CVD grafitni prstan s prevleko iz silicijevega karbida

Grafitni prstan s prevleko iz silicijevega karbida CVD Prikazana slika

Kratek opis:

VET Energy grafitni obroč, prevlečen s silicijevim karbidom, je visoko zmogljiv izdelek, zasnovan tako, da zagotavlja dosledno in zanesljivo delovanje v daljšem obdobju. Ima izjemno dobro toplotno odpornost in toplotno enakomernost, visoko čistost, odpornost proti eroziji, zaradi česar je odlična rešitev za obdelavo rezin.

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Tipične lastnosti osnovnega grafitnega materiala:

Navidezna gostota:	1,85 g/cm3
Električna upornost:	11 μΩm
Upogibna trdnost:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Trdota po Shoru:	58
Pepel:	<5 ppm
Toplotna prevodnost:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Dobavljamo različne suceptorje in grafitne komponente za vse trenutne epitaksijske reaktorje. Naši izdelki vključujejo sosceptorje za enote LPE, sosceptorje za palačinke za enote LPE, CSD in Gemini ter enorezne sprejemnike za uporabljene in ASM enote.

S kombinacijo močnih partnerstev z vodilnimi proizvajalci originalne opreme, strokovnega znanja o materialih in proizvodnega znanja, vet ponuja optimalno zasnovo za vašo aplikacijo.

VET Energy je thepravi proizvajalec prilagojenih izdelkov iz grafita in silicijevega karbida s CVD prevleko,lahko dobavirazličnedeli po meri za polprevodniško in fotovoltaično industrijo. OVaša tehnična ekipa prihaja iz vrhunskih domačih raziskovalnih ustanov, lahko zagotovi bolj profesionalne materialne rešitveza vas.

Flastnosti naših izdelkov:

1. Visokotemperaturna oksidacijska odpornost do 1700℃.
2. Visoka čistost intoplotna enakomernost
3. Odlična odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
4. Visoka trdota, kompaktna površina, drobni delci.
5. Daljša življenjska doba in bolj trpežna

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiCpremazovanje
性质 / Lastnina	典型数值 / Tipična vrednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶，主要为（111) 取向
密度 / Gostota	3,21 g/cm³
硬度 / Trdota	2500 维氏硬度（500g obremenitev）
晶粒大小 / Velikost zrna	2~10 μm
纯度 / Kemijska čistost	99,99995 %
热容 / Toplotna zmogljivost	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700 ℃
抗弯强度 / Upogibna trdnost	415 MPa RT 4-točkovno
杨氏模量 / Youngov modul	430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
导热系数 / TermalPrevodnost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Toplotna ekspanzija (CTE)	4,5×10^-6K^-1