پٺتي پيل عمل جي مرحلي ۾،ويفر (silicon waferفرنٽ تي سرڪٽس سان) بعد ۾ ڊائسنگ، ويلڊنگ ۽ پيڪنگنگ کان اڳ پٺيءَ تي پتلي ٿيڻ جي ضرورت آهي ته جيئن پيڪيج جي چڙهندڙ اونچائي کي گھٽايو وڃي، چپ پيڪيج جي مقدار کي گھٽايو وڃي، چپ جي حرارتي ڦهلاءَ جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻايو وڃي، بجليءَ جي ڪارڪردگي، مشيني خاصيتون ۽ مقدار کي گھٽايو وڃي. ڪٽڻ. پوئتي پيسڻ ۾ اعلي ڪارڪردگي ۽ گهٽ قيمت جا فائدا آهن. اهو روايتي ويٽ ايچنگ ۽ آئن ايچنگ جي عمل کي تبديل ڪري چڪو آهي ته جيئن سڀ کان اهم پوئتي ٿڪڻ واري ٽيڪنالاجي بڻجي وڃي.
ٿلهو ٿيلهو
پتلي ڪيئن ڪجي؟
روايتي پيڪنگنگ جي عمل ۾ wafer thinning جو مکيه عمل
جي مخصوص مرحلاويفرٿلهي ڪرڻ لاءِ ويفر کي بانڊ ڪرڻ لاءِ پروسيس ڪيو وڃي ٿو ٿلهي واري فلم سان، ۽ پوءِ ويڪيوم استعمال ڪريو پتلي فلم کي جذب ڪرڻ لاءِ ۽ ان تي موجود چپ کي پورس سيرامڪ ويفر ٽيبل تي، اندرين ۽ ٻاهرئين گول بوٽ سينٽر لائينن کي ترتيب ڏيو ڪم ڪندڙ سطح جي. کپ جي شڪل وارو هيرن جي پيسڻ واري ويل سلکان ويفر جي مرڪز ڏانهن، ۽ سلکان ويفر ۽ پيسڻ واري ڦيٿي کي ڪٽڻ واري پيسڻ لاءِ انهن جي محور جي چوڌاري گھمايو وڃي ٿو. پيسڻ ۾ ٽي مرحلا شامل آهن: رَف گرائننگ، فائن گرائننگ ۽ پالش ڪرڻ.
ويفر ڪارخاني مان نڪرندڙ ويفر کي پيس پيس ڪيو ويندو آهي ته جيئن پيڪنگ لاءِ گهربل ٿلهي ويفر کي پتلي ڪري. ويفر کي پيس ڪرڻ وقت، سرڪٽ واري علائقي کي بچائڻ لاءِ ٽيپ کي اڳيان (ايڪٽو ايريا) تي لاڳو ڪرڻ جي ضرورت آهي، ۽ ساڳئي وقت پوئين پاسي زمين آهي. پيس ڪرڻ کان پوء، ٽيپ کي هٽايو ۽ ٿلهي کي ماپ ڪريو.
پيسڻ جا عمل جيڪي ڪاميابيءَ سان سلڪون ويفر جي تياري تي لاڳو ڪيا ويا آهن، انهن ۾ روٽري ٽيبل گرائنڊنگ،silicon waferگھمڻ پيسڻ، ڊبل رخا پيسڻ، وغيره. سنگل ڪرسٽل سلکان ويفرز جي مٿاڇري جي معيار جي ضرورتن کي وڌيڪ بهتر ڪرڻ سان، نئين پيسڻ واري ٽيڪنالاجيون مسلسل تجويز ڪيون ويون آهن، جهڙوڪ TAIKO پيسڻ، ڪيميائي ميڪيڪل پيسڻ، پالش پيسڻ ۽ پلانٽ ڊسڪ پيسڻ.
