CVD SiC ආලේපනයේ යෙදීම්
දCVD SiC ආලේපනයක්‍රියාවලිය එහි බහුකාර්යතාව සහ කාර්ය සාධන ප්‍රතිලාභ හේතුවෙන් කර්මාන්ත කිහිපයක් පුරා බහුලව භාවිතා වේ. ප්‍රාථමික යෙදුම් වලින් එකක් වන්නේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයයි, එහිදී SiC-ආලේපිත සංරචක වේෆර් සැකසීමේදී සියුම් මතුපිට ආරක්ෂා කිරීමට උපකාරී වේ. susceptors, rings, සහ Wafer carriers වැනි CVD SiC-ආලේපිත උපකරණ, අධි-උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාවය සහතික කරන අතර තීරණාත්මක නිෂ්පාදන අවස්ථා වලදී දූෂණය වීම වළක්වයි.
අභ්‍යවකාශ කර්මාන්තයේ,CVD SiC ආලේපනයඅධික තාපය හා යාන්ත්රික ආතතියට නිරාවරණය වන සංරචක සඳහා යොදනු ලැබේ. ආෙල්පනය දරුණු තත්ව යටතේ ක්‍රියාත්මක වන ටර්බයින් බ්ලේඩ් සහ දහන කුටිවල ආයු කාලය සැලකිය යුතු ලෙස දීර්ඝ කරයි. මීට අමතරව, CVD SiC එහි පරාවර්තක සහ තාප ස්ථායීතා ගුණාංග හේතුවෙන් දර්පණ සහ දෘශ්‍ය උපාංග නිෂ්පාදනය සඳහා බහුලව භාවිතා වේ.
CVD SiC හි තවත් ප්‍රධාන යෙදුමක් වන්නේ රසායනික කර්මාන්තයයි. මෙහිදී, SiC ආලේපන තාප හුවමාරුකාරක, මුද්‍රා සහ පොම්ප වැනි සංරචක විඛාදන ද්‍රව්‍ය වලින් ආරක්ෂා කරයි. SiC මතුපිට අම්ල සහ භෂ්ම මගින් බලපෑමට ලක් නොවී පවතින අතර, රසායනික කල්පැවැත්ම අත්‍යවශ්‍ය පරිසර සඳහා එය වඩාත් සුදුසු වේ.
CVD SiC ආලේපනයේ ලක්ෂණ
CVD SiC ආලේපනයේ ගුණාංග මෙම යෙදුම්වල ඉතා ඵලදායී වේ. එහි එක් ප්‍රධාන ලක්ෂණයක් වන්නේ එහි දෘඪතාව, Mohs දෘඪතා පරිමාණයෙන් දියමන්ති වලට ආසන්නව ශ්‍රේණිගත කිරීමයි. මෙම ආන්තික දෘඪතාව CVD SiC ආලේපනවලට ඇඳීමට සහ උල්ෙල්ඛ සඳහා කැපී පෙනෙන ප්‍රතිරෝධයක් ලබා දෙන අතර, ඒවා ඉහළ ඝර්ෂණ පරිසරයක් සඳහා සුදුසු වේ.
මීට අමතරව, SiC හි විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවක් ඇති අතර, ඉහළ උෂ්ණත්වයන් යටතේ පවා ආලේපිත සංරචකවල අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගැනීමට ඉඩ සලසයි. මෙය අර්ධ සන්නායක සහ අභ්‍යවකාශ යෙදීම් වලදී විශේෂයෙන් වැදගත් වන අතර, ද්‍රව්‍ය ව්‍යුහාත්මක ශක්තිය රැක ගනිමින් දැඩි තාපයට ඔරොත්තු දිය යුතුය.
CVD SiC ආලේපනයේ රසායනික නිෂ්ක්‍රියතාවය තවත් කැපී පෙනෙන වාසියකි. එය ආක්‍රමණශීලී ද්‍රව්‍ය සමඟ ඔක්සිකරණය, විඛාදනය සහ රසායනික ප්‍රතික්‍රියා වලට ප්‍රතිරෝධී වන අතර එය රසායනික සැකසුම් උපකරණ සඳහා කදිම ආලේපනයක් බවට පත් කරයි. එපමනක් නොව, එහි තාප ප්රසාරණයේ අඩු සංගුණකය තාප චක්ර තත්වයන් යටතේ පවා ආලේපිත පෘෂ්ඨයන් ඒවායේ හැඩය සහ ක්රියාකාරිත්වය රඳවා තබා ගැනීම සහතික කරයි.
නිගමනය
සාරාංශයක් ලෙස, CVD SiC ආලේපනය අධික තාපය, යාන්ත්රික ආතතිය සහ රසායනික විඛාදනයට ඔරොත්තු දිය හැකි ද්‍රව්‍ය අවශ්‍ය වන කර්මාන්ත සඳහා කල් පවතින, ඉහළ ක්‍රියාකාරී විසඳුමක් සපයයි. එහි යෙදීම් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ සිට අභ්‍යවකාශය සහ රසායනික සැකසුම් දක්වා පරාසයක පවතී, එහිදී SiC හි ගුණාංග - දෘඪතාව, තාප ස්ථායීතාවය සහ රසායනික ප්රතිරෝධය වැනි - මෙහෙයුම් සාර්ථකත්වය සඳහා ඉතා වැදගත් වේ. කර්මාන්ත ක්‍රියාකාරීත්වයේ සහ විශ්වසනීයත්වයේ සීමාවන් ඉදිරියට ගෙන යන බැවින්, සංරචක කල්පැවැත්ම සහ කල්පැවැත්ම වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා CVD SiC ආලේපන ප්‍රධාන තාක්‍ෂණයක් ලෙස පවතිනු ඇත.
Vet-china වැනි විශේෂිත නිෂ්පාදකයින්ගේ විශේෂඥතාව උපයෝගී කර ගැනීමෙන්, සමාගම්වලට නවීන කාර්මික ක්‍රියාවලීන්ගේ දැඩි ඉල්ලීම් සපුරාලන උසස් තත්ත්වයේ CVD SiC ආලේපන ලබා ගත හැකිය.
පසු කාලය: දෙසැම්බර්-18-2023