سيمي ڪنڊڪٽر حصا - سي سي ڪوٽيڊ گرافائٽ بيس

SiC coated graphite bases عام طور تي استعمال ڪيا ويندا آھن ھڪڙي ڪرسٽل سبسٽرن کي سپورٽ ڪرڻ ۽ گرم ڪرڻ لاءِ دھات-نامياتي ڪيميائي وانپ جمع (MOCVD) سامان ۾. حرارتي استحڪام، حرارتي يونيفارم ۽ سي سي ڪوٽيڊ گريفائٽ بيس جي ٻين ڪارڪردگي پيٽرولر ايپيٽڪسيل مواد جي ترقي جي معيار ۾ فيصلو ڪندڙ ڪردار ادا ڪن ٿا، تنهنڪري اهو MOCVD سامان جو بنيادي اهم حصو آهي.

ويفر جي پيداوار جي عمل ۾، epitaxial تہه وڌيڪ تعمير ڪيا ويا آھن ڪجھ ويفر ذيلي ذخيرو تي ڊوائيسز جي پيداوار کي آسان ڪرڻ لاء. عام LED لائيٽ خارج ڪرڻ واري ڊوائيسز کي سلکان سبسٽراٽس تي GaAs جي ايپيٽڪسيل پرت تيار ڪرڻ جي ضرورت آهي؛ SiC epitaxial پرت conductive SiC substrate تي وڌو ويندو آھي ڊوائيسز جي تعمير لاءِ جيئن SBD، MOSFET وغيره.، ھاء وولٹیج، ھاء ڪرنٽ ۽ ٻين پاور ايپليڪيشنن لاءِ؛ GaN epitaxial پرت سيمي انسوليڊ SiC سبسٽرٽ تي تعمير ڪئي وئي آھي وڌيڪ تعمير ڪرڻ لاءِ HEMT ۽ ٻين ڊوائيسن کي آر ايف ايپليڪيشنن لاءِ جيئن ڪميونيڪيشن. اهو عمل CVD سامان کان الڳ نه آهي.

CVD سامان ۾، ذيلي ذخيرو سڌو سنئون ڌاتو تي رکيل نه ٿو ڪري سگھجي يا صرف epitaxial deposition جي بنياد تي رکيل هجي، ڇاڪاڻ ته ان ۾ گئس جي وهڪري (افقي، عمودي)، درجه حرارت، دٻاء، فيڪسيشن، آلودگي جي شيڊنگ ۽ ٻين حصن ۾ شامل آهي. اثر جا عنصر. تنهن ڪري، هڪ بنياد جي ضرورت آهي، ۽ پوء ذيلي ذخيرو ڊسڪ تي رکيل آهي، ۽ پوء سي وي ڊي ٽيڪنالاجي استعمال ڪندي سبسٽريٽ تي ايپيٽيڪسيل ذخيرو ڪيو ويندو آهي، ۽ اهو بنياد آهي سي سي ڪوٽيڊ گريفائٽ بيس (جنهن کي ٽري پڻ سڏيو ويندو آهي).

SiC coated graphite bases عام طور تي استعمال ڪيا ويندا آھن ھڪڙي ڪرسٽل سبسٽرن کي سپورٽ ڪرڻ ۽ گرم ڪرڻ لاءِ دھات-نامياتي ڪيميائي وانپ جمع (MOCVD) سامان ۾. حرارتي استحڪام، حرارتي يونيفارم ۽ سي سي ڪوٽيڊ گريفائٽ بيس جي ٻين ڪارڪردگي پيٽرولر ايپيٽڪسيل مواد جي ترقي جي معيار ۾ فيصلو ڪندڙ ڪردار ادا ڪن ٿا، تنهنڪري اهو MOCVD سامان جو بنيادي اهم حصو آهي.

Metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) نيري LED ۾ GaN فلمن جي epitaxial واڌ لاءِ مکيه اسٽريم ٽيڪنالاجي آهي. ان ۾ سادي آپريشن، ڪنٽرول قابل ترقي جي شرح ۽ GaN فلمن جي اعليٰ پاڪائي جا فائدا آھن. MOCVD سامان جي رد عمل واري چيمبر ۾ هڪ اهم جزو جي طور تي، GaN فلم ايپيٽيڪسيل واڌ لاءِ استعمال ٿيندڙ بيئرنگ بيس کي اعليٰ درجه حرارت جي مزاحمت، يونيفارم تھرمل چالکائي، سٺي ڪيميائي استحڪام، مضبوط حرارتي جھٽڪو مزاحمت وغيره جا فائدا حاصل ڪرڻ گهرجن. مٿين شرطن.

