سلکان جي مٿاڇري تي سلکان ڊاءِ آڪسائيڊ جي ٺهڻ کي آڪسائيڊشن چئبو آهي، ۽ مستحڪم ۽ مضبوط طور تي پابند سلکان ڊاءِ آڪسائيڊ جي ٺهڻ سبب سلکان انٽيگريٽيڊ سرڪٽ پلانر ٽيڪنالاجي جي پيدائش ٿي. جيتوڻيڪ سلکان ڊاءِ آڪسائيڊ کي سڌو سنئون سلڪون جي مٿاڇري تي وڌائڻ جا ڪيترائي طريقا آهن، اهو عام طور تي حرارتي آڪسائيڊ ذريعي ڪيو ويندو آهي، جيڪو سلکان کي تيز گرمي پد آڪسائيڊ ڪرڻ واري ماحول (آڪسيجن، پاڻي) ڏانهن بي نقاب ڪرڻ آهي. تھرمل آڪسائيڊ طريقا فلم جي ٿلهي کي ڪنٽرول ڪري سگھن ٿا ۽ سلکان ڊاءِ آڪسائيڊ فلمن جي تياري دوران سلکان / سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ انٽرفيس خاصيتن کي ڪنٽرول ڪري سگھن ٿا. سلکان ڊاءِ آڪسائيڊ وڌائڻ لاءِ ٻيون ٽيڪنڪون پلازما انوڊائيزيشن ۽ ويٽ انوڊائيزيشن آهن، پر انهن مان ڪنهن به ٽيڪنالاجي کي VLSI عملن ۾ وڏي پيماني تي استعمال نه ڪيو ويو آهي.
Silicon مستحڪم سلکان ڊاء آڪسائيڊ ٺاهڻ لاء هڪ رجحان ڏيکاري ٿو. جيڪڏهن تازو صاف ٿيل سلڪون آڪسائيڊ ڪرڻ واري ماحول (جهڙوڪ آڪسيجن، پاڻي) جي سامهون اچي ٿو، ته اهو ڪمري جي حرارت تي به تمام ٿلهي آڪسائيڊ پرت (<20Å) ٺاهيندو. جڏهن سلڪون تيز گرمي پد تي آڪسائيڊنگ ماحول کي ظاهر ڪيو ويندو آهي، هڪ ٿلهي آڪسائيڊ پرت تيز رفتار تي ٺاهي ويندي. سلکان مان سلکان ڊاءِ آڪسائيڊ ٺهڻ جو بنيادي ميکانيزم چڱيءَ طرح سمجهي ويو آهي. ڊيل ۽ گروو ھڪڙو رياضياتي ماڊل ٺاھيو آھي جيڪو صحيح طور تي بيان ڪري ٿو 300Å کان وڌيڪ آڪسائيڊ فلمن جي ترقي جي متحرڪ. هنن تجويز ڪيو ته آڪسائيڊيشن هيٺين طريقي سان ڪئي ويندي آهي، يعني آڪسائيڊٽ (پاڻيءَ جا ماليڪيولز ۽ آڪسيجن جا ماليڪيول) موجوده آڪسائيڊ پرت ذريعي Si/SiO2 انٽرفيس تائين پهچن ٿا، جتي آڪسائيڊٽ سلکان ڊاءِ آڪسائيڊ ٺاهڻ لاءِ سلکان سان رد عمل ظاهر ڪري ٿو. سلکان ڊاءِ آڪسائيڊ ٺاهڻ جو بنيادي ردعمل هن ريت بيان ڪيو ويو آهي:
آڪسائيڊ ردعمل Si/SiO2 انٽرفيس تي ٿئي ٿو، تنهنڪري جڏهن آڪسائيڊ پرت وڌندي آهي، سلکان مسلسل استعمال ٿيندو آهي ۽ انٽرفيس آهستي آهستي سلڪون تي حملو ڪندو آهي. سلڪون ۽ سلکان ڊاءِ آڪسائيڊ جي ملندڙ کثافت ۽ ماليڪيولر وزن جي مطابق، اهو معلوم ڪري سگهجي ٿو ته آخري آڪسائيڊ پرت جي ٿولهه لاءِ استعمال ٿيندڙ سلڪون 44 سيڪڙو آهي. هن طريقي سان، جيڪڏهن آڪسائيڊ پرت 10,000Å وڌي ٿي، 4400Å سلڪون استعمال ڪيو ويندو. اهو تعلق تي ٺاهيل قدمن جي اوچائي ڳڻڻ لاء اهم آهيsilicon wafer. اهي قدم سلکان ويفر جي مٿاڇري تي مختلف هنڌن تي مختلف آڪسائيڊشن جي شرحن جو نتيجو آهن.
اسان پڻ فراهم ڪريون ٿا اعلي پاڪائي واري گرافائٽ ۽ سلکان ڪاربائڊ پروڊڪٽس، جيڪي وڏي پيماني تي ويفر پروسيسنگ جهڙوڪ آڪسائيڊشن، ڊفيوژن، ۽ اينيلنگ ۾ استعمال ٿيندا آهن.
ڀلي ڪري آيا ڪنهن به گراهڪ کان سڄي دنيا مان هڪ وڌيڪ بحث لاء اسان جو دورو ڪرڻ لاء!
https://www.vet-china.com/
پوسٽ جو وقت: نومبر-13-2024