fa'atasi ma ni fa'ailo e lua e fa'atino ai le tipi atoa po'o le afa i luga o laina gaosiga e lua i le taimi e tasi. O le ili ta'ilua e lua ona to'i. E mafai ona maua le gaosiga maualuga e ala i lenei faiga.
▲ La'au fa'ainisinia tipi-fa'alua tipi | Fesootaiga puna ata
La'asaga tipi e fa'aaoga le ili fa'a fa'alua fa'atasi ma vili e lua e fa'atino ai le tipi atoa ma le afa i vaega e lua. Fa'aoga lau ua fa'asilisiliina mo le tipiina o le laina uaea i luga o le fata ma lau ua fa'amanino mo le tioata tasi o totoe e maua ai le gaosiga maualuga.
▲ tipiina o lau masini - la'a tipi | Fesootaiga puna ata
O le tipiina o le Bevel o se auala faʻaogaina e faʻaogaina ai le lau ma le V-foliga pito i luga o le afa afa tipi e tipi ai le wafer i ni laasaga se lua i le faagasologa o le tipi. O le faagasologa o le chamfering e faia i le taimi o le tipiina. O le mea lea, e mafai ona ausia le malosi maualuga ma le gaosiga maualuga.
▲ Otiotiina lau mata – tipi ili | Fesootaiga puna ata
tipiina leisa
O le tipiina o le laser o se tekinolosi e tipiina wafer e le fa'afeso'ota'i lea e fa'aogaina ai le fa'alava leisa e tu'u'ese'ese ai tupe meata'i ta'ito'atasi mai fa'ama'i semiconductor. O le laisa leisa maualuga-malosi e taulaʻi i luga o le pito i luga o le wafer ma faʻafefe pe aveese mea i luga o le laina tipiina ua uma ona faʻatulagaina e ala i le ablation poʻo le faʻaogaina o le vevela.
▲ Fa'ata tipi leisa | Punavai ata: KLA CHINA
O ituaiga o laser o loʻo faʻaaogaina lautele e aofia ai lasers ultraviolet, lasers infrared, ma lasers femtosecond. Faatasi ai ma i latou, o le ultraviolet lasers e masani ona faʻaaogaina mo le malulu malulu ona o le maualuga o le malosi o le photon, ma o le sone e afaina ai le vevela e matua laʻititi lava, lea e mafai ona faʻaitiitia ai le lamatiaga o le faʻaleagaina o le vevela i le wafer ma ona meataalo lata ane. Infrared lasers e sili atu ona fetaui mo wafers mafiafia aua e mafai ona latou ulu loloto i totonu o mea. Femtosecond lasers ausia maualuga-saʻo ma lelei le aveeseina o mea ma toetoe lava a le faʻafefeina le vevela e ala i pusi moli ultrashort.
O le tipiina leisa e iai sona fa'amanuiaga sili nai lo le tipiina o lau masani. Muamua, i le avea ai ma se faiga e le faʻafesoʻotaʻi, e le manaʻomia e le tipiina leisa le mamafa faaletino i luga o le wafer, faʻaitiitia ai le vaevaega ma faʻalavelave faʻalavelave masani i le tipiina o masini. O lenei vaega e fa'apena le tipiina o le laser e fa'apitoa mo le fa'agaioiina o mea ma'ale'ale pe sili ona manifinifi, aemaise i latou e lavelave fausaga po'o foliga lelei.
▲ Fa'ata tipi leisa | Fesootaiga puna ata
E le gata i lea, o le maualuga maualuga ma le saʻo o le tipiina o le laser e mafai ai ona taulaʻi le laisa leisa i se laʻititi laʻititi laʻititi, lagolago mamanu faʻalavelave lavelave, ma ausia le vavaeeseina o le va itiiti i le va o tupe meataalo. O lenei vaega e sili ona taua mo masini semiconductor maualuluga ma fa'aitiitia tele.
Ae ui i lea, o le tipiina leisa e iai foi ni tapulaa. Pe a faʻatusatusa i le tipiina o le lau, e faʻagesegese ma sili atu le taugata, aemaise lava i le gaosiga tele. E le gata i lea, o le filifilia o le ituaiga laser sa'o ma le fa'amalieina o tapula'a e fa'amautinoa ai le fa'amama lelei o meafaitino ma le itiiti o le sone e a'afia i le vevela e mafai ona lu'itau mo nisi mea ma mafiafia.
Leisa ablation tipi
I le taimi o le tipiina o le laser, o le laser beam o loʻo taulaʻi tonu i luga o se nofoaga faʻapitoa i luga o le pito i luga o le wafer, ma o le malosi o le laser e taʻitaʻia e tusa ai ma se mamanu tipitipi, faasolosolo malie ona tipi i le wafer i le pito i lalo. Faʻalagolago i manaʻoga tipi, o lenei taʻaloga e faia i le faʻaaogaina o le laser pulsed poʻo le faʻaauau pea o le galu. Ina ia puipuia le faaleagaina o le wafer ona o le vevela tele i le lotoifale o le laser, e faʻaaogaina le vai malulu e faʻamalo ma puipuia ai le wafer mai faʻaleagaina vevela. I le taimi lava e tasi, e mafai foi e le vai malulu ona aveese lelei vaega na gaosia i le taimi o le tipiina, puipuia le faʻaleagaina ma faʻamautinoa le lelei o le tipi.
