ليزر ٽيڪنالاجي سلکان ڪاربائيڊ سبسٽريٽ پروسيسنگ ٽيڪنالاجي جي تبديلي جي ڪري ٿي

 

1. جو جائزوsilicon carbide substrateپروسيسنگ ٽيڪنالاجي

موجودهsilicon carbide substrate پروسيسنگ جي مرحلن ۾ شامل آهن: ٻاهرئين دائري کي پيس ڪرڻ، سلائينگ، چيمفرنگ، پيسڻ، پالش ڪرڻ، صفائي وغيره. سلائينگ سيمي ڪنڊڪٽر سبسٽريٽ پروسيسنگ ۾ هڪ اهم قدم آهي ۽ انگوٽ کي سبسٽرٽ ۾ تبديل ڪرڻ ۾ هڪ اهم قدم آهي. هن وقت، جي ڪٽڻsilicon carbide substratesخاص طور تي تار ڪٽڻ آهي. ملٽي وائر slurry ڪٽڻ هن وقت بهترين تار ڪٽڻ جو طريقو آهي، پر اڃا به خراب ڪٽڻ جي معيار ۽ وڏي ڪٽڻ جي نقصان جا مسئلا آهن. تار جي ڪٽڻ جو نقصان ذيلي ذخيري جي سائيز جي واڌ سان وڌي ويندو، جيڪو ان لاءِ سازگار نه هوندو آهيsilicon carbide substrateٺاهيندڙن کي قيمت گھٽائڻ ۽ ڪارڪردگي بهتر ڪرڻ لاء. ڪٽڻ جي عمل ۾8 انچ سلکان ڪاربائڊ ذيلي ذخيرا، تار ڪٽڻ سان حاصل ڪيل سبسٽرٽ جي مٿاڇري جي شڪل خراب آهي، ۽ عددي خاصيتون جهڙوڪ WARP ۽ BOW سٺو نه آهن.

سلائينگ هڪ اهم قدم آهي سيمي ڪنڊڪٽر سبسٽريٽ جي پيداوار ۾. صنعت مسلسل نئين ڪٽڻ جي طريقن جي ڪوشش ڪري رهي آهي، جهڙوڪ هيرن جي تار ڪٽڻ ۽ ليزر اسٽريپنگ. ليزر ڇڪڻ واري ٽيڪنالاجي کي تازو ڪيو ويو آهي. هن ٽيڪنالاجي جو تعارف ڪٽڻ جي نقصان کي گھٽائي ٿو ۽ ٽيڪنالاجي اصول کان ڪٽڻ جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي ٿو. ليزر اسٽريپنگ حل کي آٽوميشن جي سطح لاءِ اعليٰ گهرجون آهن ۽ ان سان تعاون ڪرڻ لاءِ ٿلهي ٽيڪنالاجي جي ضرورت آهي، جيڪا سلکان ڪاربائيڊ سبسٽريٽ پروسيسنگ جي مستقبل جي ترقي جي هدايت جي مطابق آهي. روايتي مارٽر تار ڪٽڻ جي سلائس پيداوار عام طور تي 1.5-1.6 آهي. ليزر اسٽريپنگ ٽيڪنالاجي جو تعارف سلائس جي پيداوار کي وڌائي سگھي ٿو اٽڪل 2.0 (ڊسڪو سامان جو حوالو ڏيو). مستقبل ۾، جيئن ليزر اسٽريپنگ ٽيڪنالاجي جي پختگي وڌي ٿي، سلائس جي پيداوار وڌيڪ بهتر ٿي سگهي ٿي؛ ساڳي ئي وقت، ليزر اسٽريپنگ پڻ سلائينگ جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي سگھي ٿو. مارڪيٽ ريسرچ موجب، انڊسٽري ليڊر DISCO اٽڪل 10-15 منٽن ۾ هڪ سلائس ڪٽيندو آهي، جيڪو 60 منٽ في سلائس جي موجوده مارٽر وائر ڪٽڻ کان گهڻو وڌيڪ ڪارائتو آهي.

سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽرن جي روايتي تار ڪٽڻ جي عمل جا مرحلا آهن: تار ڪٽڻ-روف گرائنڊنگ-فائن گرائنڊنگ-روف پالشنگ ۽ فائن پالشنگ. ليزر ڪٽڻ واري عمل کان پوءِ تار ڪٽڻ کي تبديل ڪري ٿو، ٿلهي ڪرڻ واري عمل کي پيسڻ واري عمل کي تبديل ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي، جيڪو سلائسن جي نقصان کي گهٽائي ٿو ۽ پروسيسنگ جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي ٿو. سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽراٽس کي ڪٽڻ، پيسڻ ۽ پالش ڪرڻ جي ليزر اسٽريپنگ جي عمل کي ٽن مرحلن ۾ ورهايو ويو آهي: ليزر مٿاڇري جي اسڪيننگ-سبسٽريٽ اسٽريپنگ-انگوٽ فليٽنگ: ليزر مٿاڇري جي اسڪيننگ الٽرا فاسٽ ليزر دال استعمال ڪرڻ آهي ته جيئن انگٽ جي مٿاڇري کي پروسيس ڪيو وڃي. پرت اندر اندر؛ سبسٽرٽ اسٽريپنگ جو مطلب آهي تبديل ٿيل پرت جي مٿان سبسٽريٽ کي جسماني طريقن سان انگوٽ کان الڳ ڪرڻ؛ ingot flattening ingot جي مٿاڇري تي تبديل ٿيل پرت کي هٽائڻ آهي ته جيئن انگوٽ جي سطح جي برابري کي يقيني بڻائي سگهجي.
Silicon carbide ليزر stripping عمل

 