روٽري ٽيبل پيس ڪرڻ:
روٽري ٽيبل گرائنڊنگ (روٽري ٽيبل گرائنڊنگ) هڪ شروعاتي پيسڻ وارو عمل آهي جيڪو سلڪون ويفر جي تياري ۽ پوئتي پتلي ڪرڻ ۾ استعمال ٿيندو آهي. ان جو اصول تصوير 1 ۾ ڏيکاريو ويو آهي. سلڪون ويفرز گھمڻ واري ٽيبل جي سکشن کپن تي لڳل آهن، ۽ گھمڻ واري ٽيبل جي ذريعي هم وقت سازي سان گھمندا آهن. سلڪون ويفرز پاڻ پنهنجي محور جي چوڌاري نه گھمندا آهن؛ پيسڻ واري واري کي تيز رفتار سان گھمڻ دوران محوري طور تي کارايو ويندو آهي، ۽ پيسڻ واري ويل جو قطر سلکان ويفر جي قطر کان وڏو هوندو آهي. روٽري ٽيبل گرائنڊنگ جا ٻه قسم آهن: چهرو پلنج گرائننگ ۽ چهرو ٽينجنٽيل گرائنڊنگ. فيس پلنج گرائنڊنگ ۾، گرائننگ ويل ويل جي ويڪر سلڪون ويفر جي قطر کان وڏي هوندي آهي، ۽ گرائننگ ويل اسپنڊل پنهنجي محوري رخ سان لڳاتار فيڊ ڪندو آهي جيستائين اضافي تي عمل نه ڪيو وڃي، ۽ پوءِ سلڪون ويفر کي روٽري ٽيبل جي ڊرائيو هيٺ گھمايو ويندو آهي؛ منهن جي ٽينجنٽيل گرائنڊنگ ۾، گرائنڊنگ ويل پنهنجي محوري رخ سان فيڊ ڪندو آهي، ۽ سلڪون ويفر کي مسلسل گھمڻ واري ڊسڪ جي ڊرائيو جي هيٺان گھمايو ويندو آهي، ۽ گرائنڊنگ مڪمل ڪيو ويندو آهي ريسيپروڪيٽنگ فيڊنگ (ريسيپروڪيشن) يا ڪريپ فيڊنگ (creepfeed).
شڪل 1، روٽري ٽيبل گرائنڊنگ جو اسڪيميٽڪ ڊاگرام (منهن ٽينجنٽيل) اصول
پيسڻ واري طريقي جي مقابلي ۾، روٽري ٽيبل پيسڻ ۾ اعلي هٽائڻ جي شرح، ننڍڙي سطح جي نقصان، ۽ آسان آٽوميشن جا فائدا آهن. بهرحال، اصل پيسڻ واري علائقي (فعال پيسڻ) B ۽ ڪٽ ان اينگل θ (گرائنڊنگ ويل جي ٻاهرئين دائري ۽ سلکان ويفر جي ٻاهرئين دائري جي وچ ۾ زاويه) ڪٽڻ واري عمل ۾ ڪٽڻ واري پوزيشن جي تبديلي سان تبديل ٿي ويندي آهي. پيسڻ واري ڦيٿي جو، جنهن جي نتيجي ۾ هڪ غير مستحڪم پيسڻ واري قوت پيدا ٿئي ٿي، جيڪا مثالي سطح جي درستگي (هاءِ ٽي ٽي وي ويليو)، ۽ آساني سان حاصل ڪرڻ مشڪل بڻائي ٿي. خرابين جو سبب بڻجڻ جهڙوڪ ڪنارن جو خاتمو ۽ کنڊ جو خاتمو. روٽري ٽيبل پيس ڪرڻ واري ٽيڪنالاجي بنيادي طور تي 200mm کان هيٺ سنگل-ڪرسٽل سلکان ويفرز جي پروسيسنگ لاءِ استعمال ٿيندي آهي. سنگل-ڪرسٽل سلکان ويفرز جي سائيز ۾ اضافو سامان جي ڪم جي بينچ جي سطح جي درستگي ۽ حرڪت جي درستگي لاءِ اعليٰ گهرجن کي اڳيان رکي ٿو، تنهنڪري روٽري ٽيبل گرائنڊنگ 300mm کان مٿي سنگل-ڪرسٽل سلکان ويفرز جي پيسڻ لاءِ مناسب ناهي.
پيسڻ جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائڻ لاءِ، تجارتي جهاز tangential پيسڻ وارو سامان عام طور تي گھڻن پيسڻ واري ويل جي جوڙجڪ کي اختيار ڪري ٿو. مثال طور، رَف گرائننگ ويلز جو هڪ سيٽ ۽ نفيس گرائننگ ويلز جو هڪ سيٽ سامان تي لڳل آهي، ۽ روٽري ٽيبل هڪ دائري کي گھمائي ٿو ته جيئن رَف گرائنڊنگ ۽ نفيس گرائنڊنگ کي مڪمل ڪري. هن قسم جي سامان ۾ آمريڪي GTI ڪمپني جي G-500DS (شڪل 2) شامل آهن.
شڪل 2، آمريڪا ۾ GTI ڪمپني جو G-500DS روٽري ٽيبل گرائنڊنگ سامان
Silicon wafer گردش پيس:
وڏي سائيز جي سلکان ويفر جي تياري ۽ پوئتي ٿلهي پروسيسنگ جي ضرورتن کي پورو ڪرڻ لاء، ۽ سٺي TTV قدر سان سطح جي درستگي حاصل ڪرڻ لاء. 1988 ۾، جاپاني اسڪالر Matsui تجويز ڪيو سلڪون ويفر گردش پيسڻ (ان-فيڊ گرائنڊنگ) طريقو. ان جو اصول تصوير 3 ۾ ڏيکاريو ويو آهي. سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفر ۽ ڪمبينچ تي جذب ٿيل هيرن جو پيسڻ وارو ڦيٿو پنهنجن محور جي چوڌاري گھمندو آهي، ۽ پيسڻ واري ڦيٿي کي هڪ ئي وقت محوري طرف مسلسل ڦيرايو ويندو آهي. انهن مان، پيسڻ واري ڦيٿي جو قطر پروسيس ٿيل سلڪون ويفر جي قطر کان وڏو آهي، ۽ ان جو فريم سلڪون ويفر جي مرڪز مان گذري ٿو. پيسڻ واري قوت کي گھٽائڻ ۽ گرائنڊنگ جي گرمي کي گھٽائڻ لاءِ، ويڪيوم سکشن کپ کي عام طور تي محدب يا مقعر جي شڪل ۾ تراشيو ويندو آهي يا گرائننگ ويل اسپنڊل ۽ سکشن کپ اسپنڊل جي محور جي وچ ۾ زاويه کي ترتيب ڏنو ويندو آهي ته جيئن نيم رابطي واري گرائنڊنگ کي يقيني بڻائي سگهجي. پيسڻ وارو ڦيٿو ۽ سلڪون ويفر.
شڪل 3، سلڪون ويفر روٽري گرائننگ اصول جو اسڪيميٽڪ ڊراگرام
روٽري ٽيبل گرائنڊنگ جي مقابلي ۾، سلڪون ويفر روٽري گرائنڊنگ جا هيٺيان فائدا آهن: ① سنگل ٽائيم سنگل ويفر گرائنڊنگ 300mm کان وڏي سائيز جي سلکان ويفرز کي پروسيس ڪري سگھي ٿي؛ ② اصل پيسڻ واري علائقي B ۽ ڪٽڻ جو زاويو θ مسلسل آهن، ۽ پيسڻ واري قوت نسبتا مستحڪم آهي؛ ③ گرائننگ ويل جي محور ۽ سلڪون ويفر جي محور جي وچ ۾ جھڪندڙ زاوي کي ترتيب ڏيڻ سان، سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفر جي مٿاڇري جي شڪل کي فعال طور تي ڪنٽرول ڪري سگھجي ٿو بهتر سطح جي شڪل جي درستگي حاصل ڪرڻ لاء. ان کان علاوه، سلڪون ويفر روٽري گرائنڊنگ جي گرائنڊنگ ايريا ۽ ڪٽنگ اينگل θ وڏي مارجن گرائنڊنگ، آسان آن لائن ٿلهي ۽ مٿاڇري جي معيار جو پتو لڳائڻ ۽ ڪنٽرول، ڪمپيڪٽ سامان جو ڍانچو، آسان ملٽي اسٽيشن انٽيگريٽيڊ گرائنڊنگ، ۽ اعليٰ گرائنڊنگ ڪارڪردگي جا فائدا آهن.
