ڪيميائي بخار جي جمع(سي وي ڊي)سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ سڀ کان وڏي پيماني تي استعمال ٿيل ٽيڪنالاجي آهي مختلف قسم جي مواد کي جمع ڪرڻ لاءِ، بشمول موصلي مواد جي وسيع رينج، اڪثر ڌاتو مواد ۽ ڌاتو مصر جو مواد.
CVD هڪ روايتي پتلي فلم تيار ڪرڻ جي ٽيڪنالاجي آهي. ان جو اصول اهو آهي ته گيس جي اڳڪٿين کي استعمال ڪرڻ لاءِ اڳڀرائي ۾ ڪجهه اجزاء کي ائٽم ۽ ماليڪيولز جي وچ ۾ ڪيميائي رد عمل ذريعي ختم ڪيو وڃي، ۽ پوءِ ذيلي ذخيري تي هڪ پتلي فلم ٺاهيو وڃي. CVD جون بنيادي خاصيتون آهن: ڪيميائي تبديليون (ڪيميائي رد عمل يا حرارتي خراب ٿيڻ)؛ فلم ۾ سڀ مواد ٻاهرين ذريعن کان ايندا آهن؛ reactants گئس مرحلي جي صورت ۾ رد عمل ۾ حصو وٺڻ گهرجي.
گھٽ پريشر ڪيميائي وانپ جمع (LPCVD)، پلازما وڌايو ويو ڪيميائي وانپ جمع (PECVD) ۽ اعلي کثافت پلازما ڪيميائي وانپ جمع (HDP-CVD) ٽي عام سي وي ڊي ٽيڪنالاجيون آهن، جن ۾ مواد جي جمع، سامان جي گهرج، پروسيس جي حالتن، وغيره ۾ اهم فرق آهن. هيٺ ڏنل هڪ سادي وضاحت ۽ انهن ٽن ٽيڪنالاجي جو مقابلو آهي.
1. LPCVD (گهٽ پريشر CVD)
اصول: هڪ CVD عمل گهٽ دٻاء جي حالتن هيٺ. ان جو اصول اهو آهي ته رد عمل واري گيس کي رد عمل واري چيمبر ۾ ويڪيوم يا گهٽ پريشر واري ماحول ۾ داخل ڪيو وڃي، گيس کي تيز گرمي پد ذريعي خارج ڪري يا رد عمل ڪري، ۽ سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي جمع ٿيل هڪ مضبوط فلم ٺاهيو وڃي. جيئن ته گهٽ دٻاءُ گئس جي ٽڪراءَ ۽ انتشار کي گهٽائي ٿو، فلم جي هڪجهڙائي ۽ معيار کي بهتر بڻايو ويو آهي. LPCVD وڏي پيماني تي silicon ڊاء آڪسائيڊ (LTO TEOS)، silicon nitride (Si3N4)، polysilicon (POLY)، phosphosilicate گلاس (BSG)، borophosphosilicate گلاس (BPSG)، doped polysilicon، graphene، ڪاربان nanotubes ۽ ٻين فلمن ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي.
خاصيتون:
▪ عمل جي درجه حرارت: عام طور تي 500 ~ 900 ° C جي وچ ۾، پروسيس جي درجه حرارت نسبتا وڌيڪ آهي؛
▪ گيس پريشر جي حد: گھٽ پريشر وارو ماحول 0.1~10 Torr؛
▪ فلم جي معيار: اعلي معيار، سٺي هڪجهڙائي، سٺي کثافت، ۽ ڪجهه خرابيون؛
▪ جمع ڪرڻ جي شرح: سست جمع ڪرڻ جي شرح؛
▪ يونيفارم: وڏي سائيز جي ذيلي ذخيري لاء مناسب، يونيفارم جمع؛
فائدا ۽ نقصانات:
▪ تمام يونيفارم ۽ گھڻ فلمون جمع ڪري سگھن ٿا؛
▪ وڏي سائيز جي ذيلي ذخيري تي سٺو ڪم ڪري ٿو، وڏي پيداوار لاء مناسب؛
▪ گھٽ قيمت؛
▪ تيز درجه حرارت، گرمي حساس مواد لاء مناسب ناهي؛
▪ جمع ڪرڻ جي شرح سست آهي ۽ پيداوار نسبتا گهٽ آهي.
2. PECVD (پلازما وڌايل CVD)
اصول: گهٽ درجه حرارت تي گئس مرحلن جي رد عمل کي چالو ڪرڻ لاءِ پلازما استعمال ڪريو، رد عمل واري گيس ۾ ماليڪيولز کي آئنائيز ۽ ڊمپوز ڪريو، ۽ پوءِ ٿلهي فلمن کي ذيلي سطح تي جمع ڪريو. پلازما جي توانائي رد عمل لاءِ گھربل گرمي پد کي تمام گھٽ گھٽائي سگھي ٿي، ۽ ان ۾ ايپليڪيشنن جو وسيع سلسلو آھي. مختلف ڌاتو فلمون، غير نامياتي فلمون ۽ نامياتي فلمون تيار ڪري سگھجن ٿيون.
