Kaj je prevleka iz silicijevega karbida?

Prevleka iz silicijevega karbida,splošno znan kot prevleka SiC, se nanaša na postopek nanašanja plasti silicijevega karbida na površine z metodami, kot so kemično naparjevanje (CVD), fizično naparjanje (PVD) ali termično pršenje. Ta keramična prevleka iz silicijevega karbida izboljša površinske lastnosti različnih podlag z zagotavljanjem izjemne odpornosti proti obrabi, toplotne stabilnosti in zaščite pred korozijo. SiC je znan po svojih izjemnih fizikalnih in kemijskih lastnostih, vključno z visokim tališčem (približno 2700 ℃), izjemno trdoto (Mohsova lestvica 9), odlično odpornostjo proti koroziji in oksidaciji ter izjemno zmogljivostjo ablacije.

Ključne prednosti prevleke iz silicijevega karbida v industrijskih aplikacijah

Zaradi teh lastnosti se prevleka iz silicijevega karbida pogosto uporablja na področjih, kot so letalstvo, oprema za orožje in obdelava polprevodnikov. V ekstremnih okoljih, zlasti v območju 1800-2000 ℃, ima prevleka SiC izjemno toplotno stabilnost in odpornost proti ablaciji, zaradi česar je idealna za uporabo pri visokih temperaturah. Vendar samo silicijevemu karbidu primanjkuje strukturne celovitosti, ki je potrebna za številne aplikacije, zato se uporabljajo metode prevleke, da se izkoristijo njegove edinstvene lastnosti brez ogrožanja trdnosti komponente. V proizvodnji polprevodnikov elementi, prevlečeni s silicijevim karbidom, zagotavljajo zanesljivo zaščito in stabilnost delovanja v opremi, ki se uporablja v procesih MOCVD.

Običajne metode za pripravo prevleke iz silicijevega karbida

Ⅰ● Prevleka iz silicijevega karbida s kemičnim naparjevanjem (CVD).

Pri tej metodi se prevleke iz SiC oblikujejo s postavitvijo substratov v reakcijsko komoro, kjer metiltriklorosilan (MTS) deluje kot prekurzor. Pod nadzorovanimi pogoji - običajno 950-1300 °C in podtlakom - se MTS razgradi in silicijev karbid se nanese na površino. Ta postopek nanosa CVD SiC zagotavlja gosto, enakomerno prevleko z odličnim oprijemom, idealno za visoko natančne aplikacije v polprevodniškem in letalskem sektorju.

Ⅱ● Metoda pretvorbe predhodnika (polimerna impregnacija in piroliza – PIP)

Drug učinkovit pristop nanašanja pršilne prevleke s silicijevim karbidom je metoda pretvorbe predhodnika, ki vključuje potopitev predhodno obdelanega vzorca v raztopino predhodnika keramike. Po vakuumiranju impregnacijske posode in pritisku na prevleko se vzorec segreje, kar povzroči nastanek prevleke iz silicijevega karbida po ohlajanju. Ta metoda je prednostna za komponente, ki zahtevajo enakomerno debelino prevleke in večjo odpornost proti obrabi.

Fizikalne lastnosti prevleke iz silicijevega karbida

Prevleke iz silicijevega karbida izkazujejo lastnosti, zaradi katerih so idealne za zahtevne industrijske aplikacije. Te lastnosti vključujejo:

Toplotna prevodnost: 120-270 W/m·K
Koeficient toplotnega raztezanja: 4,3 × 10^^(-6)/K (pri 20~800 ℃)
Električna upornost: 10^⁵– 10^⁶Ω·cm
Trdota: Mohsova lestvica 9

Uporaba prevleke iz silicijevega karbida

V proizvodnji polprevodnikov prevleka iz silicijevega karbida za MOCVD in druge visokotemperaturne postopke ščiti kritično opremo, kot so reaktorji in sprejemniki, tako da nudi odpornost na visoke temperature in stabilnost. V letalstvu in obrambi se keramične prevleke iz silicijevega karbida nanašajo na komponente, ki morajo prenesti udarce pri visokih hitrostih in korozivna okolja. Poleg tega se lahko barva ali premazi iz silicijevega karbida uporabljajo tudi na medicinskih pripomočkih, ki zahtevajo vzdržljivost v postopkih sterilizacije.

Zakaj izbrati prevleko iz silicijevega karbida？

Z dokazanim rekordom pri podaljševanju življenjske dobe komponent prevleke iz silicijevega karbida zagotavljajo neprimerljivo vzdržljivost in temperaturno stabilnost, zaradi česar so stroškovno učinkovite za dolgoročno uporabo. Z izbiro površine, prevlečene s silicijevim karbidom, imajo industrije koristi od nižjih stroškov vzdrževanja, izboljšane zanesljivosti opreme in izboljšane učinkovitosti delovanja.

Zakaj izbrati VET ENERGY?

VET ENERGY je profesionalni proizvajalec in tovarna izdelkov za prevleko iz silicijevega karbida na Kitajskem. Glavni izdelki za prevleko SiC vključujejo grelnik za keramično prevleko iz silicijevega karbida,CVD prevleka iz silicijevega karbida MOCVD susceptor, MOCVD grafitni nosilec s CVD SiC prevleko, SiC prevlečeni grafitni osnovni nosilci, Grafitni substrat, prevlečen s silicijevim karbidom, za polprevodnike,SiC prevleka/prevlečen grafitni substrat/pladenj za polprevodnike, CVD SiC prevlečen ogljik-ogljik kompozitni CFC kalup za čolne. VET ENERGY je zavezan zagotavljanju napredne tehnologije in proizvodnih rešitev za industrijo polprevodnikov. Iskreno upamo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.