SIC ආලේපිත ගල් ඇඹරුම් පදනමට ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය, ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය, ඉහළ සංශුද්ධතාවය, අම්ලය, ක්ෂාර, ලුණු සහ කාබනික ප්රතික්රියාකාරක සහ ස්ථාවර භෞතික හා රසායනික ක්‍රියාකාරිත්වයේ ලක්ෂණ ඇත. ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ මිනිරන් සමඟ සසඳන විට, 400℃ ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ මිනිරන් තීව්‍ර ඔක්සිකරණය ආරම්භ කරයි, උෂ්ණත්වය ඉහළ නොමැති වුවද, දිගු කාලීන යෙදීම ඔක්සිකරණය සහ කුඩු නිසා, වැඩ කොටස සහ මේසය මත හෝ පරිසරයේ භාවිතය දූෂණය වීම මත රඳා පවතී. , එබැවින් නව MOCVD උපකරණයක් ලෙස SIC ආලේපන මිනිරන් පදනම, කුඩු සින්ටර් කිරීමේ ක්රියාවලිය ක්‍රමයෙන් ඉහළ සංශුද්ධතා මිනිරන් ප්‍රතිස්ථාපනය කරයි.
ප්රධාන ලක්ෂණ:
1. ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිඔක්සිකාරක: ප්‍රතිඔක්සිකාරක, උෂ්ණත්වය 1600℃ තරම් ඉහළ මට්ටමක පවතින විට ප්‍රතිඔක්සිකාරක ක්‍රියාකාරිත්වය තවමත් ඉතා යහපත් වේ;
2. ඉහළ සංශුද්ධතාවය: ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්ලෝරීන තත්ත්වය යටතේ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ ක්රමය මගින් ලබා ගන්නා ලදී;
3. ඛාදනය ප්රතිරෝධය: ඉහළ දෘඪතාව, ඝන පෘෂ්ඨයක්, සියුම් අංශු;
විඛාදන ප්රතිරෝධය: අම්ලය, ක්ෂාර, ලුණු සහ කාබනික ප්රතික්රියාකාරක;
5. SIC මතුපිට ස්ථරය β-සිලිකන් කාබයිඩ්, මුහුණ කේන්ද්‍ර කරගත් ඝනකයකි.
පසු කාලය: පෙබරවාරි-20-2023