Semiconductor alamanuia manaoga o graphite mea manaomia e faapitoa lava le maualuga, lelei vaega laiti tele o le graphite e maualuga saʻo, maualuga vevela tetee, malosi maualuga, gau laiti ma isi tulaga lelei, e pei o: sintered graphite oloa limu.Talu ai o masini graphite o loʻo faʻaaogaina i totonu o le semiconductor alamanuia (e aofia ai faʻavevela ma o latou sintered mate) e manaʻomia e faʻafefe ai le faʻavevelaina ma le faʻamafanafanaga faifaipea, ina ia faʻalauteleina ai le ola tautua o meafaigaluega graphite, e masani lava ona manaʻomia le faʻaogaina o mea faʻaogaina e mautu le faʻatinoga. ma le vevela fa'asagaga fa'aletonu.
01 Mea fa'aoga graphite mo le tuputupu a'e tioata semiconductor
O faiga uma e fa'aaogaina e fa'atupu ai tioata semiconductor o lo'o fa'agaoioia i lalo ole vevela maualuga ma le si'osi'omaga pala. O le sone vevela o le ogaumu tuputupu aʻe tioata e masani lava ona faʻapipiʻiina i le vevela ma le corrosion-resistant high-purity graphite parts, e pei o le faʻavevela, faʻamaʻi, faʻamaʻi faʻapipiʻi, paʻu taʻiala, eletise, faʻamau faʻamau, nut electrode, ma isi.
E mafai ona matou gaosia uma vaega graphite o masini gaosiga tioata, lea e mafai ona tuʻuina atu taʻitoʻatasi pe i seti, poʻo vaega graphite faʻapitoa o lapopoa eseese e tusa ai ma manaoga o tagata faatau. O le tele o oloa e mafai ona fuaina i luga o le saite, ma o le pefu o loʻo i totonu o oloa maeʻa e mafai ona faʻaitiitianai lo le 5ppm.
02 Mea fa'aoga graphite mo epitaxy semiconductor
Epitaxial process e faasino i le tuputupu aʻe o se vaega o mea tioata e tasi ma le faʻatulagaga lattice tutusa e pei o le substrate i luga o le mea tioata tasi. I le epitaxial process, o loʻo faʻapipiʻiina le wafer i luga o le graphite disk. O le faʻatinoga ma le lelei o le graphite disk e taua tele i le lelei o le epitaxial layer o le wafer. I le tulaga o le gaosiga o le epitaxial, e manaʻomia le tele o le ultra-high purity graphite ma le maualuga o le mama graphite ma le SIC coating.
O le graphite a la matou kamupani mo le semiconductor epitaxy o loʻo i ai le tele o faʻaoga, e mafai ona fetaui ma le tele o mea faʻaoga masani i totonu o le alamanuia, ma e maualuga le mama, faʻaofuofu toniga, ola lelei o le auaunaga, ma le maualuga o le kemisi ma le faʻamautuina o le vevela.
03 Mea fa'aoga graphite mo le fa'apipi'iina o ion
Ion implantation e faasino i le faagasologa o le faatelevaveina o le plasma beam o boron, phosphorus ma arsenic i se malosi faapitoa, ona tui lea i luga o le vaega o le mea wafer e suia ai mea totino o le luga. O vaega o le masini faʻapipiʻi ion e tatau ona faia i mea mama maualuga ma sili ona lelei le vevela, faʻafefe vevela, faʻaitiitia le pala e mafua mai i le ion beam ma le maualalo o mea le mama. O le graphite maualuga-mama e fetaui ma manaoga o le talosaga, ma e mafai ona faʻaaogaina mo le paipa vaʻalele, vaʻa eseese, electrodes, ufiufi eletise, conduits, beam terminator, ma isi mea o mea faʻapipiʻi ion.
E le gata e mafai ona tatou tuʻuina atu le ufiufi o le graphite mo masini faʻapipiʻi ion eseese, ae tuʻuina atu foʻi le mama maualuga o le graphite electrodes ma puna o le ion ma le maualuga o le corrosion resistance o faʻamatalaga eseese. Faʻataʻitaʻiga talafeagai: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM ma isi meafaigaluega. E le gata i lea, e mafai foi ona matou tuʻuina atu sima faʻafetaui, tungsten, molybdenum, oloa alumini ma vaega faʻapipiʻi.
04 graphite insulation mea ma isi
O mea e fa'amama ai le vevela o lo'o fa'aaogaina i masini gaosiga semiconductor e aofia ai le graphite malo, lagona vaivai, pepa kalafi, pepa kalafi, ma le maea kalafi.
O a tatou mea mata uma o loʻo faʻaulufaleina mai le graphite, lea e mafai ona tipi e tusa ai ma le tele o manaʻoga o tagata faʻatau pe faʻatau atu atoa.
O le fata carbon-carbon o loʻo faʻaaogaina e fai ma taʻavale mo le ufiufi ata i le gaosiga o le gaosiga o le sola monocrystalline silicon ma polycrystalline silicon cell. O le ta'iala galue o le: fa'aofi le kasa silikoni i totonu o le fata CFC ma lafo i totonu o le ogaumu fa'agaau e fa'agasolo ai le ufiufi ata.