پيداوار جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائڻ ۽ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار واري لائنن جي ضرورتن کي پورو ڪرڻ لاء، سلکان ويفر روٽري پيسڻ جي اصول جي بنياد تي ڪمرشل پيسڻ وارو سامان هڪ ملٽي اسپنڊل ملٽي اسٽيشن ڍانچي کي اختيار ڪري ٿو، جيڪو مڪمل ڪري سگھي ٿو روٽ گرائنڊنگ ۽ فائن گرائنڊنگ هڪ لوڊنگ ۽ ان لوڊ ڪرڻ ۾. . ٻين معاون سهولتن سان گڏ، اهو اڪيلو ڪرسٽل سلڪون ويفرز جي مڪمل طور تي خودڪار پيسڻ جو احساس ڪري سگهي ٿو "خشڪ-ان/ڊائي-آئوٽ" ۽ "ڪيسٽ کان ڪيسٽ".
ٻه طرفي پيسڻ:
جڏهن سلڪون ويفر روٽري پيس ڪرڻ واري عمل کي سلڪون ويفر جي مٿين ۽ هيٺين سطحن تي عمل ڪري ٿو، ڪم پيس کي ڦيرايو وڃي ٿو ۽ قدمن ۾ ڪيو وڃي ٿو، جيڪو ڪارڪردگي کي محدود ڪري ٿو. ساڳئي وقت، سلڪون ويفر روٽري پيس ڪرڻ ۾ سطح جي غلطي (نقل ٿيل) ۽ پيسڻ جا نشان (گرائننگ مارڪ) آهن، ۽ اهو ناممڪن آهي ته خرابين کي ختم ڪرڻ جهڙوڪ وائر ڪٽڻ کان پوء سنگل ڪرسٽل سلکان ويفر جي مٿاڇري تي موج ۽ ٽيپر. (multi-saw)، جيئن تصوير 4 ۾ ڏيکاريل آهي. مٿين خرابين کي دور ڪرڻ لاءِ، ٻه طرفي پيسڻ واري ٽيڪنالاجي (ڊبل سائڊ گرائنڊنگ) 1990ع ۾ ظاهر ٿي ۽ ان جو اصول شڪل 5 ۾ ڏيکاريل آهي. ٻنهي پاسن تي ورهايل ڪليمپ سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفر کي برقرار رکڻ واري انگ ۾ ڪليپ ڪن ٿا ۽ رولر ذريعي آهستگي سان گھمائين ٿا. پيالو جي شڪل واري هيرن جي پيسڻ واري سائيڪلن جو هڪ جوڙو نسبتا اڪيلو ڪرسٽل سلکان ويفر جي ٻنهي پاسن تي واقع آهي. ايئر بيئرنگ اليڪٽرڪ اسپنڊل ذريعي هلائيندڙ، اهي مخالف طرفن ۾ گھمندا آهن ۽ محوري طور تي فيڊ ڪندا آهن ته جيئن واحد ڪرسٽل سلکان ويفر جي ٻٽي رخا پيس حاصل ڪرڻ لاء. جيئن تصوير مان ڏسي سگھجي ٿو، ڊبل رخا پيسڻ سان تار ڪٽڻ کان پوءِ سنگل ڪرسٽل سلکان ويفر جي مٿاڇري تي موج ۽ ٽيپر کي مؤثر طريقي سان ختم ڪري سگھجي ٿو. پيسڻ واري وهڪري جي محور جي ترتيب جي هدايت جي مطابق، ٻه طرفي پيسائي افقي ۽ عمودي ٿي سگهي ٿي. انهن مان، افقي ڊبل رخا پيسڻ سان سلکان ويفر جي خرابيءَ جي اثر کي مؤثر طريقي سان گھٽائي سگهجي ٿو، جيڪو سلکان ويفر جي مرده وزن جي ڪري پيسڻ جي معيار تي آهي، ۽ اهو يقيني بڻائڻ آسان آهي ته سنگل ڪرسٽل سلکان جي ٻنهي پاسن تي پيسڻ واري عمل جي حالت. ويفر ساڳيا آهن، ۽ رگڻ وارا ذرات ۽ پيسڻ واري چپس اڪيلو ڪرسٽل سلکان جي مٿاڇري تي رهڻ آسان ناهي ويفر اهو هڪ نسبتا مثالي پيسڻ جو طريقو آهي.