جيئن ته MOCVD سامان جي بنيادي حصن مان هڪ آهي، گرافائٽ جو بنياد سبسٽريٽ جو ڪيريئر ۽ حرارتي جسم آهي، جيڪو سڌو سنئون فلم جي مواد جي هڪجهڙائي ۽ پاڪائي کي طئي ڪري ٿو، تنهنڪري ان جي معيار کي سڌو سنئون epitaxial شيٽ جي تياري تي اثر انداز ٿئي ٿو، ۽ ساڳئي وقت. وقت، استعمال جي تعداد ۾ اضافو ۽ ڪم ڪندڙ حالتن جي تبديلي سان، ان کي پائڻ بلڪل آسان آهي، استعمال جي سامان سان تعلق رکي ٿو.

جيتوڻيڪ گريفائٽ ۾ بهترين حرارتي چالکائي ۽ استحڪام آهي، ان کي MOCVD سامان جي بنيادي جزو جي طور تي سٺو فائدو حاصل آهي، پر پيداوار جي عمل ۾، گريفائٽ corrosive گيسس ۽ دھاتي آرگنائيڪس جي رهائش جي ڪري پائوڊر کي خراب ڪري ڇڏيندو، ۽ ان جي خدمت زندگي. graphite جو بنياد تمام گھٽجي ويندو. ساڳئي وقت، گرڻ گريفائٽ پائوڊر چپ کي آلودگي جو سبب بڻائيندو.

ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي جي ظاهر ٿيڻ سان مٿاڇري جي پائوڊر کي درست ڪرڻ، حرارتي چالکائي کي وڌائڻ، ۽ گرمي جي ورڇ کي برابر ڪرڻ، جيڪا هن مسئلي کي حل ڪرڻ لاء مکيه ٽيڪنالاجي بڻجي وئي آهي. MOCVD سامان استعمال ماحول ۾ Graphite بنيادي، graphite بنيادي مٿاڇري ڪوٽنگ هيٺين خاصيتن کي ملڻ گهرجي:

(1) graphite جو بنياد مڪمل طور تي لپي سگهجي ٿو، ۽ کثافت سٺي آهي، ٻي صورت ۾ graphite جو بنياد corrosive گئس ۾ corroded ٿيڻ آسان آهي.

(2) گريفائٽ بيس سان ميلاپ جي طاقت تمام گهڻي آهي انهي کي يقيني بڻائڻ لاءِ ته ڪوٽنگ آسان نه آهي گرڻ کان پوءِ ڪيترن ئي تيز گرمي پد ۽ گهٽ درجه حرارت واري چڪر کان پوءِ.

(3) اهو سٺو ڪيميائي استحڪام آهي ته اعلي درجه حرارت ۽ corrosive ماحول ۾ ڪوٽنگ ناڪامي کان بچڻ لاء.

سي سي ۾ corrosion مزاحمت، اعلي حرارتي چالکائي، حرارتي جھٽڪو مزاحمت ۽ اعلي ڪيميائي استحڪام جا فائدا آهن، ۽ GaN epitaxial ماحول ۾ سٺو ڪم ڪري سگهن ٿا. ان کان علاوه، سي سي جي حرارتي توسيع جي گنجائش گريفائٽ کان تمام ٿورو مختلف آهي، تنهنڪري سي سي گريفائٽ بيس جي سطح جي ڪوٽنگ لاء ترجيحي مواد آهي.

هن وقت، عام سي سي بنيادي طور تي 3C، 4H ۽ 6H قسم آهي، ۽ مختلف ڪرسٽل قسمن جي سي سي استعمال مختلف آهن. مثال طور، 4H-SiC اعلي طاقت ڊوائيسز ٺاهي سگھي ٿو؛ 6H-SiC سڀ کان وڌيڪ مستحڪم آهي ۽ فوٽو اليڪٽرڪ ڊوائيسز ٺاهي سگھي ٿو؛ ان جي ساڳي جوڙجڪ جي ڪري GaN سان، 3C-SiC استعمال ڪري سگھجي ٿو GaN epitaxial پرت پيدا ڪرڻ ۽ SiC-GaN RF ڊوائيسز تيار ڪرڻ لاءِ. 3C-SiC عام طور تي β-SiC طور سڃاتو وڃي ٿو، ۽ β-SiC جو هڪ اهم استعمال هڪ فلم ۽ ڪوٽنگ مواد جي طور تي آهي، تنهنڪري β-SiC هن وقت ڪوٽنگ لاء بنيادي مواد آهي.

