I le faagasologa o le epitaxy vase vase (VPE), o le matafaioi a le faʻavae o le lagolagoina lea o le mea faʻapipiʻi ma faʻamautinoa le faʻamafanafanaina tutusa i le faagasologa o le tuputupu aʻe. O ituaiga tulaga eseese e fetaui lelei mo tulaga tuputupu ae eseese ma faiga meafaitino. O lo'o mulimuli mai nisi o ituaiga fa'aoga masani ile va'a ausaepitaxy:
Fa'avae paelo
E masani ona fa'aogaina fa'alava paelo i faiga epitaxy vaega ausa fa'alava pe fa'asipa. E mafai ona latou uuina le mea'ai ma fa'ataga le kesi e tafe i luga o le mea'ai, lea e fesoasoani e ausia ai le tuputupu ae o le epitaxial tutusa.
Tu'u fa'atusa fa'a tisiki (tu'u sa'o)
Pedestals-pepese tisiki e talafeagai mo faiga epitaxy vaega ausa tūsaʻo, lea e tuu ai le substrate i luga o le laina. O lenei mamanu e fesoasoani e faʻaitiitia le faʻafesoʻotaʻi i le va o le substrate ma le susceptor, ma faʻaitiitia ai le vevela ma le ono afaina.
Susceptor faalava
O susceptors faalava e le masani ai i le epitaxy vaega ausa, ae e mafai ona faʻaaogaina i nisi faiga faʻapitoa e tuputupu aʻe e faʻataga ai le tuputupu aʻe o le epitaxial i se itu faalava.
Monolithic epitaxial reaction susceptor
O le monolithic epitaxial reaction susceptor ua mamanuina mo se mea e tasi, lea e mafai ona maua ai le sili atu le saʻo o le vevela ma sili atu le tuʻueseeseina o le vevela, talafeagai mo le tuputupu aʻe o tulaga maualuga epitaxial layers.
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Taimi meli: Iul-30-2024