S postopno množično proizvodnjo prevodnih substratov SiC se postavljajo višje zahteve glede stabilnosti in ponovljivosti postopka. Zlasti nadzor napak, majhna prilagoditev ali odmik toplotnega polja v peči, bo povzročil spremembe kristalov ali povečanje napak. V kasnejšem obdobju se moramo soočiti z izzivom »hitrega, dolgega in debelega rasti ter odraščanja«, poleg izboljšanja teorije in inženiringa potrebujemo kot podporo tudi naprednejše materiale toplotnega polja. Uporabite napredne materiale, gojite napredne kristale.
Nepravilna uporaba materialov za lonček, kot je grafit, porozni grafit, tantalov karbid v prahu itd., v vročem polju bo povzročila napake, kot je povečana vsebnost ogljika. Poleg tega v nekaterih aplikacijah prepustnost poroznega grafita ni zadostna in so potrebne dodatne luknje za povečanje prepustnosti. Porozni grafit z visoko prepustnostjo se sooča z izzivi obdelave, odstranjevanja prahu, jedkanja itd.
VET predstavlja novo generacijo materiala s toplotnim poljem, ki raste v kristalih SiC, poroznega tantalovega karbida. Svetovni prvenec.
Trdnost in trdota tantalovega karbida sta zelo visoki in narediti ga poroznega je izziv. Izdelava poroznega tantalovega karbida z veliko poroznostjo in visoko čistostjo je velik izziv. Hengpu Technology je lansirala revolucionarni porozni tantalov karbid z veliko poroznostjo, z največjo poroznostjo 75 %, ki je vodilna v svetu.
Uporabi se lahko filtracija komponent plinske faze, nastavitev lokalnega temperaturnega gradienta, smeri toka materiala, nadzor puščanja itd. Uporablja se lahko z drugim trdnim tantalovim karbidom (kompaktnim) ali prevleko iz tantalovega karbida iz tehnologije Hengpu za oblikovanje lokalnih komponent z različno prevodnostjo toka.
Nekatere komponente je mogoče ponovno uporabiti.
Čas objave: 14. julij 2023