සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය යනු කුමක්ද?

සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය,SiC ආලේපනය ලෙස පොදුවේ හැඳින්වෙන, රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (CVD), භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (PVD) හෝ තාප ඉසීම වැනි ක්‍රම මගින් සිලිකන් කාබයිඩ් තට්ටුවක් මතුපිටට යෙදීමේ ක්‍රියාවලියයි. මෙම සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනය සුවිශේෂී ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය, තාප ස්ථායීතාවය සහ විඛාදන ආරක්ෂාව ලබා දීමෙන් විවිධ උපස්ථරවල මතුපිට ගුණාංග වැඩි දියුණු කරයි. ඉහළ ද්‍රවාංකයක් (ආසන්න වශයෙන් 2700℃), අධික දෘඪතාව (Mohs පරිමාණය 9), විශිෂ්ට විඛාදනයට සහ ඔක්සිකරණ ප්‍රතිරෝධය සහ සුවිශේෂී ඉවත් කිරීමේ ක්‍රියාකාරිත්වය ඇතුළුව එහි කැපී පෙනෙන භෞතික හා රසායනික ගුණාංග සඳහා SiC ප්‍රසිද්ධය.

කාර්මික යෙදුම්වල සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනයේ ප්‍රධාන ප්‍රතිලාභ

මෙම ලක්ෂණ නිසා සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය අභ්‍යවකාශය, ආයුධ උපකරණ සහ අර්ධ සන්නායක සැකසීම වැනි ක්ෂේත්‍රවල බහුලව භාවිතා වේ. ආන්තික පරිසරවලදී, විශේෂයෙන් 1800-2000℃ පරාසය තුළ, SiC ආෙල්පනය කැපී පෙනෙන තාප ස්ථායීතාවයක් සහ ablative ප්‍රතිරෝධයක් පෙන්නුම් කරයි, එය ඉහළ-උෂ්ණත්ව යෙදුම් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ. කෙසේ වෙතත්, සිලිකන් කාබයිඩ් පමණක් බොහෝ යෙදුම් සඳහා අවශ්‍ය ව්‍යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව නොමැති බැවින්, සංරචක ශක්තියට හානියක් නොවන පරිදි එහි අද්විතීය ගුණාංග උද්දීපනය කිරීම සඳහා ආලේපන ක්‍රම භාවිතා කරනු ලැබේ. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී, සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපිත මූලද්‍රව්‍ය MOCVD ක්‍රියාවලීන්හි භාවිතා කරන උපකරණ තුළ විශ්වාසනීය ආරක්ෂාවක් සහ කාර්ය සාධන ස්ථායීතාවයක් සපයයි.

සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය සකස් කිරීම සඳහා පොදු ක්රම

Ⅰ● රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (CVD) සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය

මෙම ක්‍රමයේදී, මීතයිල්ට්‍රයික්ලෝරෝසිලේන් (MTS) පූර්වගාමියා ලෙස ක්‍රියා කරන ප්‍රතික්‍රියා කුටියක උපස්ථර තැබීමෙන් SiC ආලේපන සෑදේ. පාලිත තත්ව යටතේ - සාමාන්‍යයෙන් 950-1300 ° C සහ ඍණ පීඩනය - MTS වියෝජනයට ලක් වන අතර සිලිකන් කාබයිඩ් මතුපිටට තැන්පත් වේ. මෙම CVD SiC ආෙල්පන ක්‍රියාවලිය අර්ධ සන්නායක සහ අභ්‍යවකාශ අංශවල ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් යෙදුම් සඳහා වඩාත් සුදුසු, විශිෂ්ට පිළිපැදීමක් සහිත ඝන, ඒකාකාර ආලේපනයක් සහතික කරයි.

Ⅱ● පූර්වගාමී පරිවර්තන ක්‍රමය (පොලිමර් කාවැද්දීම සහ පයිරොලිසිස් - PIP)

තවත් ඵලදායි සිලිකන් කාබයිඩ් ඉසින ආෙල්පන ප්‍රවේශයක් වන්නේ පූර්වගාමී පරිවර්තන ක්‍රමය වන අතර එයට පෙර-ප්‍රතිකාර කළ නියැදිය සෙරමික් පූර්වගාමී ද්‍රාවණයක ගිල්වීම ඇතුළත් වේ. impregnation ටැංකිය රික්ත කිරීම සහ ආලේපනය පීඩනය කිරීමෙන් පසුව, නියැදිය රත් වන අතර, සිසිලනය මත සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය සෑදීමට හේතු වේ. මෙම ක්‍රමය ඒකාකාර ආලේපන ඝණකම සහ වැඩි දියුණු කළ ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය අවශ්‍ය සංරචක සඳහා අනුග්‍රහය දක්වයි.

සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනයේ භෞතික ගුණාංග

සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන ඉල්ලුම් කරන කාර්මික යෙදුම් සඳහා වඩාත් සුදුසු ගුණාංග ප්‍රදර්ශනය කරයි. මෙම ගුණාංගවලට ඇතුළත් වන්නේ:

තාප සන්නායකතාව: 120-270 W / m · K
තාප ව්යාප්තියේ සංගුණකය: 4.3 × 10^^(-6)/K (20~800℃ දී)
විද්‍යුත් ප්‍රතිරෝධය: 10^⁵– 10^⁶Ω· සෙ.මී
දෘඪතාව: Mohs පරිමාණය 9

සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනයේ යෙදීම්

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී, MOCVD සහ අනෙකුත් අධි-උෂ්ණත්ව ක්‍රියාවලීන් සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය, අධි-උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය සහ ස්ථායීතාවය යන දෙකම ලබා දීම මගින් ප්‍රතික්‍රියාකාරක සහ susceptors වැනි තීරණාත්මක උපකරණ ආරක්ෂා කරයි. අභ්‍යවකාශය සහ ආරක්‍ෂාවේදී, අධිවේගී බලපෑම් සහ විඛාදන පරිසරයන්ට ඔරොත්තු දිය යුතු සංරචක සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපන යොදනු ලැබේ. තවද, වන්ධ්‍යාකරණ ක්‍රියා පටිපාටි යටතේ කල්පැවැත්ම අවශ්‍ය වන වෛද්‍ය උපකරණ සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් තීන්ත හෝ ආලේපන ද භාවිතා කළ හැකිය.

සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය තෝරා ගන්නේ ඇයි?

සංරචක ආයු කාලය දීර්ඝ කිරීම සඳහා ඔප්පු කර ඇති වාර්තාවක් සහිතව, සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන නොගැලපෙන කල්පැවැත්මක් සහ උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාවයක් ලබා දෙයි, ඒවා දිගුකාලීන භාවිතය සඳහා ලාභදායී වේ. සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපිත මතුපිටක් තෝරා ගැනීමෙන්, නඩත්තු වියදම් අඩුවීම, වැඩිදියුණු කළ උපකරණ විශ්වසනීයත්වය සහ වැඩිදියුණු කළ මෙහෙයුම් කාර්යක්ෂමතාවයෙන් කර්මාන්ත ප්‍රතිලාභ ලබයි.

VET ENERGY තෝරා ගන්නේ ඇයි?

VET ENERGY යනු චීනයේ සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන නිෂ්පාදනවල වෘත්තීය නිෂ්පාදකයෙක් සහ කර්මාන්ත ශාලාවකි. ප්‍රධාන SiC ආලේපන නිෂ්පාදන අතර සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපන තාපකය ඇතුළත් වේ.CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආෙල්පන MOCVD Susceptor, CVD SiC ආලේපනය සහිත MOCVD ග්‍රැෆයිට් වාහකය, SiC ආලේපිත ග්‍රැෆයිට් පාදක වාහක, අර්ධ සන්නායක සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපිත ග්‍රැෆයිට් උපස්ථරය,අර්ධ සන්නායක සඳහා SiC ආලේපනය/ආලේපිත ග්‍රැෆයිට් උපස්ථරය/තැටියක්, CVD SiC ආලේපිත කාබන්-කාබන් සංයුක්ත CFC බෝට්ටු අච්චුව. VET ENERGY අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය සඳහා උසස් තාක්ෂණය සහ නිෂ්පාදන විසඳුම් ලබා දීමට කැපවී සිටී. චීනයේ ඔබේ දිගුකාලීන සහකරු වීමට අපි අවංකවම බලාපොරොත්තු වෙමු.