Kemično naparjanje (KVB) se nanaša na postopek nanosa trdnega filma na površino silicijaoblats kemično reakcijo mešanice plinov. Glede na različne reakcijske pogoje (tlak, prekurzor) ga lahko razdelimo na različne modele opreme.
Za katere procese se uporabljata ti dve napravi?
PECVDOprema (Plasma Enhanced) je najštevilčnejša in najpogosteje uporabljena, uporablja se v OX, Nitride, kovinska vrata, amorfni ogljik itd.; LPCVD (Low Power) se običajno uporablja v nitridu, poli, TEOS.
Kaj je princip?
PECVD-proces, ki odlično združuje energijo plazme in CVD. Tehnologija PECVD uporablja nizkotemperaturno plazmo za induciranje žareče razelektritve na katodi procesne komore (tj. pladnja za vzorce) pod nizkim tlakom. Ta žarilna razelektritev ali druga grelna naprava lahko dvigne temperaturo vzorca na vnaprej določeno raven in nato uvede nadzorovano količino procesnega plina. Ta plin je podvržen vrsti kemičnih in plazemskih reakcij in končno tvori trden film na površini vzorca.
LPCVD – Nizkotlačno kemično naparjevanje (LPCVD) je zasnovano za znižanje delovnega tlaka reakcijskega plina v reaktorju na približno 133 Pa ali manj.
Kakšne so značilnosti vsakega?
PECVD – Postopek, ki odlično združuje energijo plazme in CVD: 1) Delovanje pri nizkih temperaturah (izogibanje poškodbam opreme zaradi visokih temperatur); 2) Hitra rast filma; 3) Ni izbirčen glede materialov, OX, nitrid, kovinska vrata, amorfni ogljik lahko rastejo; 4) Obstaja sistem za spremljanje na kraju samem, ki lahko prilagodi recept z ionskimi parametri, hitrostjo pretoka plina, temperaturo in debelino filma.
LPCVD – Tanki filmi, naneseni z LPCVD, bodo imeli boljšo pokritost korakov, dobro sestavo in nadzor strukture, visoko stopnjo nanašanja in izhod. Poleg tega LPCVD ne potrebuje nosilnega plina, zato močno zmanjša vir onesnaženja z delci in se pogosto uporablja v industriji polprevodnikov z visoko dodano vrednostjo za nanašanje tankega filma.
Dobrodošli vse stranke z vsega sveta, da nas obiščejo za nadaljnjo razpravo!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Čas objave: 24. julij 2024