ඉලෙක්ට්රොනික අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩ වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. ඒවා බොහෝ විට අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී තෙත් රසායනික ප්‍රතිකාර සඳහා භාවිතා කරන ද්‍රව හෝ වායූන් ඉසීමට භාවිතා කරන උපකරණයකි. Sic තුණ්ඩයට ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය, විඛාදන ප්‍රතිරෝධය සහ ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධයේ වාසි ඇත, එබැවින් එය ඉලෙක්ට්රොනික අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ බහුලව භාවිතා වේ.
ඉලෙක්ට්රොනික අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ දී, සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩ බොහෝ විට ආලේපන සහ පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියාවලීන්හිදී භාවිතා වේ. නිදසුනක් ලෙස, ඡායාරූප ශිලාලේඛන ක්රියාවලියේදී, සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩයක් යොදා ගනිමින්, සිලිකන් වේෆරයක් මතට ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධක ද්‍රාවණයක් ඉසීමට යොදා ගනී. සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩය ඒකාකාර ස්ප්රේ කිරීමේ ලක්ෂණ ඇති බැවින්, එය සිලිකන් වේෆරයේ මතුපිට ඡායාරූප ප්රතිරෝධකයේ ඒකාකාර ව්යාප්තිය සහතික කළ හැකි අතර, එමගින් නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සහ නිෂ්පාදන ගුණාත්මක භාවය වැඩි දියුණු කරයි.
මීට අමතරව, සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩ බොහෝ විට පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියාවලියේදී භාවිතා වේ. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය අතරතුර, මතුපිට අපද්‍රව්‍ය සහ දූෂක ඉවත් කිරීම සඳහා සිලිකන් වේෆර් පිරිසිදු කළ යුතුය. සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩවලට අධිවේගී වාතය හෝ රසායනික ද්‍රාවණ ඉසීමෙන්, දූෂක ඵලදායි ලෙස ඉවත් කිරීමෙන් සහ නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ විශ්වසනීයත්වය සහ ස්ථායීතාව වැඩි දියුණු කිරීමෙන් සිලිකන් වේෆර් මතුපිට පිරිසිදු කළ හැකිය.
ඉලෙක්ට්රොනික අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ව්යවසායන් සඳහා, නිවැරදි සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩය තෝරා ගැනීම ඉතා වැදගත් වේ. පළමුවෙන්ම, සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩය නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරය සමඟ සාර්ථකව කටයුතු කිරීම සඳහා අතිශය ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධයක් තිබිය යුතුය. දෙවනුව, විඛාදන ප්‍රතිරෝධය ද අත්‍යවශ්‍ය වේ, මන්ද ප්‍රබල අම්ල සහ භෂ්ම වැනි සමහර රසායනික ද්රව්ය නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී භාවිතා වේ. මීට අමතරව, තුණ්ඩය ඝර්ෂණයට ලක් වන අතර භාවිතයේදී ඇඳීමට ලක්වන බැවින් ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය ද සැලකිල්ලට ගත යුතුය.
සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩවල ක්‍රියාකාරිත්වය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා, නිෂ්පාදකයින් සාමාන්‍යයෙන් උසස් නිෂ්පාදන ක්‍රම කිහිපයක් භාවිතා කරයි. නිදසුනක් ලෙස, තුණ්ඩ ඒවායේ භෞතික හා රසායනික ගුණාංගවල ස්ථායීතාවය සහතික කිරීම සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සිලිකන් කාබයිඩ් ද්රව්ය වලින් සාදා ඇත. මීට අමතරව, නිවැරදි සැකසුම් සහ මතුපිට පිරියම් කිරීම හරහා, සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩයේ ඉසීමේ බලපෑම සහ සේවා කාලය වැඩිදියුණු කළ හැකිය.
කෙටියෙන් කිවහොත්, ඉලෙක්ට්රොනික අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩ වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. ඒවාට ඉහළ උෂ්ණත්වය, විඛාදන සහ ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධයේ වාසි ඇති අතර ඉසින දියර හෝ ගෑස් ප්‍රතිකාර ක්‍රියාවලීන්හි භාවිතා කළ හැකිය. ඉලෙක්ට්රොනික අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ව්යවසායන් නිවැරදි සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩය තෝරාගෙන නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ කාර්යක්ෂමතාවය සහ නිෂ්පාදනවල ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා උසස් නිෂ්පාදන තාක්ෂණය අනුගමනය කළ යුතුය.
ඉලෙක්ට්රොනික අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩ වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. ඒවාට ඉහළ උෂ්ණත්වය, විඛාදන සහ ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධයේ වාසි ඇති අතර ඉසින දියර හෝ ගෑස් ප්‍රතිකාර ක්‍රියාවලීන්හි භාවිතා කළ හැකිය. ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි ක්රියාවලියේදී, සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩයට ඒකාකාරව ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධක ද්‍රාවණය සිලිකන් වේෆරය මතට ඉසිය හැකි අතර, නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සහ නිෂ්පාදන ගුණත්වය වැඩි දියුණු කරයි. පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියාවලියේදී, සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩයට අධිවේගී වායු ප්‍රවාහයක් ඉසීමෙන් හෝ රසායනික ද්‍රාවණයක් ඉසීමෙන්, දූෂක ඉවත් කිරීමෙන් සහ නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ විශ්වසනීයත්වය සහ ස්ථායීතාවය වැඩි දියුණු කිරීමෙන් සිලිකන් වේෆරයේ මතුපිට පිරිසිදු කළ හැකිය. ඉලෙක්ට්රොනික අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ව්යවසායන් නිවැරදි සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩය තෝරාගෙන නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ කාර්යක්ෂමතාවය සහ නිෂ්පාදනවල ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා උසස් නිෂ්පාදන තාක්ෂණය අනුගමනය කළ යුතුය.
පසු කාලය: දෙසැම්බර්-11-2023