خاصيتون:
▪ عمل جي درجه حرارت: عام طور تي 200 ~ 400 ° C جي وچ ۾، گرمي پد نسبتا گهٽ آهي؛
▪ گيس پريشر جي حد: عام طور تي سوين mTorr کان ڪيترائي Torr؛
▪ فلم جي معيار: جيتوڻيڪ فلم جي هڪجهڙائي سٺي آهي، فلم جي کثافت ۽ معيار ايل پي سي وي ڊي جيتري سٺي نه آهي ڇاڪاڻ ته پلازما پاران متعارف ڪرايل خرابين جي ڪري؛
▪ جمع ڪرڻ جي شرح: اعلي شرح، اعلي پيداوار ڪارڪردگي؛
▪ هڪجهڙائي: LPCVD کان ٿورڙو گهٽ، وڏي سائيز جي ذيلي ذخيري تي؛
فائدا ۽ نقصانات:
▪ ٿلهي فلمن کي گهٽ درجه حرارت تي جمع ڪري سگهجي ٿو، گرمي حساس مواد لاء مناسب؛
▪ تيز جمع رفتار، موثر پيداوار لاء مناسب؛
▪ لچڪدار عمل، فلم جي ملڪيتن کي ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو پلازما پيٽرولن کي ترتيب ڏيڻ سان؛
▪ پلازما فلم جي خرابين کي متعارف ڪرائي سگھي ٿو جهڙوڪ پن هول يا غير يونيفارم؛
▪ LPCVD جي مقابلي ۾، فلم جي کثافت ۽ معيار ٿورو خراب آهي.
3. HDP-CVD (High Density Plasma CVD)
اصول: هڪ خاص PECVD ٽيڪنالاجي. HDP-CVD (پڻ ICP-CVD طور سڃاتو وڃي ٿو) روايتي PECVD سامان جي ڀيٽ ۾ وڌيڪ پلازما جي کثافت ۽ معيار پيدا ڪري سگھي ٿو گھٽ درجه حرارت تي. ان کان علاوه، HDP-CVD تقريبا آزاد آئن فلوڪس ۽ توانائي جو ڪنٽرول مهيا ڪري ٿو، فلم جي جمع ڪرڻ جي مطالبن لاء خندق يا سوراخ ڀرڻ جي صلاحيتن کي بهتر بڻائي ٿو، جهڙوڪ مخالف عکاس ڪوٽنگ، گهٽ ڊائلٽرڪ مسلسل مواد جمع ڪرڻ، وغيره.
خاصيتون:
▪ عمل جي گرمي پد: ڪمري جي گرمي پد 300 ℃، عمل جي درجه حرارت تمام گهٽ آهي؛
▪ گيس پريشر جي حد: 1 ۽ 100 mTorr جي وچ ۾، PECVD کان گھٽ؛
▪ فلم جي معيار: اعلي پلازما کثافت، اعلي فلم جي معيار، سٺي يونيفارم؛
▪ جمع ڪرڻ جي شرح: جمع ڪرڻ جي شرح LPCVD ۽ PECVD جي وچ ۾ آهي، LPCVD کان ٿورو وڌيڪ؛
▪ هڪجهڙائي: اعلي کثافت پلازما جي ڪري، فلم جي هڪجهڙائي شاندار آهي، پيچيده شڪل واري سبسٽريٽ سطحن لاء مناسب؛
فائدا ۽ نقصانات:
▪ گھٽ درجه حرارت تي اعلي معيار جي فلمن کي جمع ڪرڻ جي قابل، گرمي-حساس مواد لاء بلڪل مناسب؛
▪ بهترين فلم يونيفارم، کثافت ۽ سطح جي نرمي؛
▪ اعلي پلازما کثافت جمع ڪرڻ جي يونيفارميت ۽ فلم جي ملڪيت کي بهتر بڻائي ٿو؛
▪ پيچيده سامان ۽ اعلي قيمت؛
▪ جمع ڪرڻ جي رفتار سست آهي، ۽ اعلي پلازما توانائي نقصان جي هڪ ننڍڙي رقم متعارف ڪرائي سگهي ٿي.
ڀلي ڪري آيا ڪنهن به گراهڪ سڄي دنيا کان وڌيڪ بحث لاء اسان جو دورو ڪرڻ لاء!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
پوسٽ ٽائيم: ڊسمبر-03-2024