සිලිකන් කාබයිඩ්සිලිකන් සහ කාබන් අඩංගු දෘඩ සංයෝගයක් වන අතර, අතිශය දුර්ලභ ඛනිජ මොයිසානයිට් ලෙස ස්වභාවධර්මයේ දක්නට ලැබේ. සිලිකන් කාබයිඩ් අංශු ඉතා දෘඩ පිඟන් මැටි සෑදීමට සින්ටර් කිරීමෙන් එකට බන්ධනය කළ හැකි අතර, ඒවා ඉහළ කල්පැවැත්මක් අවශ්‍ය යෙදුම්වල, විශේෂයෙන් අර්ධ සන්නායක පෙරහැරේ දී බහුලව භාවිතා වේ.
SiC හි භෞතික ව්යුහය
SiC ආලේපනය යනු කුමක්ද?
SiC ආලේපනය යනු අධික විඛාදන සහ තාප ප්රතිරෝධය සහ විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවය සහිත ඝන, ඇඳීමට ඔරොත්තු දෙන සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනයකි. මෙම අධි-පිරිසිදු SiC ආලේපනය මූලික වශයෙන් අර්ධ සන්නායක සහ ඉලෙක්ට්‍රොනික කර්මාන්තවල භාවිතා කරනුයේ වේෆර් වාහක, භෂ්ම සහ තාපන මූලද්‍රව්‍ය විඛාදන සහ ප්‍රතික්‍රියාශීලී පරිසරයන්ගෙන් ආරක්ෂා කිරීම සඳහා ය. SiC ආලේපනය රික්තක ඌෂ්මක සහ ඉහළ රික්තක, ප්‍රතික්‍රියාශීලී සහ ඔක්සිජන් පරිසරවල නියැදි උණුසුම සඳහා ද සුදුසු වේ.
ඉහළ සංශුද්ධතාවය SiC ආලේපන මතුපිට
SiC ආලේපන ක්රියාවලිය යනු කුමක්ද?
භාවිතා කරමින් උපස්ථරයේ මතුපිට සිලිකන් කාබයිඩ් තුනී ස්ථරයක් තැන්පත් කර ඇතCVD (රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීම). තැන්පත් කිරීම සාමාන්යයෙන් 1200-1300 ° C උෂ්ණත්වයකදී සිදු කරනු ලබන අතර තාප ආතතිය අවම කිරීම සඳහා උපස්ථර ද්රව්යයේ තාප ප්රසාරණ හැසිරීම SiC ආලේපනය සමඟ අනුකූල විය යුතුය.
CVD SIC ආෙල්පන ෆිල්ම් ස්ඵටික ව්යුහය
SiC ආලේපනයේ භෞතික ගුණාංග ප්‍රධාන වශයෙන් එහි ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය, දෘඪතාව, විඛාදන ප්රතිරෝධය සහ තාප සන්නායකතාවයෙන් පිළිබිඹු වේ.
සාමාන්‍ය භෞතික පරාමිතීන් සාමාන්යයෙන් පහත පරිදි වේ:
දැඩි බව: SiC ආෙල්පනය සාමාන්යයෙන් 2000-2500 HV පරාසයේ Vickers Hardness එකක් ඇති අතර එමඟින් කාර්මික යෙදීම් වලදී ඒවාට අතිශයින් ඉහළ ඇඳුම් සහ බලපෑම් ප්‍රතිරෝධයක් ලබා දේ.
ඝනත්වය: SiC ආලේපන සාමාන්යයෙන් 3.1-3.2 g/cm³ ඝනත්වයකින් යුක්ත වේ. අධික ඝනත්වය ආලේපනයේ යාන්ත්රික ශක්තිය සහ කල්පැවැත්ම සඳහා දායක වේ.
තාප සන්නායකතාව: SiC ආලේපන ඉහළ තාප සන්නායකතාවක් ඇත, සාමාන්යයෙන් 120-200 W/mK (20 ° C දී) පරාසයක පවතී. මෙය ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරවල හොඳ තාප සන්නායකතාවක් ලබා දෙන අතර අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ තාප පිරියම් කිරීමේ උපකරණ සඳහා විශේෂයෙන් සුදුසු වේ.
