CVD (Chemical Vapour Deposition) je bežne používaná metóda na prípravu povlakov z karbidu kremíka.CVD povlaky z karbidu kremíkamajú mnoho jedinečných výkonnostných charakteristík. Tento článok predstaví spôsob prípravy CVD povlaku z karbidu kremíka a jeho výkonnostné charakteristiky.
1. Spôsob prípravyCVD povlak z karbidu kremíka
Metóda CVD premieňa plynné prekurzory na pevné povlaky karbidu kremíka za podmienok vysokej teploty. Podľa rôznych plynných prekurzorov sa dá rozdeliť na CVD v plynnej fáze a CVD v kvapalnej fáze.
1. CVD v parnej fáze
CVD v parnej fáze využíva plynné prekurzory, zvyčajne organokremičité zlúčeniny, na dosiahnutie rastu filmov z karbidu kremíka. Bežne používané organokremičité zlúčeniny zahŕňajú metylsilán, dimetylsilán, monosilán atď., ktoré vytvárajú filmy karbidu kremíka na kovových substrátoch transportom plynných prekurzorov do vysokoteplotných reakčných komôr. Oblasti s vysokou teplotou v reakčnej komore sú zvyčajne generované indukčným ohrevom alebo odporovým ohrevom.
2. CVD v kvapalnej fáze
CVD v kvapalnej fáze využíva kvapalný prekurzor, zvyčajne organické rozpúšťadlo obsahujúce kremík a silanolovú zlúčeninu, ktorý sa zahrieva a odparuje v reakčnej komore a potom sa na substráte chemickou reakciou vytvorí film karbidu kremíka.
2. Výkonnostné charakteristikyCVD povlak z karbidu kremíka
1.Vynikajúci výkon pri vysokej teplote
CVD povlaky z karbidu kremíkaponúkajú vynikajúcu stabilitu pri vysokej teplote a odolnosť proti oxidácii. Je schopný pracovať v prostredí s vysokou teplotou a dokáže odolávať extrémnym podmienkam pri vysokých teplotách.
2. Dobré mechanické vlastnosti
CVD povlak z karbidu kremíkamá vysokú tvrdosť a dobrú odolnosť proti opotrebovaniu. Chráni kovové podklady pred opotrebovaním a koróziou, čím predlžuje životnosť materiálu.
3. Vynikajúca chemická stabilita
CVD povlaky z karbidu kremíkasú vysoko odolné voči bežným chemikáliám, ako sú kyseliny, zásady a soli. Odoláva chemickému napadnutiu a korózii podkladu.
4. Nízky koeficient trenia
CVD povlak z karbidu kremíkamá nízky koeficient trenia a dobré samomazacie vlastnosti. Znižuje trenie a opotrebovanie a zlepšuje efektivitu využitia materiálu.
5. Dobrá tepelná vodivosť
CVD povlak z karbidu kremíka má dobré vlastnosti tepelnej vodivosti. Môže rýchlo viesť teplo a zlepšiť účinnosť odvádzania tepla kovovej základne.
6.Vynikajúce elektrické izolačné vlastnosti
CVD povlak z karbidu kremíka má dobré elektrické izolačné vlastnosti a môže zabrániť úniku prúdu. Je široko používaný pri izolačnej ochrane elektronických zariadení.
7. Nastaviteľná hrúbka a zloženie
Riadením podmienok počas procesu CVD a koncentrácie prekurzora možno nastaviť hrúbku a zloženie filmu karbidu kremíka. To poskytuje množstvo možností a flexibility pre rôzne aplikácie.
Stručne povedané, CVD povlak z karbidu kremíka má vynikajúci výkon pri vysokej teplote, vynikajúce mechanické vlastnosti, dobrú chemickú stabilitu, nízky koeficient trenia, dobrú tepelnú vodivosť a elektrické izolačné vlastnosti. Vďaka týmto vlastnostiam sú CVD povlaky z karbidu kremíka široko používané v mnohých oblastiach vrátane elektroniky, optiky, letectva, chemického priemyslu atď.
Čas odoslania: 20. marca 2024