මිනිරන් ද්රව්ය අවශ්‍යතා සඳහා අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත අවශ්‍යතා විශේෂයෙන් ඉහළ ය, මිනිරන්වල සියුම් අංශු ප්රමාණය ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක්, ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධයක්, ඉහළ ශක්තියක්, කුඩා අලාභයක් සහ වෙනත් වාසි ඇත, එනම්: සින්ටර් කරන ලද මිනිරන් නිෂ්පාදන අච්චුව.අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ භාවිතා කරන මිනිරන් උපකරණ (හීටර සහ ඒවායේ සින්ටර් කරන ලද ඩයිස් ඇතුළුව) නැවත නැවතත් උනුසුම් කිරීම සහ සිසිලන ක්රියාවලීන්ට ඔරොත්තු දීමට අවශ්ය වන බැවින්, මිනිරන් උපකරණවල සේවා කාලය දීර්ඝ කිරීම සඳහා, සාමාන්යයෙන් භාවිතා කරන මිනිරන් ද්රව්යවල ස්ථාවර කාර්ය සාධනය අවශ්ය වේ. සහ තාප ප්රතිරෝධක බලපෑම් කාර්යය.
01 අර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වර්ධනය සඳහා ග්රැෆයිට් උපාංග
අර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වර්ධනය සඳහා භාවිතා කරන සියලුම ක්රියාවලීන් අධික උෂ්ණත්වය සහ විඛාදන පරිසරය යටතේ ක්රියාත්මක වේ. ස්ඵටික වර්ධන උදුනෙහි උණුසුම් කලාපය සාමාන්යයෙන් තාප ප්‍රතිරෝධී සහ විඛාදන-ප්‍රතිරෝධී අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ග්රැෆයිට් සංරචක වලින් සමන්විත වේ, එනම් හීටරය, ක්‍රූසිබල්, පරිවාරක සිලින්ඩරය, මාර්ගෝපදේශ සිලින්ඩරය, ඉලෙක්ට්‍රෝඩය, ක්‍රූසිබල් රඳවනය, ඉලෙක්ට්‍රෝඩ නට් යනාදිය.
අපට ස්ඵටික නිෂ්පාදන උපාංගවල සියලුම මිනිරන් කොටස් නිෂ්පාදනය කළ හැකිය, ඒවා තනි තනිව හෝ කට්ටල වශයෙන් සැපයිය හැකිය, නැතහොත් පාරිභෝගික අවශ්‍යතා අනුව විවිධ ප්‍රමාණයේ මිනිරන් කොටස් අභිරුචිකරණය කළ හැකිය. නිෂ්පාදනවල ප්රමාණය වෙබ් අඩවියේ මැනිය හැකි අතර, නිමි භාණ්ඩවල අළු අන්තර්ගතය අඩු විය හැක5ppm ට වඩා.
02 අර්ධ සන්නායක epitaxy සඳහා ග්රැෆයිට් උපාංග
Epitaxial ක්‍රියාවලිය යනු තනි ස්ඵටික උපස්ථරය මත ඇති උපස්ථරය හා සමාන දැලිස් සැකැස්මක් සහිත තනි ස්ඵටික ද්රව්ය ස්ථරයක වර්ධනයයි. epitaxial ක්රියාවලියේදී, වේෆර් ග්රැෆයිට් තැටිය මත පටවනු ලැබේ. ග්රැෆයිට් තැටියේ කාර්ය සාධනය සහ ගුණාත්මකභාවය වේෆරයේ epitaxial ස්ථරයේ ගුණාත්මක භාවය සඳහා වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. epitaxial නිෂ්පාදන ක්‍ෂේත්‍රයේ දී, SIC ආලේපනය සහිත අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතා මිනිරන් සහ ඉහළ සංශුද්ධතා මිනිරන් පදනමක් අවශ්ය වේ.