شڪل 4، "غلطي ڪاپي" ۽ سلڪون ويفر گردش پيسڻ ۾ نشانن جي خرابين
شڪل 5، ٻٽي رخا پيسڻ واري اصول جو اسڪيميٽڪ ڊراگرام
جدول 1 مٿين ٽن قسمن جي سنگل ڪرسٽل سلکان ويفرز جي پيسڻ ۽ ٻٽي رخا پيسڻ جي وچ ۾ مقابلو ڏيکاري ٿو. ٻٽي رخا پيسڻ خاص طور تي سلکان ويفر پروسيسنگ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي 200mm کان هيٺ، ۽ هڪ اعلي ويفر جي پيداوار آهي. فڪسڊ ابراسيو گرائنڊنگ ويلز جي استعمال جي ڪري، سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفرز کي پيس ڪرڻ سان ڊبل رخا پيسڻ جي ڀيٽ ۾ مٿاڇري جي تمام اعلي معيار حاصل ڪري سگھجي ٿي. تنهن ڪري، ٻئي سلڪون ويفر روٽري پيسڻ ۽ ڊبل رخا پيسڻ وارا مکيه 300mm سلکان ويفرز جي پروسيسنگ معيار جي گهرجن کي پورو ڪري سگهن ٿا، ۽ هن وقت سڀ کان اهم فليٽنگ پروسيسنگ طريقا آهن. جڏهن سلڪون ويفر فليٽنگ پروسيسنگ جو طريقو چونڊيو، اهو ضروري آهي ته قطر جي سائيز، سطح جي معيار، ۽ واحد-ڪرسٽل سلکان ويفر جي پالشنگ ويفر پروسيسنگ ٽيڪنالاجي جي ضرورتن تي غور ڪيو وڃي. ويفر جي پوئين ٿلهي کي صرف هڪ طرفي پروسيسنگ طريقو چونڊيو وڃي ٿو، جهڙوڪ سلڪون ويفر روٽري پيسڻ جو طريقو.
سلکان ويفر پيس ڪرڻ ۾ پيسڻ جو طريقو چونڊڻ کان علاوه، اهو پڻ ضروري آهي ته مناسب پروسيس جي پيٽرولن جي چونڊ جو تعين ڪرڻ جهڙوڪ مثبت دٻاء، پيسڻ واري ويل اناج جي سائيز، پيسڻ واري ويل بائنر، پيسڻ واري ويل جي رفتار، سلڪون ويفر جي رفتار، پيسڻ واري وهڪري جي ويسڪوسيٽي ۽ وهڪري جي شرح، وغيره، ۽ هڪ مناسب عمل جي رستي جو تعين ڪرڻ. عام طور تي، هڪ سيگمينٽ ٿيل پيسڻ وارو عمل جنهن ۾ رَف گرائنڊنگ، نيم فينشنگ گرائنڊنگ، فائننگ گرائنڊنگ، اسپارڪ فري گرائنڊنگ ۽ سست پٺڀرائي استعمال ڪئي ويندي آهي سنگل ڪرسٽل سلکان ويفرز حاصل ڪرڻ لاءِ اعليٰ پروسيسنگ ڪارڪردگيءَ سان، مٿاڇري جي بلندي ۽ گهٽ سطحي نقصان سان.
نئين پيسڻ واري ٽيڪنالاجي ادب ڏانهن اشارو ڪري سگهي ٿي:
شڪل 5، TAIKO گرائننگ اصول جو اسڪيميٽڪ ڊراگرام
شڪل 6، اسڪيمي ڊاگرام آف پلانيٽري ڊسڪ گرائننگ اصول
الٽرا پتلي ويفر پيس ڪرڻ واري ٽيڪنالاجي:
ويفر ڪيريئر گرائننگ ٿننگ ٽيڪنالوجي ۽ ايج گرائننگ ٽيڪنالاجي (شڪل 5).
پوسٽ جو وقت: آگسٽ-08-2024