රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීම (CVD) යනු සිලිකන් මතුපිට ඝන පටලයක් තැන්පත් කිරීමේ ක්රියාවලියයිවේෆර්වායු මිශ්රණයක රසායනික ප්රතික්රියාවක් හරහා. විවිධ ප්‍රතික්‍රියා තත්ත්වයන් (පීඩනය, පූර්වගාමියා) අනුව එය විවිධ උපකරණ ආකෘතිවලට බෙදිය හැකිය.
මෙම උපාංග දෙක භාවිතා කරන්නේ කුමන ක්‍රියාවලි සඳහාද?
PECVD(ප්ලාස්මා වැඩි දියුණු කරන ලද) උපකරණ යනු OX, නයිට්‍රයිඩ්, ලෝහ ද්වාරය, අස්ඵටික කාබන් යනාදී වශයෙන් භාවිතා වන බොහෝ සහ බහුලව භාවිතා වන උපකරණ වේ. LPCVD (අඩු බලය) සාමාන්‍යයෙන් නයිට්‍රයිඩ්, පොලි, TEOS වල භාවිතා වේ.
මූලධර්මය කුමක්ද?
PECVD - ප්ලාස්මා ශක්තිය සහ CVD පරිපූර්ණ ලෙස ඒකාබද්ධ කරන ක්‍රියාවලියකි. PECVD තාක්‍ෂණය අඩු පීඩනයක් යටතේ ක්‍රියාවලි කුටියේ (එනම් නියැදි තැටි) කැතෝඩයේ දීප්තියේ විසර්ජනය ඇති කිරීමට අඩු උෂ්ණත්ව ප්ලාස්මා භාවිතා කරයි. මෙම දිලිසෙන විසර්ජනය හෝ වෙනත් උනුසුම් උපකරණයක් මඟින් නියැදියේ උෂ්ණත්වය කලින් තීරණය කළ මට්ටමට ඉහළ නැංවිය හැකි අතර පසුව ක්‍රියාවලි වායුව පාලනය කළ හැකි ප්‍රමාණයක් හඳුන්වා දිය හැක. මෙම වායුව රසායනික හා ප්ලාස්මා ප්‍රතික්‍රියා මාලාවකට භාජනය වන අතර අවසානයේ නියැදියේ මතුපිට ඝන පටලයක් සාදයි.
LPCVD - අඩු පීඩන රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (LPCVD) නිර්මාණය කර ඇත්තේ ප්‍රතික්‍රියාකාරකයේ ප්‍රතික්‍රියා වායුවේ ක්‍රියාකාරී පීඩනය 133Pa හෝ ඊට අඩු ප්‍රමාණයකට අඩු කිරීමටය.
එක් එක් ලක්ෂණ මොනවාද?
PECVD - ප්ලාස්මා ශක්තිය සහ CVD පරිපූර්ණ ලෙස ඒකාබද්ධ කරන ක්‍රියාවලියක්: 1) අඩු-උෂ්ණත්ව ක්‍රියාකාරිත්වය (උපකරණවලට අධික උෂ්ණත්ව හානි වළක්වා ගැනීම); 2) වේගවත් චිත්රපට වර්ධනය; 3) ද්‍රව්‍ය ගැන එතරම් උනන්දුවක් නොදක්වන, OX, නයිට්‍රයිඩ්, ලෝහ ද්වාරය, අස්ඵටික කාබන් සියල්ල වර්ධනය විය හැක; 4) අයන පරාමිතීන්, වායු ප්‍රවාහ අනුපාතය, උෂ්ණත්වය සහ පටල ඝණකම හරහා වට්ටෝරුව සකස් කළ හැකි ස්ථානගත අධීක්ෂණ පද්ධතියක් ඇත.
LPCVD - LPCVD මගින් තැන්පත් කරන ලද තුනී පටල වඩා හොඳ පියවර ආවරණයක්, හොඳ සංයුතිය සහ ව්‍යුහ පාලනය, ඉහළ තැන්පත් වීමේ අනුපාතය සහ ප්‍රතිදානය ඇත. මීට අමතරව, LPCVD සඳහා වාහක වායුව අවශ්‍ය නොවේ, එබැවින් එය අංශු දූෂණයේ ප්‍රභවය බෙහෙවින් අඩු කරන අතර තුනී පටල තැන්පත් කිරීම සඳහා ඉහළ අගය එකතු කරන ලද අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තවල බහුලව භාවිතා වේ.
වැඩිදුර සාකච්ඡාවක් සඳහා අප වෙත පැමිණීමට ලොව පුරා සිටින ඕනෑම පාරිභෝගිකයෙකු සාදරයෙන් පිළිගනිමු!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
පසු කාලය: ජූලි-24-2024