SiC Coating Carrier For RTP/RTA je ključna komponenta, ki se uporablja v polprevodniških proizvodnih procesih, imenovanih Rapid Thermal Processing & Annealing, uporabljamo našo patentirano tehnologijo za izdelavo nosilca iz silicijevega karbida z izjemno visoko čistostjo, dobro enakomernostjo prevleke in odlično življenjsko dobo, saj tudi visoko kemično odpornost in toplotno stabilnost.
Lastnosti naših izdelkov:
1. Visokotemperaturna oksidacijska odpornost do 1700 ℃.
2. Visoka čistost in toplotna enotnost
3. Odlična odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
4. Visoka trdota, kompaktna površina, drobni delci.
5. Daljša življenjska doba in bolj trpežna
| KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiCpremazovanje | |
| 性质 / Lastnina | 典型数值 / Tipična vrednost |
| 晶体结构 / Kristalna struktura | FCC β faza多晶，主要为（111) 取向 |
| 密度 / Gostota | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Trdota | 2500 维氏硬度（500g obremenitev） |
| 晶粒大小 / Velikost zrna | 2~10 μm |
| 纯度 / Kemijska čistost | 99,99995 % |
| 热容 / Toplotna zmogljivost | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Temperatura sublimacije | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Upogibna trdnost | 415 MPa RT 4-točkovno |
| 杨氏模量 / Youngov modul | 430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃ |
| 导热系数 / TermalPrevodnost | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Toplotna ekspanzija (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy je pravi proizvajalec prilagojenih izdelkov iz grafita in silicijevega karbida z različnimi premazi, kot so prevleka SiC, prevleka TaC, prevleka iz steklenega ogljika, prevleka iz pirolitskega ogljika itd., lahko dobavlja različne dele po meri za polprevodniško in fotovoltaično industrijo.
Naša tehnična ekipa prihaja iz vrhunskih domačih raziskovalnih institucij in vam lahko zagotovi bolj profesionalne materialne rešitve.
Nenehno razvijamo napredne postopke za zagotavljanje naprednejših materialov in izdelali smo ekskluzivno patentirano tehnologijo, ki lahko naredi vez med premazom in podlago tesnejšo in manj nagnjeno k odstopljenju.
Lepo vas vabimo, da obiščete našo tovarno, pogovorimo se naprej!
