පසුවේෆර්පෙර ක්රියාවලිය හරහා ගොස් ඇත, චිප් සකස් කිරීම අවසන් කර ඇති අතර, එය වේෆර් මත චිප්ස් වෙන් කිරීම සඳහා කපා, අවසානයේ ඇසුරුම් කළ යුතුය. දවේෆර්විවිධ ඝණකම සහිත වේෆර් සඳහා තෝරාගත් කැපුම් ක්රියාවලිය ද වෙනස් වේ:
▪වේෆර්ස්100um ට වැඩි ඝණකම සහිත සාමාන්යයෙන් තලවලින් කපා ඇත;
▪වේෆර්ස්100um ට අඩු ඝනකමක් ඇති ඒවා සාමාන්යයෙන් ලේසර් මගින් කපා ඇත. ලේසර් කැපීම මගින් පීලිං සහ ඉරිතැලීමේ ගැටළු අඩු කළ හැකි නමුත් එය 100um ට වඩා වැඩි වූ විට නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව බෙහෙවින් අඩු වනු ඇත;
▪වේෆර්ස්ඝනකම 30um ට අඩු ප්ලාස්මා සමඟ කපා ඇත. ප්ලාස්මා කැපීම වේගවත් වන අතර වේෆර් මතුපිටට හානි නොකරනු ඇත, එමගින් අස්වැන්න වැඩි දියුණු කිරීම, නමුත් එහි ක්රියාවලිය වඩාත් සංකීර්ණ වේ;
වේෆර් කැපීමේ ක්රියාවලියේදී, ආරක්ෂිත "තනි" සහතික කිරීම සඳහා චිත්රපටයක් කල්තියා වේෆර් වෙත යොදනු ලැබේ. එහි ප්රධාන කාර්යයන් පහත පරිදි වේ.
වේෆර් සවි කර ආරක්ෂා කරන්න
ඩයිසිං මෙහෙයුම අතරතුර, වේෆර් නිවැරදිව කපා ගත යුතුය.වේෆර්ස්සාමාන්යයෙන් සිහින් සහ බිඳෙනසුලු වේ. කැපුම් ක්රියාවලියේදී වේෆරය මාරු වීම සහ සෙලවීම වැළැක්වීම සඳහා, කැපීමේ නිරවද්‍යතාවය සහ නිරවද්‍යතාවය සහතික කිරීම සඳහා UV ටේප් මඟින් වේෆරය රාමුවට හෝ වේෆර් වේදිකාවට තදින් ඇලවිය හැකිය.
එය වේෆර් සඳහා හොඳ භෞතික ආරක්ෂාවක් සැපයිය හැකිය, හානි වළක්වා ගත හැකියවේෆර්කැපුම් ක්රියාවලියේදී සිදු විය හැකි ඉරිතැලීම්, දාර කඩාවැටීම් සහ අනෙකුත් දෝෂ වැනි බාහිර බල බලපෑම සහ ඝර්ෂණය නිසා ඇති වන අතර වේෆරයේ මතුපිට ඇති චිප් ව්‍යුහය සහ පරිපථය ආරක්ෂා කරයි.
පහසු කැපුම් මෙහෙයුම
UV ටේප් සුදුසු ප්‍රත්‍යාස්ථතාවයක් සහ නම්‍යශීලී බවක් ඇති අතර, කැපුම් තලය කැපීමේදී මධ්‍යස්ථව විරූපණය විය හැක, කැපුම් ක්රියාවලිය සුමට කරයි, තලය සහ වේෆර් මත කැපුම් ප්‍රතිරෝධයේ අහිතකර බලපෑම් අඩු කරයි, සහ කැපුම් ගුණාත්මකභාවය සහ සේවා කාලය වැඩි දියුණු කිරීමට උපකාරී වේ. තලය. එහි මතුපිට ලක්ෂණ නිසා කැපීමෙන් ජනනය වන සුන්බුන් වටේට විසිරීමකින් තොරව ටේප් එකට වඩා හොඳින් ඇලී සිටීමට හැකි වන අතර, එය කැපුම් ප්‍රදේශය පසුව පිරිසිදු කිරීමට, වැඩ කරන පරිසරය සාපේක්ෂව පිරිසිදුව තබා ගැනීමට සහ සුන්බුන් අපවිත්‍ර වීමෙන් හෝ වේෆර් සහ අනෙකුත් උපකරණවලට බාධා කිරීමෙන් වළක්වා ගැනීමට පහසු වේ. .
පසුව හැසිරවීමට පහසුය
වේෆර් කැපීමෙන් පසු, UV ටේප් නිශ්චිත තරංග ආයාමයකින් සහ තීව්‍රතාවයකින් යුත් පාරජම්බුල කිරණ මගින් එය ප්‍රකිරණය කිරීමෙන් ඉක්මනින් දුස්ස්රාවීතාවයෙන් අඩු කළ හැකිය, නැතහොත් සම්පූර්ණයෙන්ම නැති වී යයි, එවිට කැපූ චිපය පහසුවෙන් ටේප් එකෙන් වෙන් කළ හැකිය, එය පසුව සඳහා පහසු වේ. චිප් ඇසුරුම් කිරීම, පරීක්ෂා කිරීම සහ අනෙකුත් ක්‍රියාවලි ගලා යන අතර, මෙම වෙන් කිරීමේ ක්රියාවලිය චිපයට හානි කිරීමේ ඉතා අඩු අවදානමක් ඇත.
පසු කාලය: දෙසැම්බර්-16-2024