SiC ආෙල්පනය රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (CVD), පූර්වගාමී පරිවර්තනය, ප්ලාස්මා ඉසීම ආදිය මගින් සකස් කළ හැක. රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීමෙන් සකස් කරන ලද ආලේපනය ඒකාකාර සහ සංයුක්ත වන අතර හොඳ සැලසුම් කිරීමේ හැකියාවක් ඇත. මෙතිල් ට්‍රයික්ලෝසිලේන් භාවිතා කිරීම. (CHzSiCl3, MTS) සිලිකන් ප්‍රභවය ලෙස, CVD ක්‍රමය මගින් සකස් කරන ලද SiC ආලේපනය මෙම ආලේපනය යෙදීම සඳහා සාපේක්ෂව පරිණත ක්‍රමයකි.
SiC ආලේපනය සහ මිනිරන් හොඳ රසායනික අනුකූලතාවයක් ඇත, ඒවා අතර තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකයේ වෙනස කුඩා වේ, SiC ආලේපනය භාවිතා කිරීමෙන් ග්‍රැෆයිට් ද්‍රව්‍යවල ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය සහ ඔක්සිකරණ ප්‍රතිරෝධය effectively ලදායී ලෙස වැඩිදියුණු කළ හැකිය. ඒවා අතර ස්ටෝචියෝමිතික අනුපාතය, ප්‍රතික්‍රියා උෂ්ණත්වය, තනුක වායුව, අපිරිසිදු වායුව සහ වෙනත් තත්වයන් ප්‍රතික්‍රියාව කෙරෙහි විශාල බලපෑමක් ඇති කරයි.
පසු කාලය: සැප්-14-2022