sic ڪوٽنگ ڇا آهي؟

Silicon ڪاربائڊسلکان ۽ ڪاربان تي مشتمل هڪ سخت مرڪب آهي، ۽ فطرت ۾ انتهائي ناياب معدني moissanite طور مليو آهي. Silicon carbide ذرات کي sintering ذريعي ڳنڍي سگھجن ٿا تمام سخت سيرامڪس، جيڪي وڏي پيماني تي ايپليڪيشنن ۾ استعمال ڪيا ويندا آهن جن کي اعلي استحڪام جي ضرورت هوندي آهي، خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر پروسيس ۾.

سي سي جي جسماني ساخت

سي سي ڪوٽنگ ڇا آهي؟

سي سي ڪوٽنگ هڪ ٿلهي، لباس جي مزاحمتي سلکان ڪاربائيڊ ڪوٽنگ آهي، جيڪا اعلي سنکنرن ۽ گرمي جي مزاحمت ۽ بهترين حرارتي چالکائي سان آهي. هي اعلي پاڪائي سي سي ڪوٽنگ بنيادي طور تي سيمي ڪنڊڪٽر ۽ اليڪٽرانڪس صنعتن ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي ويفر ڪيريئرز، بيسز ۽ حرارتي عنصرن کي corrosive ۽ رد عمل واري ماحول کان بچائڻ لاءِ. سي سي ڪوٽنگ پڻ ويڪيوم فرنس ۽ نموني گرم ڪرڻ لاءِ موزون آهي اعلي ويڪيوم، رد عمل ۽ آڪسيجن ماحول ۾.

اعلي پاڪائي SiC ڪوٽنگ مٿاڇري

سي سي ڪوٽنگ عمل ڇا آهي؟

silicon carbide جي هڪ پتلي پرت استعمال ڪري substrate جي مٿاڇري تي جمع آهيCVD (ڪيميائي وانپ جمع). ذخيرو عام طور تي 1200-1300 ° C جي گرمي پد تي ڪيو ويندو آهي ۽ ذيلي مواد جي حرارتي توسيع واري رويي کي SiC ڪوٽنگ سان مطابقت رکڻ گهرجي ته جيئن حرارتي دٻاء کي گھٽائي سگهجي.

CVD SIC فلم ڪرسٽل ڍانچي

CVD SIC ڪوٽنگ فلم ڪرسٽل ڍانچي

سي سي ڪوٽنگ جي جسماني ملڪيت خاص طور تي ان جي اعلي درجه حرارت جي مزاحمت، سختي، سنکنرن جي مزاحمت ۽ حرارتي چالکائي ۾ ظاهر ٿئي ٿي.

عام جسماني پيٽرولر عام طور تي ھيٺ ڏنل آھن:

سختي: SiC ڪوٽنگ ۾ عام طور تي 2000-2500 HV جي حد ۾ ويڪرز سختي هوندي آهي، جيڪا انهن کي صنعتي ايپليڪيشنن ۾ انتهائي اعلي لباس ۽ اثر مزاحمت ڏئي ٿي.

کثافت: SiC ڪوٽنگن ۾ عام طور تي 3.1-3.2 g/cm³ جي کثافت هوندي آهي. اعلي کثافت ڪوٽنگ جي مشيني طاقت ۽ استحڪام ۾ مدد ڪري ٿي.

حرارتي چالکائي: SiC ڪوٽنگن ۾ اعليٰ حرارتي چالکائي هوندي آهي، عام طور تي 120-200 W/mK جي حد ۾ (20°C تي). هي اهو ڏئي ٿو سٺي حرارتي چالکائي تيز گرمي جي ماحول ۾ ۽ ان کي خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ گرمي علاج جي سامان لاءِ مناسب بڻائي ٿو.

پگھلڻ وارو نقطو: سلڪون ڪاربائڊ جو پگھلڻ وارو نقطو لڳ ڀڳ 2730 ° C آهي ۽ انتهائي گرمي پد تي بهترين حرارتي استحڪام آهي.

حرارتي توسيع جي کوٽائي: SiC ڪوٽنگن ۾ حرارتي توسيع (CTE) جي گھٽ لڪير جي کوٽائي آھي، عام طور تي 4.0-4.5 µm/mK جي حد ۾ (25-1000℃ ۾). هن جو مطلب آهي ته ان جي dimensional استحڪام وڏي گرمي پد جي اختلافن تي شاندار آهي.

corrosion مزاحمت: SiC ڪوٽنگون مضبوط تيزاب، الڪلي ۽ آڪسائيڊ ڪرڻ واري ماحول ۾ سنکنرن جي خلاف انتهائي مزاحمتي هونديون آهن، خاص طور تي جڏهن مضبوط تيزاب (جهڙوڪ HF يا HCl) استعمال ڪندي، انهن جي سنکنرن جي مزاحمت روايتي ڌاتو جي مواد کان تمام گهڻي هوندي آهي.

SiC coatings هيٺين مواد تي لاڳو ڪري سگهجي ٿو:

اعلي پاڪائي isostatic graphite (گهٽ CTE)
ٽنگسٽن
Molybdenum
Silicon ڪاربائڊ
Silicon Nitride
ڪاربان-ڪاربن ڪمپوزٽس (CFC)

SiC coated مصنوعات عام طور تي هيٺين علائقن ۾ استعمال ٿيندا آهن:

LED چپ جي پيداوار
Polysilicon پيداوار
سيمي ڪنڊيڪٽرکرسٽل جي واڌ
سلکان ۽سي سي ايپيٽيڪسي
ويفر گرمي علاج ۽ نقاشي

VET توانائي ڇو چونڊيو؟

وي اي ٽي انرجي چين ۾ SiC ڪوٽنگ جي شين جو هڪ نمايان ڪارخانو، جدت پسند ۽ اڳواڻ آهي، مکيه SiC ڪوٽنگ پروڊڪٽس شامل آهنسي سي ڪوٽنگ سان ويفر ڪيريئر, SiC coatedepitaxial susceptor, SiC coated graphite رنگ, سي سي ڪوٽنگ سان اڌ چنڊ جا حصا, SiC coated ڪاربان ڪاربان جامع, SiC coated wafer ٻيڙي, SiC coated heaterوغيره. VET Energy سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري کي حتمي ٽيڪنالاجي ۽ پراڊڪٽ حل فراهم ڪرڻ لاءِ پرعزم آهي، ۽ ڪسٽمائيزيشن سروسز کي سپورٽ ڪري ٿي. اسان خلوص دل سان چين ۾ توهان جي ڊگهي مدت پارٽنر ٿيڻ جو منتظر آهيون.