Tu'uga ausa vaila'au(CVD)o le tekinolosi sili ona faʻaaogaina i totonu ole alamanuia semiconductor mo le teuina o mea eseese, e aofia ai le tele o mea faʻapipiʻi, tele mea uʻamea ma mea faʻapipiʻi uʻamea.
O le CVD ose tekinolosi tapenaga manifinifi masani. O lona fa'avae o le fa'aogaina lea o kasa e fa'apalapala ai nisi vaega i le mea muamua e ala i gaioiga fa'a-kemikolo i le va o atoms ma mole, ona fai lea o se ata manifinifi i luga o le substrate. O uiga autu o le CVD o: suiga o vailaʻau (gaʻo faʻainisinia poʻo le vevela vevela); o mea uma i le ata e sau mai fafo; e tatau ona auai reactants i le tali i le tulaga o le kasa vaega.
O le fa'aputuina o ausa vaila'au maualalo (LPCVD), fa'aputuina ausa vaila'au fa'aleleia o le plasma (PECVD) ma le fa'aputuina o ausa vaila'au fa'ama'i maualuga (HDP-CVD) e tolu fa'atekonolosi masani a le CVD, e iai le eseesega tele i le tu'uina o meafaitino, mana'oga meafaigaluega, tulaga fa'agasologa, ma isi. . O se fa'amatalaga faigofie ma fa'atusatusaga o nei tekinolosi e tolu.
1. LPCVD (Low Pressure CVD)
Fa'avae: O se fa'agasologa o le CVD i lalo o tulaga maualalo o le mamafa. O lona mataupu faavae o le tui o le kesi tali i totonu o le potu tali i lalo o le gaogao po o le maualalo o le siosiomaga o le mamafa, pala pe tali atu le kesi i le vevela maualuga, ma fausia ai se ata mautu e teuina i luga o le substrate surface. Talu ai ona o le maualalo o le mamafa e faʻaitiitia ai le faʻafefe o le kesi ma le vevesi, o le tutusa ma le lelei o le ata e faʻaleleia. LPCVD o loʻo faʻaaogaina lautele i le silicon dioxide (LTO TEOS), silicon nitride (Si3N4), polysilicon (POLY), tioata phosphosilicate (BSG), tioata borophosphosilicate (BPSG), polysilicon doped, graphene, carbon nanotubes ma isi ata tifaga.
Vaega:
▪ O le vevela o le faagasologa: masani i le va o le 500 ~ 900 ° C, o le vevela o le faagasologa e fai si maualuga;
▪ Fa'asologa o le kasa: si'osi'omaga maualalo o le 0.1 ~ 10 Torr;
▪ Tulaga lelei o ata: tulaga maualuga, tulaga tutusa lelei, mafiafia lelei, ma itiiti ni faaletonu;
▪ Fuafuaga o le teuina: fua faatatau tuai o le teuina;
▪ Tulaga tutusa: talafeagai mo mea lapopo'a, fa'aputu tutusa;
Itu lelei ma le le lelei:
▪ E mafai ona teuina ni ata e matuā mafiafia ma mafiafia;
▪ Fa'atino lelei i luga ole lapo'a lapopoa, talafeagai mo le tele o gaosiga;
▪ Tau maualalo;
▪ Maualuluga le vevela, e le talafeagai mo mea e fa'afefete le vevela;
▪ E telegese le fa'aputuina ma e fai lava si maualalo le gaosiga.
2. PECVD (Plasma Enhanced CVD)
Fa'avae: Fa'aaogā le plasma e fa'agaoioi ai fa'agaioiga o le kasa i le vevela maualalo, fa'a'ona ma fa'apala le mole o lo'o i totonu o le kesi tali, ona tu'u lea o ata manifinifi i luga o le mea'ai. O le malosi o le plasma e mafai ona faʻaitiitia ai le vevela e manaʻomia mo le faʻaalia, ma e iai le tele o faʻaoga. E mafai ona saunia ata u'amea 'ese'ese, ata fa'aletino ma ata fa'aola.
Vaega:
▪ Fa'agasologa o le vevela: masani i le va o le 200~400°C, o le vevela e fai si maualalo;
▪ Va'aiga o le kasa: e masani lava e selau mTorr i le tele o Torr;
▪ Tulaga lelei o ata: e ui ina lelei le tutusa o le ata, o le mafiafia ma le lelei o le ata e le lelei e pei o le LPCVD ona o faaletonu e ono fa'aofi mai e le plasma;
▪ Fuafuaga o le teuina: maualuga, maualuga le gaosiga;
▪ Tulaga tutusa: la'ititi la'ititi nai lo le LPCVD i luga ole lapopo'a;
Itu lelei ma le le lelei:
▪ O ata manifinifi e mafai ona teuina i le vevela maualalo, e talafeagai mo mea faʻafefe vevela;
▪ Saosaoa fa'aputu vave, talafeagai mo le gaosiga lelei;
▪ Fa'agasologa fetu'utu'una'i, e mafai ona fa'atonutonu mea tau ata e ala i le fetu'una'i o fa'amaufa'ailoga plasma;
▪ E mafai e le Plasma ona fa'aalia ni fa'aletonu o ata e pei o ni pu po'o le le tutusa;
▪ Pe a faatusatusa i le LPCVD, o le mafiafia ma le lelei o ata e fai si leaga.
3. HDP-CVD (Mata'isi maualuga Plasma CVD)
Fa'avae: O se tekonolosi fa'apitoa a le PECVD. HDP-CVD (fa'aigoa o le ICP-CVD) e mafai ona maua ai le maualuga o le plasma density ma le lelei nai lo mea faigaluega masani a le PECVD i le maualalo o le vevela. E le gata i lea, o le HDP-CVD e tuʻuina atu toetoe lava tutoʻatasi o le ion flux ma le puleaina o le malosi, faʻaleleia le malosi poʻo le faʻatumuina o pu mo le manaʻomia o le faʻapipiʻiina o ata tifaga, e pei o le faʻapipiʻiina o mea e faʻafefeteina, maualalo le faʻaogaina o meafaitino faifai pea, ma isi.
Vaega:
▪ vevela o le faagasologa: vevela potu i le 300℃, o le vevela o le faagasologa e matua maualalo;
▪ Va'aiga o le kasa: i le va o le 1 ma le 100 mTorr, maualalo ifo nai lo le PECVD;
▪ Tulaga lelei o ata: maualuga le plasma density, maualuga ata tifaga, lelei tutusa;
▪ Fuainumera o le teuina: fua faatatau o le teuina i le va o le LPCVD ma le PECVD, maualuga teisi nai lo le LPCVD;
▪ Tulaga tutusa: ona o le maualuga o le plasma, o le tutusa o ata e sili ona lelei, e fetaui lelei mo mea faʻapipiʻi foliga lavelave;
Itu lelei ma le le lelei:
▪ Mafai ona teuina ata e sili ona lelei ile vevela maualalo, e fetaui lelei mo mea vevela;
▪ Tulaga lelei ata tifaga, mafiafia ma lamolemole luga;
▪ Ole maualuga ole toto ole plasma e fa'aleleia atili ai le tu'u tutusa ma mea tau ata;
▪ Meafaigaluega lavelave ma tau maualuga;
▪ E telegese le saosaoa o le tu'uina, ma o le malosi o le plasma maualuga e ono tula'i mai ai sina fa'aleagaina.
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Taimi meli: Tes-03-2024