අපගේ සමාගමේ අර්ධ සන්නායක epitaxy සඳහා වන ග්රැෆයිට් පදනමට පුළුල් පරාසයක යෙදුම් ඇත, කර්මාන්තයේ බහුලව භාවිතා වන බොහෝ උපකරණවලට ගැලපෙන අතර ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඒකාකාර ආලේපනය, විශිෂ්ට සේවා කාලය සහ ඉහළ රසායනික ප්‍රතිරෝධය සහ තාප ස්ථායීතාවය ඇත.
අයන තැන්පත් කිරීම සඳහා ග්රැෆයිට් උපාංග 03 ක්
අයන තැන්පත් කිරීම යනු බෝරෝන්, පොස්පරස් සහ ආසනික් වල ප්ලාස්මා කදම්භ යම් ශක්තියකට වේගවත් කිරීම සහ මතුපිට ස්ථරයේ ද්‍රව්‍යමය ගුණාංග වෙනස් කිරීම සඳහා වේෆර් ද්‍රව්‍යයේ මතුපිට ස්ථරයට එන්නත් කිරීමේ ක්‍රියාවලියයි. අයන තැන්පත් කිරීමේ උපාංගයේ සංරචක විශිෂ්ට තාප ප්‍රතිරෝධය, තාප සන්නායකතාවය, අයන කදම්බ නිසා ඇතිවන අඩු විඛාදනය සහ අඩු අපිරිසිදු අන්තර්ගතය සහිත ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ද්රව්ය වලින් සෑදිය යුතුය. අධි-පිරිසිදු මිනිරන් යෙදුම් අවශ්‍යතා සපුරාලන අතර, අයන තැන්පත් කිරීමේ උපකරණවල පියාසර නල, විවිධ ස්ලිට්, ඉලෙක්ට්‍රෝඩ, ඉලෙක්ට්‍රෝඩ ආවරණ, වාහක, කදම්භ ටර්මිනේටර් ආදිය සඳහා භාවිතා කළ හැක.
අපට විවිධ අයන තැන්පත් කිරීමේ යන්ත්‍ර සඳහා ග්රැෆයිට් ආවරණ ආවරණයක් සැපයීම පමණක් නොව, විවිධ පිරිවිතරයන්ගේ ඉහළ විඛාදන ප්‍රතිරෝධයක් සහිත අධි-පිරිසිදු මිනිරන් ඉලෙක්ට්‍රෝඩ සහ අයන ප්‍රභවයන් ද සැපයිය හැකිය. අදාළ ආකෘති: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM සහ අනෙකුත් උපකරණ. ඊට අමතරව, අපට ගැලපෙන සෙරමික්, ටංස්ටන්, මොලිබ්ඩිනම්, ඇලුමිනියම් නිෂ්පාදන සහ ආලේපිත කොටස් ද සැපයිය හැකිය.
04 මිනිරන් පරිවාරක ද්රව්ය සහ අනෙකුත්
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල භාවිතා වන තාප පරිවාරක ද්රව්ය අතර මිනිරන් දෘඩ හැඟීම්, මෘදු හැඟීම්, මිනිරන් තීරු, මිනිරන් කඩදාසි සහ මිනිරන් ලණු ඇතුළත් වේ.
අපගේ සියලුම අමුද්‍රව්‍ය ආනයනය කරන ලද මිනිරන් වන අතර ඒවා පාරිභෝගිකයාගේ අවශ්‍යතාවල නිශ්චිත ප්‍රමාණයට අනුව කපා හෝ සමස්තයක් ලෙස අලෙවි කළ හැකිය.
කාබන්-කාබන් තැටිය සූර්ය මොනොක්‍රිස්ටලීන් සිලිකන් සහ බහු ස්ඵටික සිලිකන් සෛල නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී චිත්‍රපට ආලේපනය සඳහා වාහකය ලෙස භාවිතා කරයි. ක්‍රියාකාරී මූලධර්මය නම්: සිලිකන් චිපය CFC තැටියට ඇතුළු කර චිත්‍රපට ආලේපනය සැකසීම සඳහා උදුන නළයට යවන්න.
