Le mea e sili ona lelei mo vaega sa'o o masini photolithography
I totonu o le fanua semiconductor,silikon carbide simamea e masani ona faʻaaogaina i meafaigaluega autu mo gaosiga faʻatasi, e pei o le silicon carbide worktable, taʻiala taʻiala,mea fa'aata, sima suction chuck, lima, tisiki olo, mea fa'apipi'i, ma isi mo masini lithography.
Silicon carbide vaega simamo semiconductor ma masini opitika
● Silicon carbide sima olo tisiki. Afai o le tisiki olo e faia i le u'amea lafo po'o le uamea carbon, o lona ola tautua e puupuu ma lona fa'alauteleina fa'amama e tele. I le taimi o le fa'agaioiina o fasipepa silikoni, aemaise lava i le taimi e olo ai po'o le fa'aiila maualuga, o le ofuina ma le vevela o le fa'afefeteina o le tisiketi e faigata ai ona fa'amautinoa le fa'amafolafola ma le tutusa o le fa'ama'i. O le tisiki olo e faia i le silicon carbide ceramics e maualuga le maaa ma maualalo le ofuina, ma o le faʻalauteleina o le vevela e tutusa lava ma le faʻamaʻi oona, ina ia mafai ona eleele ma faʻalelei i le saoasaoa maualuga.
● Silicon carbide sima faʻapipiʻi. E le gata i lea, pe a gaosia le silicon wafers, latou te manaʻomia le faʻaogaina o le vevela vevela ma e masani ona feaveaʻi e faʻaaoga ai mea faʻapipiʻi carbide silicon. E fa'afefete ma e le fa'aleagaina. Taiman-pei carbon (DLC) ma isi coatings e mafai ona faaaoga i luga o le fogaeleele e faaleleia atili ai le faatinoga, faaitiitia le faaleagaina o le wafer, ma taofia le faaleagaina mai le sosolo.
● Silicon carbide worktable. O le avea o le laulau galue i totonu o le masini lithography e fai ma faʻataʻitaʻiga, o le laulau galue e nafa ma le faʻamaeʻaina o le gaioiga faʻaalia, e manaʻomia ai le maualuga-saosaoa, tele-stroke, ono-tikeri-o-saolotoga nano-level ultra-saʻo. Mo se faʻataʻitaʻiga, mo se masini lithography ma se iugafono o le 100nm, o le faʻapipiʻiina o le saʻo o le 33nm, ma le laina lautele o le 10nm, e manaʻomia le saʻo o le faʻatulagaina o le laulau e oʻo atu i le 10nm, o le mask-silicon wafer i le taimi e tasi o le laa ma le saoasaoa o le suʻeina o le 150nm / s ma le 120nm/s i le faasologa, ma o le saosaoa matapulepule e latalata i 500nm / s, ma e manaʻomia le laulau faigaluega ina ia maualuga le saʻo ma le mautu.
Ata fa'ata'ita'i o le laulau galue ma le laulau fa'asolo (vaega vaega)
● Silicon carbide sima sikuea faata. O vaega autu i masini feso'ota'i tu'ufa'atasia e pei o masini lithography e lavelave foliga, lavelave fua, ma fausaga mama ga'o, e faigata ai ona saunia ia vaega sima carbide silicon. I le taimi nei, o loʻo faʻaaogaina e le aufaipisinisi faʻavaomalo faʻavaomalo, e pei o le ASML i Netherlands, NIKON ma CANON i Iapani, faʻaaogaina le tele o mea e pei o tioata microcrystalline ma cordierite e saunia ai faʻata faatafafa, vaega autu o masini lithography, ma faʻaoga carbide silicon. ceramics e saunia ai isi vaega fa'atulagaina maualuga ma foliga faigofie. Ae ui i lea, o tagata atamamai mai le China Building Materials Research Institute ua latou faʻaaogaina tekinolosi sauniuni e ausia ai le sauniuniga o faʻataʻitaʻiga faʻataʻitaʻi faʻata ma isi mea faʻapipiʻi ma faʻaogaina mo masini lithography.
Taimi meli: Oke-10-2024