Čo je sic náter? – VET ENERGIA

Karbid kremíkaje tvrdá zlúčenina obsahujúca kremík a uhlík a v prírode sa vyskytuje ako mimoriadne vzácny minerál moissanit. Častice karbidu kremíka sa môžu spájať spekaním za vzniku veľmi tvrdej keramiky, ktorá sa široko používa v aplikáciách vyžadujúcich vysokú odolnosť, najmä pri výrobe polovodičov.

Fyzikálna štruktúra SiC

Čo je povlak SiC?

SiC povlak je hustý povlak z karbidu kremíka odolný voči opotrebovaniu s vysokou odolnosťou proti korózii a teplu a vynikajúcou tepelnou vodivosťou. Tento vysoko čistý SiC povlak sa primárne používa v polovodičovom a elektronickom priemysle na ochranu plátkových nosičov, báz a vykurovacích prvkov pred korozívnym a reaktívnym prostredím. SiC povlak je vhodný aj pre vákuové pece a ohrev vzoriek vo vysokom vákuu, v reaktívnom a kyslíkovom prostredí.

Povrchová vrstva SiC s vysokou čistotou

Čo je proces povlakovania SiC?

Tenká vrstva karbidu kremíka sa nanáša na povrch substrátu pomocouCVD (chemická depozícia z pár). Nanášanie sa zvyčajne vykonáva pri teplotách 1200 až 1300 °C a správanie substrátu pri tepelnej rozťažnosti by malo byť kompatibilné s povlakom SiC, aby sa minimalizovalo tepelné namáhanie.

CVD SIC FILM KRIŠTÁĽOVÁ ŠTRUKTÚRA

CVD SIC povlak FILM KRIŠTÁĽOVÁ ŠTRUKTÚRA

Fyzikálne vlastnosti povlaku SiC sa odrážajú najmä v jeho vysokej teplotnej odolnosti, tvrdosti, odolnosti proti korózii a tepelnej vodivosti.

Typické fyzické parametre sú zvyčajne nasledovné:

Tvrdosť: Povlak SiC má zvyčajne tvrdosť podľa Vickersa v rozsahu 2000-2500 HV, čo im dáva extrémne vysokú odolnosť proti opotrebovaniu a nárazu v priemyselných aplikáciách.

Hustota: Povlaky SiC majú zvyčajne hustotu 3,1-3,2 g/cm³. Vysoká hustota prispieva k mechanickej pevnosti a odolnosti náteru.

Tepelná vodivosť: SiC povlaky majú vysokú tepelnú vodivosť, typicky v rozsahu 120-200 W/mK (pri 20°C). To mu dáva dobrú tepelnú vodivosť v prostredí s vysokou teplotou a robí ho obzvlášť vhodným pre zariadenia na tepelné spracovanie v polovodičovom priemysle.

Teplota topenia: karbid kremíka má teplotu topenia približne 2730 °C a má vynikajúcu tepelnú stabilitu pri extrémnych teplotách.

Koeficient tepelnej rozťažnosti: SiC povlaky majú nízky lineárny koeficient tepelnej rozťažnosti (CTE), typicky v rozsahu 4,0-4,5 µm/mK (v 25-1000 °C). To znamená, že jeho rozmerová stabilita je vynikajúca pri veľkých teplotných rozdieloch.

Odolnosť proti korózii: Povlaky SiC sú extrémne odolné voči korózii v silne kyslom, alkalickom a oxidačnom prostredí, najmä pri použití silných kyselín (ako je HF alebo HCl), ich odolnosť proti korózii ďaleko prevyšuje odolnosť bežných kovových materiálov.

SiC povlaky je možné aplikovať na nasledujúce materiály:

Vysoko čistý izostatický grafit (nízky CTE)
Volfrám
molybdén
Karbid kremíka
Nitrid kremíka
Kompozity uhlík-uhlík (CFC)

Výrobky s povlakom SiC sa bežne používajú v nasledujúcich oblastiach:

Výroba LED čipov
Výroba polysilikónu
Polovodičrast kryštálov
Kremík aSiC epitaxia
Tepelné spracovanie plátkov a leptanie

Prečo si vybrať VET Energy?

VET Energy je popredný výrobca, inovátor a líder produktov SiC povlakov v Číne, medzi hlavné produkty povlakov SiC patrianosič plátku s povlakom SiCs povlakom SiCepitaxný susceptor, Grafitový krúžok potiahnutý SiC, Polmesiace časti s povlakom SiC, Kompozit uhlík-uhlík potiahnutý SiC, Oblátkový čln potiahnutý SiC, Ohrievač potiahnutý SiC, atď. VET Energy sa zaviazala poskytovať polovodičovému priemyslu špičkové technológie a riešenia produktov a podporuje služby prispôsobenia. Úprimne sa tešíme, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.