سلکان ڪاربائيڊ ڪوٽنگ تيار ڪرڻ جو طريقو

في الحال، سي سي ڪوٽنگ جي تياري جي طريقن ۾ خاص طور تي جيل-سول جو طريقو، ايمبيڊنگ جو طريقو، برش ڪوٽنگ جو طريقو، پلازما اسپري ڪرڻ جو طريقو، ڪيميائي گئس جي رد عمل جو طريقو (CVR) ۽ ڪيميائي بخار جمع ڪرڻ جو طريقو (CVD) شامل آهن.

شامل ڪرڻ جو طريقو:

اهو طريقو هڪ قسم جي تيز گرمي پد واري اسٽيج sintering آهي، جنهن ۾ بنيادي طور تي سي پاؤڊر ۽ سي پاؤڊر جو مرکب استعمال ڪيو ويندو آهي ايمبيڊنگ پاؤڊر جي طور تي، گريفائٽ ميٽرڪس کي ايمبيڊنگ پاؤڊر ۾ رکيو ويندو آهي، ۽ تيز گرمي پد sintering inert گئس ۾ ڪيو ويندو آهي. ، ۽ آخر ۾ سي سي ڪوٽنگ حاصل ڪئي وئي آهي گرافائٽ ميٽرڪس جي مٿاڇري تي. اهو عمل سادو آهي ۽ ڪوٽنگ ۽ ذيلي ذخيري جي وچ ۾ ميلاپ سٺو آهي، پر ٿلهي طرف سان گڏ ڪوٽنگ جي هڪجهڙائي خراب آهي، جيڪا وڌيڪ سوراخ پيدا ڪرڻ آسان آهي ۽ خراب آڪسائيڊ مزاحمت جي اڳواڻي ڪري ٿي.

برش ڪوٽنگ جو طريقو:

برش ڪوٽنگ جو طريقو بنيادي طور تي گريفائٽ ميٽرڪس جي مٿاڇري تي مائع خام مال کي برش ڪرڻ آهي، ۽ پوء ڪوٽنگ تيار ڪرڻ لاء هڪ خاص درجه حرارت تي خام مال کي علاج ڪرڻ آهي. اهو عمل سادو آهي ۽ قيمت گهٽ آهي، پر برش ڪوٽنگ جي طريقي سان تيار ڪيل ڪوٽنگ ذيلي ذخيري سان ميلاپ ۾ ڪمزور آهي، ڪوٽنگ جي هڪجهڙائي خراب آهي، ڪوٽنگ پتلي آهي ۽ آڪسائيڊ مزاحمت گهٽ آهي، ۽ مدد ڪرڻ لاء ٻين طريقن جي ضرورت آهي. اهو.

پلازما اسپري ڪرڻ جو طريقو:

پلازما اسپري ڪرڻ جو طريقو خاص طور تي گريفائٽ ميٽرڪس جي مٿاڇري تي پگھليل يا نيم پگھليل خام مال کي پلازما گن سان اسپري ڪرڻ آهي، ۽ پوءِ مضبوط ڪرڻ ۽ بانڊ ٺاهڻ لاءِ ڪوٽنگ ٺاهڻ آهي. اهو طريقو هلائڻ لاءِ سادو آهي ۽ نسبتاً گھڻا سلکان ڪاربائيڊ ڪوٽنگ تيار ڪري سگهي ٿو، پر طريقي سان تيار ڪيل سلکان ڪاربائيڊ ڪوٽنگ اڪثر ڪري ڪمزور هوندي آهي ۽ ڪمزور آڪسائيڊ مزاحمت جو سبب بڻجندي آهي، تنهنڪري اهو عام طور تي سي سي جامع ڪوٽنگ جي تياري لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي. ڪوٽنگ جي معيار.

جيل-سول جو طريقو:

جيل-سول جو طريقو بنيادي طور تي هڪ يونيفارم ۽ شفاف سولو تيار ڪرڻ آهي جيڪو ميٽرڪس جي مٿاڇري کي ڍڪيندو آهي، هڪ جيل ۾ خشڪ ڪرڻ ۽ پوء ڪوٽنگ حاصل ڪرڻ لاء sintering. اهو طريقو هلائڻ لاءِ سادو آهي ۽ قيمت ۾ گهٽ آهي، پر پيدا ٿيندڙ ڪوٽنگ ۾ ڪجهه خاميون هونديون آهن جهڙوڪ گهٽ حرارتي جھٽڪو مزاحمت ۽ آسان ڪڪڙ، ان ڪري ان کي وڏي پيماني تي استعمال نٿو ڪري سگهجي.