2. ليزر اسٽريپنگ ٽيڪنالاجي ۽ صنعت ۾ حصو وٺندڙ ڪمپنين ۾ بين الاقوامي ترقي

ليزر اسٽريپنگ جو عمل پهريون ڀيرو غير ملڪي ڪمپنين پاران اختيار ڪيو ويو: 2016 ۾، جاپان جي ڊسڪو هڪ نئين ليزر سلائسنگ ٽيڪنالاجي KABRA ٺاهي، جيڪا الڳ ٿيڻ واري پرت ٺاهي ٿي ۽ ويفرز کي مخصوص کوٽائي تي الڳ ڪري ٿي ليزر سان انگٽ کي مسلسل شعاع ڪندي، جيڪا مختلف شين لاءِ استعمال ٿي سگهي ٿي. SiC ingots جي قسمن. نومبر 2018 ۾، Infineon Technologies حاصل ڪئي Siltectra GmbH، ھڪڙي ويفر ڪٽڻ واري شروعاتي، 124 ملين يورو ۾. بعد ۾ کولڊ اسپلٽ پروسيس کي ترقي ڪئي، جيڪا تقسيم جي حد کي بيان ڪرڻ لاء پيٽنٽ ٿيل ليزر ٽيڪنالاجي استعمال ڪري ٿي، خاص پوليمر مواد، ڪوٽنگ ڪنٽرول سسٽم کولنگ انڊيسڊ دٻاء، صحيح طور تي ورهائڻ واري مواد، ۽ ويفر ڪٽڻ حاصل ڪرڻ لاء پيس ۽ صاف ڪرڻ.

تازن سالن ۾، ڪجهه گهريلو ڪمپنيون پڻ ليزر اسٽريپنگ سامان جي صنعت ۾ داخل ٿي ويا آهن: مکيه ڪمپنيون آهن هان جي ليزر، ڊيلونگ ليزر، ويسٽ ڍنڍ جو اوزار، يونيورسل انٽيليجنس، چائنا اليڪٽرانڪس ٽيڪنالاجي گروپ ڪارپوريشن ۽ انسٽيٽيوٽ آف سيمي ڪنڊڪٽرز آف چائنيز اڪيڊمي آف سائنسز. انهن مان، لسٽ ڪيل ڪمپنيون Han's Laser ۽ Delong Laser هڪ ڊگهي وقت تائين ترتيب ۾ آهن، ۽ انهن جي شين جي گراهڪن طرفان تصديق ڪئي پئي وڃي، پر ڪمپني وٽ ڪيتريون ئي پراڊڪٽ لائينون آهن، ۽ ليزر اسٽريپنگ سامان صرف انهن جي ڪاروبار مان هڪ آهي. اڀرندڙ ستارن جون شيون جيئن ته ويسٽ ليڪ انسٽرومينٽ حاصل ڪري چڪا آهن رسمي آرڊر شپمينٽ؛ يونيورسل انٽيليجنس، چائنا اليڪٽرانڪس ٽيڪنالاجي گروپ ڪارپوريشن 2، انسٽيٽيوٽ آف سيمڪنڊڪٽرز آف چائنيز اڪيڊمي آف سائنسز ۽ ٻين ڪمپنين پڻ سامان جي ترقي جاري ڪئي آهي.

 

3. ليزر اسٽريپنگ ٽيڪنالاجي جي ترقي ۽ مارڪيٽ جي تعارف جي تال لاءِ ڊرائيونگ فيڪٽرز

6 انچ سلکان ڪاربائڊ سبسٽراٽس جي قيمت ۾ گهٽتائي ليزر اسٽريپنگ ٽيڪنالاجي جي ترقي کي اڳتي وڌائي ٿي: في الحال، 6 انچ سلکان ڪاربائيڊ سبسٽراٽس جي قيمت 4,000 يوآن / پيس کان هيٺ ٿي وئي آهي، ڪجهه ٺاهيندڙن جي قيمت جي قيمت جي ويجهو. ليزر اسٽريپنگ جي عمل ۾ اعلي پيداوار جي شرح ۽ مضبوط منافعو آهي، جيڪو وڌائڻ لاء ليزر اسٽريپنگ ٽيڪنالاجي جي دخول جي شرح کي هلائي ٿو.

8-انچ سلکان ڪاربائيڊ ذيلي ذيلي ذيلي ذخيرو ليزر اسٽريپنگ ٽيڪنالاجي جي ترقي کي هلائي ٿو: 8-انچ سلکان ڪاربائڊ سبسٽريٽ جي ٿولهه هن وقت 500um آهي، ۽ 350um جي ٿولهه ڏانهن ترقي ڪري رهي آهي. تار ڪٽڻ وارو عمل 8 انچ سلکان ڪاربائيڊ پروسيسنگ ۾ اثرائتو نه آهي (سبسٽريٽ جي مٿاڇري سٺي ناهي)، ۽ BOW ۽ WARP قدر گهڻو خراب ٿي ويا آهن. ليزر اسٽريپنگ کي 350um سلکان ڪاربائيڊ سبسٽريٽ پروسيسنگ لاءِ ضروري پروسيسنگ ٽيڪنالاجي جي طور تي سمجهيو ويندو آهي، جيڪا ليزر اسٽريپنگ ٽيڪنالاجي جي دخول جي شرح کي وڌائي ٿي.

مارڪيٽ جون اميدون: سي سي سبسٽريٽ ليزر اسٽريپنگ سامان 8 انچ سي سي جي توسيع ۽ 6 انچ سي سي جي قيمت جي گھٽتائي مان فائدا. موجوده صنعت نازڪ نقطو اچي رهيو آهي، ۽ صنعت جي ترقي تمام تيز ٿي ويندي.