Naprašovacie terčesa používajú hlavne v elektronickom a informačnom priemysle, ako sú integrované obvody, ukladanie informácií, displeje s tekutými kryštálmi, laserové pamäte, elektronické riadiace zariadenia atď. materiály, odolnosť proti vysokoteplotnej korózii, špičkové dekoratívne výrobky a iné priemyselné odvetvia.
Naprašovanie je jednou z hlavných techník prípravy tenkých filmových materiálov.Využíva ióny generované zdrojmi iónov na zrýchlenie a agregáciu vo vákuu na vytvorenie vysokorýchlostných energetických iónových lúčov, bombardovanie pevného povrchu a výmenu kinetickej energie medzi iónmi a atómami pevného povrchu. Atómy na pevnom povrchu opúšťajú pevnú látku a ukladajú sa na povrch substrátu. Bombardovaná pevná látka je surovinou na nanášanie tenkých vrstiev naprašovaním, ktoré sa nazýva naprašovacie terče. Rôzne typy naprašovaných tenkovrstvových materiálov sa široko používajú v polovodičových integrovaných obvodoch, záznamových médiách, plochých displejoch a povrchových náteroch obrobkov.
Medzi všetkými aplikačnými odvetviami má polovodičový priemysel najprísnejšie požiadavky na kvalitu na filmy na naprašovanie terčov. Terče na naprašovanie na kovy s vysokou čistotou sa používajú hlavne pri výrobe plátkov a pokročilých procesoch balenia. Ak vezmeme ako príklad výrobu čipu, môžeme vidieť, že od kremíkového plátku po čip musí prejsť 7 hlavnými výrobnými procesmi, a to difúzia (tepelný proces), fotolitografia (fotolitografia), leptanie (leptanie), Iónová implantácia (IonImplant), rast tenkého filmu (dielektrická depozícia), chemicko-mechanické leštenie (CMP), metalizácia (metalizácia) Procesy zodpovedajú jeden po druhom. Naprašovací terč sa používa v procese „metalizácie“. Cieľ je bombardovaný vysokoenergetickými časticami zariadením na nanášanie tenkých vrstiev a potom sa na kremíkovej doštičke vytvorí kovová vrstva so špecifickými funkciami, ako je vodivá vrstva, bariérová vrstva. Počkajte. Keďže procesy celých polovodičov sú rôznorodé, sú potrebné občasné situácie na overenie, či systém existuje správne, takže v určitých fázach výroby požadujeme niektoré druhy fiktívnych materiálov na potvrdenie účinkov.
Čas odoslania: 17. januára 2022