ڪيميائي گئس جو رد عمل (CVR):

سي وي آر بنيادي طور تي سي سي ڪوٽنگ پيدا ڪري ٿو Si ۽ SiO2 پائوڊر استعمال ڪندي SiO ٻاڦ پيدا ڪرڻ لاءِ تيز گرمي پد تي، ۽ ڪيميائي رد عمل جو هڪ سلسلو سي مادي سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي ٿئي ٿو. هن طريقي سان تيار ڪيل سي سي ڪوٽنگ کي ذيلي ذخيري سان ويجهي ڳنڍيل آهي، پر ردعمل جي درجه حرارت وڌيڪ آهي ۽ قيمت وڌيڪ آهي.

ڪيميائي بخار جمع (CVD):

هن وقت، سي وي ڊي بنيادي ٽيڪنالاجي آهي سي سي ڪوٽنگ تيار ڪرڻ لاءِ سبسٽراٽي جي مٿاڇري تي. مکيه عمل سبسٽراٽي جي مٿاڇري تي گيس فيز ريڪٽينٽ مواد جي جسماني ۽ ڪيميائي رد عمل جو هڪ سلسلو آهي، ۽ آخر ۾ سي سي ڪوٽنگ تيار ڪئي ويندي آهي سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي جمع ڪرڻ سان. سي وي ڊي ٽيڪنالاجي پاران تيار ڪيل سي سي ڪوٽنگ سبسٽريٽ جي مٿاڇري سان ويجهڙائي سان ڳنڍيل آهي، جيڪا مؤثر طريقي سان آڪسائيڊ مزاحمت ۽ ذيلي مواد جي گھٽتائي واري مزاحمت کي بهتر بڻائي سگهي ٿي، پر هن طريقي جي جمع ٿيڻ جو وقت ڊگهو آهي، ۽ رد عمل گيس هڪ خاص زهر آهي. گيس

SiC coated graphite بنيادي جي مارڪيٽ جي صورتحال

جڏهن پرڏيهي ٺاهيندڙن جي شروعات شروع ٿي، انهن وٽ هڪ واضح قيادت ۽ هڪ اعلي مارڪيٽ حصيداري هئي. بين الاقوامي طور تي، SiC coated graphite جي بنيادي اسٽريم سپلائرز ڊچ Xycard، جرمني SGL ڪاربن (SGL)، جاپان ٽويو ڪاربن، آمريڪا MEMC ۽ ٻيون ڪمپنيون آهن، جيڪي بنيادي طور تي بين الاقوامي مارڪيٽ تي قبضو ڪن ٿا. جيتوڻيڪ چين گريفائٽ ميٽرڪس جي مٿاڇري تي سي سي ڪوٽنگ جي يونيفارم ترقي جي اهم بنيادي ٽيڪنالاجي ذريعي ڀڃي چڪو آهي، اعلي معيار جي گرافائٽ ميٽرڪس اڃا تائين جرمن SGL، جاپان ٽويو ڪاربن ۽ ٻين ادارن تي ڀاڙي ٿو، گهريلو ادارن پاران مهيا ڪيل گرافائٽ ميٽرڪس سروس کي متاثر ڪري ٿو. زندگي حرارتي چالکائي، لچڪدار ماڊيولس، سخت ماڊلس، لٽيس خرابين ۽ ٻين معيار جي مسئلن جي ڪري. MOCVD سامان SiC coated graphite بنيادي جي استعمال جي ضرورتن کي پورا نه ٿا ڪري سگهو.

چين جي سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري تيزي سان ترقي ڪري رهي آهي، MOCVD epitaxial سامان جي لوڪلائيزيشن جي شرح جي بتدريج واڌ سان، ۽ ٻين عمل جي ايپليڪيشنن جي توسيع سان، مستقبل جي SiC coated graphite بيس پراڊڪٽ مارڪيٽ تيزيءَ سان وڌڻ جي اميد رکي ٿي. ابتدائي صنعت جي تخميني موجب، گھربل graphite بنيادي مارڪيٽ ايندڙ ڪجهه سالن ۾ 500 ملين يوآن کان وڌي ويندي.

SiC coated graphite base compound semiconductor industrialization Equipment جو بنيادي جزو آهي، ان جي پيداوار ۽ پيداوار جي اهم بنيادي ٽيڪنالاجي ۾ مهارت حاصل ڪرڻ، ۽ پوري خام مال-پروسيس-سامان جي صنعت جي زنجير جي لوڪلائيزيشن کي يقيني بڻائڻ لاءِ وڏي اسٽريٽجڪ اهميت رکي ٿي. چين جي semiconductor صنعت. ملڪي SiC coated graphite بنيادي جي ميدان booming آهي، ۽ پيداوار جي معيار جلد ئي عالمي ترقي يافته سطح تائين پهچي سگهي ٿو.