සිලිකන් කාබයිඩ් ස්ඵටික වර්ධනය වන විට, ස්ඵටිකයේ අක්ෂීය මධ්යස්ථානය සහ දාරය අතර වර්ධන අතුරු මුහුණතේ "පරිසරය" වෙනස් වන අතර, දාරයේ ඇති ස්ඵටික ආතතිය වැඩි වන අතර, ස්ඵටික දාරය නිසා "විස්තීරණ දෝෂ" ඇති කිරීමට පහසු වේ. ග්රැෆයිට් නැවතුම් මුද්ද "කාබන්" වල බලපෑමට, දාර ගැටළුව විසඳන්නේ කෙසේද හෝ මධ්යයේ ඵලදායී ප්රදේශය (95% ට වඩා වැඩි) වැඩි කිරීම වැදගත් තාක්ෂණික මාතෘකාවක්.
"ක්ෂුද්‍ර නල" සහ "ඇතුළත් කිරීම්" වැනි සාර්ව දෝෂ ක්‍රමයෙන් කර්මාන්තය විසින් පාලනය කරනු ලබන අතර, සිලිකන් කාබයිඩ් ස්ඵටික "වේගයෙන්, දිගු හා ඝන ලෙස වැඩීමට සහ වර්ධනය වීමට" අභියෝග කරන බැවින්, "විස්තීරණ දෝෂ" අන්තය අසාමාන්‍ය ලෙස කැපී පෙනේ. සිලිකන් කාබයිඩ් ස්ඵටිකවල විෂ්කම්භය සහ ඝණකම වැඩි වීම, "විස්තීරණ දෝෂ" දාරය වනු ඇත. විෂ්කම්භය චතුරස්රය සහ ඝනකම මගින් ගුණ කරනු ලැබේ.
ටැන්ටලම් කාබයිඩ් TaC ආලේපනය භාවිතා කිරීම යනු දාර ගැටලුව විසඳීම සහ ස්ඵටික වර්ධනයේ ගුණාත්මක භාවය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා වන අතර එය "වේගයෙන් වර්ධනය වන, ඝන වර්ධනය සහ වර්ධනය" යන මූලික තාක්ෂණික දිශාවන්ගෙන් එකකි. කර්මාන්ත තාක්‍ෂණයේ දියුණුව ප්‍රවර්ධනය කිරීම සහ ප්‍රධාන ද්‍රව්‍යවල “ආනයන” යැපීම විසඳීම සඳහා, Hengpu විසින් ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපන තාක්‍ෂණය (CVD) විසඳා ජාත්‍යන්තර උසස් මට්ටමට ළඟා වී තිබේ.
Tantalum කාබයිඩ් TaC ආලේපනය, සාක්ෂාත් කර ගැනීමේ දෘෂ්ටිකෝණයෙන් අපහසු නැත, සින්ටර් කිරීම, CVD සහ වෙනත් ක්‍රම සාක්ෂාත් කර ගැනීම පහසුය. සින්ටර් කිරීමේ ක්‍රමය, ටැන්ටලම් කාබයිඩ් කුඩු හෝ පූර්වගාමියා භාවිතා කිරීම, ක්‍රියාකාරී අමුද්‍රව්‍ය (සාමාන්‍යයෙන් ලෝහ) සහ බන්ධන කාරකය (සාමාන්‍යයෙන් දිගු දාම පොලිමර්) එකතු කිරීම, ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී සින්ටර් කරන ලද මිනිරන් උපස්ථරයේ මතුපිටට ආලේප කර ඇත. CVD ක්‍රමය මගින් TaCl5+H2+CH4 ග්රැෆයිට් න්‍යාසයේ මතුපිට 900-1500℃ දී තැන්පත් කරන ලදී.
කෙසේ වෙතත්, ටැන්ටලම් කාබයිඩ් තැන්පත් වීමේ ස්ඵටික දිශානතිය, ඒකාකාර පටල ඝනකම, ආෙල්පනය සහ මිනිරන් අනුකෘතිය අතර ආතතිය මුදා හැරීම, මතුපිට ඉරිතැලීම් ආදිය වැනි මූලික පරාමිතීන් අතිශයින් අභියෝගාත්මක ය. විශේෂයෙන්ම sic ස්ඵටික වර්ධන පරිසරය තුළ, ස්ථාවර සේවා ජීවිතයක් මූලික පරාමිතිය වේ, වඩාත්ම දුෂ්කර වේ.
පසු කාලය: ජූලි-21-2023