سي ايم پي جي پلانرائيزيشن ميڪانيزم ڇا آهي؟

Dual-Damascene هڪ پروسيسنگ ٽيڪنالاجي آهي جيڪا انٽيگريٽيڊ سرڪٽس ۾ ڌاتو ڪنيڪشن ٺاهڻ لاءِ استعمال ٿيندي آهي. اهو دمشق جي عمل جي هڪ وڌيڪ ترقي آهي. هڪ ئي وقت ۾ سوراخ ۽ نالن جي ذريعي ٺاهيندي ساڳئي عمل واري مرحلي ۾ ۽ انهن کي ڌاتو سان ڀرڻ سان، ڌاتو جي وچ ۾ ڳنڍڻ جي مربوط پيداوار جو احساس ٿئي ٿو.

ان کي دمشق ڇو سڏيو ويندو آهي؟

دمشق جو شهر شام جي گاديءَ جو هنڌ آهي ۽ دمشق جون تلوارون پنهنجي تيز ۽ شاندار بناوت جي ڪري مشهور آهن. هڪ قسم جي جڙڻ واري عمل جي ضرورت آهي: پهريون، گهربل نمونو دمشق جي اسٽيل جي مٿاڇري تي پکڙيل آهي، ۽ اڳ ۾ تيار ڪيل مواد کي مضبوطيء سان ٺهرايل نالن ۾ جڙيل آهي. جڙيل مڪمل ٿيڻ کان پوء، مٿاڇري ٿوري اڻ برابر ٿي سگھي ٿي. ڪاريگر ان کي احتياط سان پالش ڪندو ته جيئن مجموعي نرمي کي يقيني بڻائي سگهجي. ۽ اهو عمل چپ جي ٻٽي دمشق پروسيس جو پروٽوٽائپ آهي. سڀ کان پهريان، نالن يا سوراخ ڊائلٽرڪ پرت ۾ پکڙيل آهن، ۽ پوء انهن ۾ ڌاتو ڀريو ويندو آهي. ڀرڻ کان پوء، اضافي ڌاتو سي ايم پي ذريعي هٽايو ويندو.

ڊبل ڊيماسسن جي عمل جي مکيه مرحلن ۾ شامل آهن:

▪ ڊائياليڪٽرڪ پرت جو جمع:

سيمڪانڊڪٽر تي ڊايلٽرڪ مواد جي هڪ پرت، جهڙوڪ سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ (SiO2) جمع ڪريوويفر.

▪ ڦوٽو گرافي نموني کي بيان ڪرڻ لاء:

ڊايلٽرڪ پرت تي وياس ۽ خندق جي نموني کي بيان ڪرڻ لاء فوٽووليٿگرافي استعمال ڪريو.

▪خارش:

وياس ۽ خندق جي نمونن کي سڪل يا گلي ايچنگ جي عمل ذريعي ڊائي اليڪٽرڪ پرت ڏانهن منتقل ڪريو.

▪ ڌاتو جو ذخيرو:

ڌاتو کي جمع ڪريو، جهڙوڪ ٽامي (Cu) يا ايلومينيم (Al)، واس ۽ خندقن ۾ ڌاتو جي وچ ۾ ڳنڍڻ لاء.

▪ ڪيميائي مشيني پالش ڪرڻ:

دھات جي مٿاڇري کي ڪيميائي ميڪيڪل پالش ڪرڻ لاءِ اضافي ڌاتو کي ختم ڪرڻ ۽ مٿاڇري کي برابر ڪرڻ.

روايتي ڌاتو هڪ ٻئي سان ڳنڍڻ جي پيداوار جي عمل سان مقابلي ۾، ڊبل ڊيماسين پروسيس کي هيٺيان فائدا آهن:

▪آسان ٿيل عمل جا مرحلا:ساڳئي عمل واري مرحلي ۾ هڪ ئي وقت وياس ۽ خندق ٺاهڻ سان، عمل جا مرحلا ۽ پيداوار جو وقت گهٽجي ويو آهي.

▪بہتر پيداوار جي ڪارڪردگي:عمل جي مرحلن جي گھٽتائي جي ڪري، ڊبل ڊيماسين پروسيسنگ ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي سگھي ٿو ۽ پيداوار جي قيمت گھٽائي سگھي ٿي.

▪ دھاتي رابطي جي ڪارڪردگي کي بهتر ڪريو:ڊبل ڊاماسسين جي عمل کي تنگ ڌاتو جي وچ ۾ ڳنڍڻ حاصل ڪري سگھي ٿو، ان ڪري سرڪٽ جي انضمام ۽ ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي ٿو.

▪پرازيت جي گنجائش ۽ مزاحمت کي گھٽايو:گھٽ-k ڊائيليڪٽرڪ مواد استعمال ڪندي ۽ ڌاتو جي وچ ۾ ڳنڍڻ جي جوڙجڪ کي بهتر ڪرڻ سان، پارسيٽڪ ڪيپيسٽينس ۽ مزاحمت کي گھٽائي سگھجي ٿو، سرڪٽ جي رفتار ۽ بجلي جي استعمال جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي.