Vznik oxidu kremičitého na povrchu kremíka sa nazýva oxidácia a vytvorenie stabilného a silne priľnavého oxidu kremičitého viedlo k zrodu plošnej technológie kremíkových integrovaných obvodov. Hoci existuje mnoho spôsobov, ako pestovať oxid kremičitý priamo na povrchu kremíka, zvyčajne sa to robí tepelnou oxidáciou, čo znamená vystavenie kremíka oxidačnému prostrediu s vysokou teplotou (kyslík, voda). Metódy tepelnej oxidácie môžu kontrolovať hrúbku filmu a charakteristiky rozhrania kremík/oxid kremičitý počas prípravy filmov oxidu kremičitého. Ďalšími technikami pestovania oxidu kremičitého sú plazmová anodizácia a mokrá anodizácia, ale žiadna z týchto techník nebola široko používaná v procesoch VLSI.
Kremík vykazuje tendenciu vytvárať stabilný oxid kremičitý. Ak je čerstvo naštiepený kremík vystavený oxidačnému prostrediu (ako je kyslík, voda), vytvorí veľmi tenkú vrstvu oxidu (<20Å) aj pri izbovej teplote. Keď je kremík vystavený oxidačnému prostrediu pri vysokej teplote, hrubšia vrstva oxidu sa vytvorí rýchlejšie. Základný mechanizmus tvorby oxidu kremičitého z kremíka je dobre známy. Deal and Grove vyvinuli matematický model, ktorý presne popisuje dynamiku rastu oxidových filmov hrubších ako 300 Á. Navrhli, aby sa oxidácia vykonávala nasledujúcim spôsobom, to znamená, že oxidant (molekuly vody a molekuly kyslíka) difunduje cez existujúcu vrstvu oxidu na rozhranie Si/SiO2, kde oxidant reaguje s kremíkom za vzniku oxidu kremičitého. Hlavná reakcia na tvorbu oxidu kremičitého je opísaná takto:
K oxidačnej reakcii dochádza na rozhraní Si/SiO2, takže keď vrstva oxidu rastie, kremík sa nepretržite spotrebúva a rozhranie postupne napáda kremík. Podľa zodpovedajúcej hustoty a molekulovej hmotnosti kremíka a oxidu kremičitého možno zistiť, že kremík spotrebovaný na hrúbku konečnej oxidovej vrstvy je 44 %. Týmto spôsobom, ak vrstva oxidu narastie o 10 000 Á, spotrebuje sa 4 400 Á kremíka. Tento vzťah je dôležitý pre výpočet výšky stupňov vytvorených nakremíkový plátok. Kroky sú výsledkom rôznych rýchlostí oxidácie na rôznych miestach na povrchu kremíkového plátku.
Dodávame tiež vysoko čisté produkty z grafitu a karbidu kremíka, ktoré sa široko používajú pri spracovaní plátkov, ako je oxidácia, difúzia a žíhanie.
Vitajte všetkých zákazníkov z celého sveta, aby nás navštívili na ďalšiu diskusiu!
https://www.vet-china.com/
Čas uverejnenia: 13. novembra 2024