අයන බෝම්බ හෙලීමේ ඒකාකාර නොවීම
වියළිකැටයම් කිරීමසාමාන්‍යයෙන් භෞතික හා රසායනික බලපෑම් ඒකාබද්ධ කරන ක්‍රියාවලියක් වන අතර, අයන බෝම්බ හෙලීම වැදගත් භෞතික කැටයම් ක්‍රමයක් වේ. කාලය තුළකැටයම් ක්රියාවලිය, අයනවල සිද්ධි කෝණය සහ ශක්ති ව්‍යාප්තිය අසමාන විය හැක.
පැති බැම්මෙහි විවිධ ස්ථානවල අයන සිද්ධි කෝණය වෙනස් නම්, පැති බැම්මෙහි අයනවල කැටීමේ බලපෑම ද වෙනස් වේ. විශාල අයන සිද්ධි කෝණ සහිත ප්‍රදේශ වල, පැති බැම්ම මත අයනවල එතීෙම් බලපෑම ශක්තිමත් වන අතර, එමඟින් මෙම ප්‍රදේශයේ පැති බැම්ම වැඩිපුර කැටයම් කර පැති බැම්ම නැමීමට හේතු වේ. මීට අමතරව, අයන ශක්තියේ අසමාන ව්‍යාප්තිය ද සමාන බලපෑම් ඇති කරයි. වැඩි ශක්තියක් ඇති අයනවලට ද්රව්ය වඩාත් ඵලදායී ලෙස ඉවත් කළ හැකි අතර, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස නොගැලපීම ඇති වේකැටයම් කිරීමවිවිධ ස්ථානවල පැති බැම්මෙහි අංශක, අනෙක් අතට පැති බැම්ම නැමීමට හේතු වේ.
photoresist වල බලපෑම
Photoresist වියළි කැටයම් කිරීමේදී වෙස් මුහුණක භූමිකාව ඉටු කරයි, කැටයම් කිරීමට අවශ්‍ය නොවන ප්‍රදේශ ආරක්ෂා කරයි. කෙසේ වෙතත්, ප්ලාස්මා බෝම්බ හෙලීම සහ කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී සිදුවන රසායනික ප්‍රතික්‍රියා මගින් ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධය ද බලපාන අතර එහි ක්‍රියාකාරිත්වය වෙනස් විය හැක.
ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධකයේ ඝනකම අසමාන නම්, කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී පරිභෝජන අනුපාතය නොගැලපේ නම්, හෝ විවිධ ස්ථානවල ප්‍රකාශනකාරකය සහ උපස්ථරය අතර ඇලීම වෙනස් වේ නම්, එය කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී පැති බැම්මෙහි අසමාන ආරක්ෂාවට හේතු විය හැක. නිදසුනක් ලෙස, සිහින් ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධක හෝ දුර්වල ඇලීමක් ඇති ප්‍රදේශ යටින් පවතින ද්රව්ය වඩාත් පහසුවෙන් කැටයම් කළ හැකි අතර, මෙම ස්ථානවල පැති බැම්ම නැමීමට හේතු වේ.
උපස්ථර ද්රව්ය ගුණාංගවල වෙනස්කම්
විවිධ ප්‍රදේශ වල විවිධ ස්ඵටික දිශානතිය සහ මාත්‍රණ සාන්ද්‍රණය වැනි විවිධ ගුණාංග ඇති විය හැක. මෙම වෙනස්කම් කැටයම් අනුපාතයට සහ කැටයම් තේරීමට බලපානු ඇත.
නිදසුනක් ලෙස, ස්ඵටිකරූපී සිලිකන් තුළ, විවිධ ස්ඵටික දිශානතිවල සිලිකන් පරමාණුවල සැකැස්ම වෙනස් වන අතර, ඒවායේ ප්රතික්රියාශීලීත්වය සහ කැටයම් වායුව සමඟ කැටයම් අනුපාතය ද වෙනස් වේ. කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී, ද්‍රව්‍යමය ගුණවල වෙනස්කම් නිසා ඇතිවන විවිධ කැටයම් අනුපාත විවිධ ස්ථානවල පැති බැමිවල කැටයම් ගැඹුර නොගැලපෙන අතර අවසානයේ පැති බැම්ම නැමීමට තුඩු දෙයි.
උපකරණ සම්බන්ධ සාධක
කැටයම් කිරීමේ උපකරණවල ක්‍රියාකාරීත්වය සහ තත්ත්වය ද කැටයම් කිරීමේ ප්‍රතිඵල කෙරෙහි වැදගත් බලපෑමක් ඇති කරයි. නිදසුනක් ලෙස, ප්‍රතික්‍රියා කුටියේ අසමාන ප්ලාස්මා ව්‍යාප්තිය සහ අසමාන ඉලෙක්ට්‍රෝඩ ඇඳීම වැනි ගැටළු අයන ඝණත්වය සහ ෙව්ෆර් මතුපිට ශක්තිය වැනි පරාමිතිවල අසමාන ව්‍යාප්තියට හේතු විය හැක.
මීට අමතරව, උපකරණවල අසමාන උෂ්ණත්ව පාලනය සහ ගෑස් ප්රවාහයේ සුළු උච්චාවචනයන් ද කැටීමේ ඒකාකාරිත්වයට බලපාන අතර, පැති බැම්ම නැමීමට හේතු වේ.
පසු කාලය: දෙසැම්බර්-03-2024