Tarče za razprševanje, ki se uporabljajo v polprevodniških integriranih vezjih

Tarče za razprševanjese večinoma uporabljajo v elektronski in informacijski industriji, kot so integrirana vezja, shranjevanje informacij, zasloni s tekočimi kristali, laserski pomnilniki, elektronske krmilne naprave itd. Uporabljajo se lahko tudi na področju prevlek stekla, pa tudi v odpornih proti obrabi materiali, odpornost na visokotemperaturno korozijo, vrhunski dekorativni izdelki in druge industrije.

Razprševanje je ena glavnih tehnik za pripravo tankoslojnih materialov.Uporablja ione, ki jih ustvarijo ionski viri, za pospeševanje in združevanje v vakuumu, da tvorijo energijske ionske žarke visoke hitrosti, obstreljujejo trdno površino in izmenjujejo kinetično energijo med ioni in atomi trdne površine. Atomi na trdni površini zapustijo trdno snov in se odložijo na površino substrata. Bombardirana trdna snov je surovina za nanašanje tankih filmov z razprševanjem, ki se imenuje tarča za razprševanje. Različne vrste napršenih tankoslojnih materialov se pogosto uporabljajo v polprevodniških integriranih vezjih, snemalnih medijih, ploščatih zaslonih in površinskih prevlekah obdelovancev.

Med vsemi industrijskimi panogami ima industrija polprevodnikov najstrožje zahteve glede kakovosti za filme za brizganje tarč. Tarče za brizganje kovin visoke čistosti se večinoma uporabljajo v proizvodnji rezin in naprednih postopkih pakiranja. Če za primer vzamemo proizvodnjo čipov, lahko vidimo, da mora od silicijeve rezine do čipa iti skozi 7 glavnih proizvodnih procesov, in sicer difuzijo (toplotni proces), fotolitografijo (fotolitografija), jedkanje (jedkanje), Ionska implantacija (IonImplant), rast tankega filma (nanašanje z dielektrikom), kemično mehansko poliranje (CMP), metalizacija (Metalizacija) Postopki ustrezajo drug za drugim. Tarča za naprševanje se uporablja v procesu "metalizacije". Tarča je bombardirana z visokoenergijskimi delci z opremo za nanašanje tankega filma, nato pa se na silicijevi rezini oblikuje kovinska plast s posebnimi funkcijami, kot je prevodna plast, pregradna plast. Počakajte. Ker so procesi celotnih polprevodnikov različni, je potrebnih nekaj občasnih situacij za preverjanje pravilnega obstoja sistema, zato zahtevamo nekatere vrste navideznih materialov v določenih fazah proizvodnje, da potrdimo učinke.