Grafitni nosilec za proces PECVD

Grafitni nosilec za postopek PECVD Prikazana slika

Kratek opis:

VET EnergyPECVD Graphite Boat for Solar Panel je napredna komponenta, zasnovana posebej za proizvodnjo visoko zmogljivih sončnih kolektorjev. Ta grafitni čoln, ki se uporablja v postopkih plazemsko izboljšanega kemičnega naparjevanja (PECVD), zagotavlja optimalno ravnanje z materialom in enakomerno nanašanje tankih plasti na sončne celice. Zasnovano za natančnost in vzdržljivost zagotavlja vrhunsko toplotno prevodnost, visoko odpornost proti koroziji in minimalno kontaminacijo, kar je bistvenega pomena za proizvodnjo učinkovitih visokokakovostnih sončnih kolektorjev.

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

VET EnergyGrafitni nosilec postopka PECVD je visokokakovosten potrošni material, prilagojen za postopek PECVD (plazemsko izboljšano kemično naparjevanje). Ta grafitni nosilec je izdelan iz grafitnega materiala visoke čistosti z visoko gostoto, z odlično odpornostjo na visoke temperature, odpornostjo proti koroziji, dimenzijsko stabilnostjo in drugimi značilnostmi, lahko zagotovi stabilno nosilno platformo za proces PECVD, da zagotovi enotnost in ravnost tankega filma odlaganje.

Grafitni nosilci za proces PECVD imajo naslednje značilnosti:

▪ Visoka čistost: izredno nizka vsebnost nečistoč, preprečevanje kontaminacije filma in zagotavljanje kakovosti filma.

▪ Visoka gostota: visoka gostota, visoka mehanska trdnost, sposobnost prenesti visoko temperaturo in visokotlačno okolje PECVD.

▪ Dobra dimenzijska stabilnost: majhna sprememba dimenzij pri visoki temperaturi, ki zagotavlja stabilnost procesa.

▪ Odlična toplotna prevodnost: učinkovito prenaša toploto, da prepreči pregrevanje rezin.

▪ Močna odpornost proti koroziji: odpornost na erozijo zaradi različnih jedkih plinov in plazme.

▪ Storitev po meri: grafitne nosilce različnih velikosti in oblik je mogoče prilagoditi glede na potrebe kupca.

Grafitni material iz SGL:

Tipični parameter: R6510
Kazalo	Testni standard	Vrednost	Enota
Povprečna velikost zrn	ISO 13320	10	μm
Nasipna gostota	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Odprta poroznost	DIN66133	10	%
Srednje velike pore	DIN66133	1.8	μm
Prepustnost	DIN 51935	0,06	cm²/s
Trdota po Rockwellu HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifična električna upornost	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Upogibna trdnost	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tlačna trdnost	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Toplotna ekspanzija (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Toplotna prevodnost (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Zasnovan je posebej za visoko učinkovito proizvodnjo sončnih celic, ki podpira obdelavo rezin velike velikosti G12. Optimizirana zasnova nosilca znatno poveča pretok, kar omogoča višje stopnje izkoristka in nižje proizvodne stroške.

Postavka	Vrsta	Nosilec rezin številke
PEVCD Grephite čoln - serija 156	156-13 grefitni čoln	144
	156-19 grefitni čoln	216
	156-21 grefitni čoln	240
	156-23 grafitni čoln	308
PEVCD Grephite čoln - serija 125	125-15 grefitni čoln	196
	125-19 grefitni čoln	252
	125-21 grfitni čoln	280