Prevleka, odporna na oksidacijo SiC, je bila pripravljena na površini grafita s postopkom CVD

Prevleko SiC je mogoče pripraviti s kemičnim naparevanjem (CVD), transformacijo prekurzorja, plazemskim razprševanjem itd. Prevleka, pripravljena s KEMIČNIM naparevanjem, je enotna in kompaktna ter ima dobro obliko. Uporaba metil triklosilana. (CHzSiCl3, MTS) kot vir silicija je prevleka SiC, pripravljena s CVD metodo, relativno zrela metoda za nanašanje te prevleke.
Prevleka SiC in grafit imata dobro kemično združljivost, razlika v koeficientu toplotnega raztezanja med njima je majhna, uporaba prevleke SiC lahko učinkovito izboljša odpornost proti obrabi in odpornost proti oksidaciji grafitnega materiala. Med njimi imajo stehiometrično razmerje, reakcijska temperatura, plin za redčenje, nečistoče in drugi pogoji velik vpliv na reakcijo.