SiC ආෙල්පනය රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (CVD), පූර්වගාමී පරිවර්තනය, ප්ලාස්මා ඉසීම ආදිය මගින් සකස් කළ හැක. රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීමෙන් සකස් කරන ලද ආලේපනය ඒකාකාර සහ සංයුක්ත වන අතර හොඳ සැලසුම් කිරීමේ හැකියාවක් ඇත. මෙතිල් ට්රයික්ලෝසිලේන් භාවිතා කිරීම. (CHzSiCl3, MTS) සිලිකන් ප්රභවයක් ලෙස, SiC ආලේපනය සූදානම්...
තවත් කියවන්න