Otioti le vaaia leisa
E mafai foi ona taulaʻi le laser e faʻafeiloaʻi ai le vevela i totonu o le tino autu o le wafer, o se metotia e taʻua o le "oti leisa le vaaia". Mo lenei metotia, o le vevela mai le laser e faʻatupu ai avanoa i le tusiupu auala. O nei vaega vaivai ona maua lea o se aafiaga tu'i tutusa e ala i le malepe pe a fa'aloloa le apa.
▲Main faagasologa o leisa le vaaia tipi
O le faagasologa tipi le vaaia o se faiga leisa absorption totonu, nai lo le ablation leisa lea e mitiia leisa i luga. Faatasi ai ma le tipiina e le o vaaia, o le malosi o le laisa leisa ma se umi galu e semi-manino i le mea'ai mea'ai mea'ai e fa'aaogaina. O le faagasologa e vaevaeina i ni laasaga autu se lua, o le tasi o se faiga faʻavae laser, ma le isi o se faʻagasologa o le vavaeeseina o masini.
▲O le laser beam e faia ai se faʻamaʻi i lalo o le wafer surface, ma le pito i luma ma tua e le afaina | Fesootaiga puna ata
I le laasaga muamua, a'o su'esu'e e le laisa le wafer, e taula'i atu le laisa i se vaega patino i totonu o le wafer, e fai ai se mea ta'e i totonu. O le malosi o le la'au e mafua ai se faasologa o ta'eta'ei e fausia i totonu, lea e le'i o'o atu i le mafiafia atoa o le wafer i le pito i luga ma lalo.
▲ Fa'atusatusaga o 100μm mafiafia silicon wafers tipi e ala mata ma leisa le vaaia auala tipi | Fesootaiga puna ata
I le laasaga lona lua, o le lipine puʻe i le pito i lalo o le wafer ua faʻalauteleina faaletino, lea e mafua ai le mamafa o le taʻe i totonu o le wafer, lea e faʻaosoina i le laser process i le laasaga muamua. O lenei fa'alavelave e mafua ai ona fa'asolo sa'o le ta'eta'ei i le pito i luga ma le pito i lalo o le wafer, ona vavae'ese lea o le wafer i ni meataalo i luga o nei mea tipi. I le tipiina e le o vaʻaia, o le afa-tipi poʻo le pito i lalo o le afa-oti e masani ona faʻaogaina e faʻafaigofie ai le tuʻueseeseina o fasi meataalo i chips poʻo tupe meataalo.
Fa'amanuiaga autu o le tipiina leisa e le vaaia i luga ole ablation leisa:
• Leai se mea fa'alili e mana'omia
• Leai ni otaota na gaosia
• Leai ni sone e a'afia i le vevela e mafai ona fa'aleagaina ai ta'avale ma'ale'ale
tipiina o le plasma
O le tipiina o le Plasma (lea e taʻua o le plasma etching poʻo le dry etching) o se tekonolosi faʻapipiʻi faʻapipiʻi e faʻaogaina le reactive ion etching (RIE) poʻo le loloto reactive ion etching (DRIE) e vavae ese ai meataalo taʻitasi mai semiconductor wafers. O le tekonolosi e ausia le tipiina e ala i le aveeseina o mea faʻamisi i luga o laina tipiina muamua e faʻaaoga ai le plasma.
I le taimi o le tipiina o le plasma, e tuʻuina le semiconductor wafer i totonu o se potu gaogao, faʻapipiʻiina le paluga gaʻo faʻatonutonu i totonu o le potu, ma faʻaaogaina se eletise eletise e faʻatupuina ai se plasma o loʻo i ai se maualuga maualuga o ions reactive ma radicals. E fegalegaleai nei meaola fa'afefete ma mea fa'ama'i ma fa'amama fa'ameamea i luga o le laina tusiupu e ala i le tu'ufa'atasiga o fa'ama'i fa'ama'i ma le mapuna fa'aletino.
O le aoga autu o le tipiina o le plasma o le faʻaitiitia o le mamafa o masini i luga o le wafer ma le pu ma faʻaitiitia ai le faʻaleagaina e mafua mai i le faʻafesoʻotaʻi faaletino. Ae ui i lea, o lenei faiga e sili atu ona faigata ma faʻaalu taimi nai lo isi metotia, aemaise lava pe a feagai ma faʻamaʻi mafiafia poʻo meafaitino ma le maualuga o le etching resistance, o lona faʻaogaina i le gaosiga tele e faʻatapulaʻaina.
▲Fesootaiga puna ata
I le gaosiga o le semiconductor, e manaʻomia le filifilia o le auala e tipiina ai e faʻavae i luga o le tele o mea, e aofia ai mea faʻapipiʻi mea, lapoa puʻe ma geometry, manaʻomia le saʻo ma le saʻo, ma le aofaʻi o le gaosiga o tau ma le lelei.
Taimi meli: Sep-20-2024