سڪي ايچنگ دوران پاسي جا ڀت ڇو موڙيندا آهن؟

آئن بمباري جي غير يونيفارم

خشڪنقاشيعام طور تي هڪ عمل آهي جيڪو جسماني ۽ ڪيميائي اثرات کي گڏ ڪري ٿو، جنهن ۾ آئن بمباري هڪ اهم جسماني ايچنگ طريقو آهي. جي دورانڇڪڻ جو عمل، واقعن جو زاويه ۽ آئنز جي توانائي جي ورڇ اڻ برابري ٿي سگھي ٿي.

جيڪڏهن آئن جي واقعن جو زاويه پاسي جي ڀت تي مختلف پوزيشن تي مختلف آهي، ته پاسي واري ڀت تي آئن جي ايچنگ جو اثر پڻ مختلف هوندو. وڏن آئن واقعن جي زاوين سان علائقن ۾، پاسي جي ڀت تي آئن جو ايچنگ اثر وڌيڪ مضبوط هوندو آهي، جيڪو هن علائقي ۾ سائڊ وال کي وڌيڪ ڇڪڻ جو سبب بڻائيندو، جنهن جي ڪري سائڊ وال کي موڙيندو. ان کان سواء، آئن توانائي جي اڻ برابري ورڇ پڻ ساڳئي اثرات پيدا ڪندي. اعلي توانائي سان آئن مواد کي وڌيڪ موثر طريقي سان ختم ڪري سگھن ٿا، نتيجي ۾ متضادنقاشيسائڊ وال جا درجا مختلف هنڌن تي، جنهن جي نتيجي ۾ سائڊ وال کي موڙي ٿو.

photoresist جو اثر

Photoresist خشڪ ايچنگ ۾ ماسڪ جو ڪردار ادا ڪري ٿو، انهن علائقن جي حفاظت ڪري ٿو جن کي ايچ ڪرڻ جي ضرورت ناهي. تنهن هوندي به، photoresist پڻ متاثر ٿئي ٿو پلازما بمباري ۽ ڪيميائي رد عمل جي عمل دوران، ۽ ان جي ڪارڪردگي تبديل ٿي سگهي ٿي.

جيڪڏهن فوٽوورسٽ جي ٿلهي اڻ برابري آهي، ايچنگ جي عمل دوران واپرائڻ جي شرح متضاد آهي، يا فوٽوورسٽسٽ ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ آسنجن مختلف هنڌن تي مختلف آهي، اهو ٿي سگهي ٿو ايچنگ جي عمل دوران سائڊ والز جي غير برابر تحفظ جو سبب بڻجي. مثال طور، ٿلهي ڦوٽو ريزسٽ يا ڪمزور آسنجن وارا علائقا شايد هيٺئين مواد کي وڌيڪ آسانيءَ سان ڪٽجي سگھن ٿا، جنهن ڪري انهن هنڌن تي سائيڊ والز موڙي سگهن ٿا.

substrate مادي خاصيتن ۾ اختلاف

ايچ ٿيل سبسٽريٽ مواد پاڻ ۾ مختلف ملڪيتون ٿي سگھي ٿو، جهڙوڪ مختلف ڪرسٽل اورينٽيشنز ۽ مختلف علائقن ۾ ڊاپنگ ڪنسنٽريشن. اهي اختلاف ايچنگ جي شرح ۽ نقاشي جي چونڊ کي متاثر ڪندا.
مثال طور، ڪرسٽل سلڪون ۾، سلڪون ايٽم جي ترتيب مختلف کرسٽل جي رخن ۾ مختلف هوندي آهي، ۽ انهن جي رد عمل ۽ ايچنگ جي شرح پڻ مختلف هوندي. ايچنگ جي عمل دوران، مادي خاصيتن ۾ فرق جي ڪري مختلف ايچنگ جي شرح مختلف هنڌن تي سائڊ والز جي ايچنگ ڊيپٿ کي متضاد بڻائي ڇڏيندي، آخرڪار سائڊ وال جي موڙ ڏانهن وڌندي.

سامان سان لاڳاپيل عنصر

ايچنگ جي سامان جي ڪارڪردگي ۽ حيثيت پڻ ايچنگ جي نتيجن تي هڪ اهم اثر آهي. مثال طور، مسئلا جهڙوڪ رد عمل واري چيمبر ۾ پلازما جي غير برابري جي ورڇ ۽ غير برابر اليڪٽرروڊ وير شايد پيٽرولر جي غير برابر ورڇ جو سبب بڻجن ٿا جهڙوڪ آئن جي کثافت ۽ توانائي واري سطح تي ايڇنگ دوران.

ان کان علاوه، سامان جي غير برابر درجه حرارت ڪنٽرول ۽ گئس جي وهڪري ۾ معمولي ڦيرڦار پڻ ايچنگ جي هڪجهڙائي کي متاثر ڪري سگهي ٿي، جنهن جي ڪري پاسي جي ڀت جي موڙي ٿي.