ද්රවාංකය: සිලිකන් කාබයිඩ් ආසන්න වශයෙන් 2730 ° C ද්රවාංකයක් ඇති අතර අධික උෂ්ණත්වවලදී විශිෂ්ට තාප ස්ථායීතාවයක් ඇත.
තාප ව්යාප්තියේ සංගුණකය: SiC ආලේපන අඩු රේඛීය තාප ප්රසාරණ සංගුණකයක් (CTE) ඇත, සාමාන්යයෙන් 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃ දී) පරාසයක පවතී. මෙයින් අදහස් කරන්නේ විශාල උෂ්ණත්ව වෙනස්කම් වලට වඩා එහි මාන ස්ථාවරත්වය විශිෂ්ට බවයි.
විඛාදන ප්රතිරෝධය: SiC ආලේපන ප්‍රබල අම්ල, ක්ෂාර සහ ඔක්සිකාරක පරිසරවල විඛාදනයට අතිශයින් ප්‍රතිරෝධී වේ, විශේෂයෙන් ප්‍රබල අම්ල (HF හෝ HCl වැනි) භාවිතා කරන විට, ඒවායේ විඛාදන ප්රතිරෝධය සාම්ප්‍රදායික ලෝහ ද්‍රව්‍යවලට වඩා බෙහෙවින් වැඩි ය.
පහත සඳහන් ද්රව්ය සඳහා SiC ආලේපන යෙදිය හැකිය:
ඉහළ සංශුද්ධතාවය සමස්ථිතික මිනිරන් (අඩු CTE)
ටංස්ටන්
මොලිබ්ඩිනම්
සිලිකන් කාබයිඩ්
සිලිකන් නයිට්රයිඩ්
කාබන්-කාබන් සංයුක්ත (CFC)
SiC ආලේපිත නිෂ්පාදන පහත සඳහන් ක්ෂේත්‍රවල බහුලව භාවිතා වේ:
LED චිප නිෂ්පාදනය
පොලිසිලිකන් නිෂ්පාදනය
අර්ධ සන්නායකස්ඵටික වර්ධනය
සිලිකන් සහSiC epitaxy
වේෆර් තාප පිරියම් කිරීම සහ කැටයම් කිරීම
VET බලශක්තිය තෝරා ගන්නේ ඇයි?
VET Energy යනු චීනයේ SiC ආලේපන නිෂ්පාදනවල ප්‍රමුඛතම නිෂ්පාදකයෙක්, නවෝත්පාදකයෙක් සහ ප්‍රමුඛයෙකි, ප්‍රධාන SiC ආලේපන නිෂ්පාදන ඇතුළත් වේSiC ආලේපනය සහිත වේෆර් වාහකය, SiC ආලේප කර ඇතepitaxial susceptor, SiC ආලේපිත මිනිරන් වළල්ල, SiC ආලේපනය සහිත අර්ධ සඳ කොටස්, SiC ආලේපිත කාබන්-කාබන් සංයුක්තය, SiC ආලේපිත වේෆර් බෝට්ටුව, SiC ආලේපිත තාපකය, ආදිය. VET Energy අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයට අවසාන තාක්‍ෂණය සහ නිෂ්පාදන විසඳුම් සැපයීමට කැපවී සිටින අතර අභිරුචිකරණ සේවා සඳහා සහය දක්වයි. චීනයේ ඔබේ දිගුකාලීන සහකරු වීමට අපි අවංකවම බලාපොරොත්තු වෙමු.
ඔබට කිසියම් විමසීමක් ඇත්නම් හෝ අමතර විස්තර අවශ්‍ය නම්, කරුණාකර අප හා සම්බන්ධ වීමට පසුබට නොවන්න.
Whatsapp සහ Wechat:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
පසු කාලය: ඔක්තෝබර්-18-2024