سلڪون وافر ڪيئن ٺاهيو
A ويفرسلڪون جو هڪ ٽڪرو لڳ ڀڳ 1 ملي ميٽر ٿلهو آهي جنهن جي هڪ انتهائي لوڻ واري مٿاڇري آهي جنهن جي طريقيڪار جي مهرباني جيڪا ٽيڪنالاجي طور تمام گهڻي گهرج آهي. بعد ۾ استعمال اهو طئي ڪري ٿو ته ڪرسٽل جي وڌندڙ طريقيڪار کي ملازمت ڪرڻ گهرجي. Czochralski جي عمل ۾، مثال طور، پولي ڪرسٽل سلڪون ڳريو ويندو آهي ۽ هڪ پينسل-ٿلهي ٻج جي ڪرسٽل کي پگھليل سلکان ۾ ٻوڙيو ويندو آهي. ٻج جي ڪرسٽل کي پوءِ گھمايو ويندو آهي ۽ آهستي آهستي مٿي کڄي ويندو آهي. هڪ تمام ڳرو ڪولوسس، هڪ monocrystal، نتيجو. اهو ممڪن آهي ته monocrystal جي برقي خاصيتن کي چونڊڻ لاء اعلي-پاڪ ڊوپينٽس جي ننڍن يونٽن کي شامل ڪندي. ڪرسٽل گراهڪ جي وضاحتن جي مطابق ڊاپ ڪيا ويا آهن ۽ پوء پالش ۽ سلائسن ۾ ڪٽي ويندا آهن. مختلف اضافي پيداواري مرحلن کان پوءِ، گراهڪ کي خاص پيڪنگنگ ۾ ان جي مخصوص ويفر ملي ٿي، جيڪا صارف کي اجازت ڏئي ٿي ته فوري طور تي ان جي پيداوار واري لائن ۾ ويفر استعمال ڪري.
CZOCHRALSKI پروسيس
اڄڪلهه، سلڪون مونوڪرسٽلز جو هڪ وڏو حصو Czochralski جي عمل جي مطابق پوکيو ويو آهي، جنهن ۾ هڪ هائپرپيور کوارٽز ڪرسيبل ۾ پولي ڪرسٽلائن اعلي-پاڪيشن واري سلکان کي پگھلائڻ ۽ ڊوپنٽ شامل ڪرڻ شامل آهي (عام طور تي B, P, As, Sb). هڪ پتلي، monocrystalline ٻج جي ڪرسٽل کي پگھريل سلڪون ۾ ٻوڙيو ويندو آهي. پوءِ ان پتلي ڪرسٽل مان هڪ وڏو CZ ڪرسٽل پيدا ٿئي ٿو. پگھليل سلکان جي گرمي پد ۽ وهڪري جو صحيح ضابطو، ڪرسٽل ۽ ڪرسيبل گھمڻ، ۽ گڏوگڏ ڪرسٽل ڇڪڻ جي رفتار جي نتيجي ۾ هڪ انتهائي اعلي معيار جي مونوڪريسٽل لائن سلکان انگوٽ ۾.
فلوٽ زون جو طريقو
فلوٽ زون جي طريقي جي مطابق ٺاهيل Monocrystals پاور سيمي ڪنڊڪٽر اجزاء، جهڙوڪ IGBTs ۾ استعمال لاء مثالي آهن. هڪ سلنڊرل پولي ڪرسٽل لائن سلکان انگوٽ هڪ انڊڪشن ڪوئل تي نصب ٿيل آهي. هڪ ريڊيو فريڪوئنسي برقي مقناطيسي فيلڊ مدد ڪري ٿي سلڪون کي پگھلڻ ۾ رڊ جي هيٺين حصي مان. برقياتي مقناطيسي فيلڊ سلکان جي وهڪري کي انڊڪشن ڪوئل ۾ هڪ نن hole سوراخ ذريعي ۽ مونوڪريسٽل تي منظم ڪري ٿو جيڪو هيٺ آهي (فلوٽ زون جو طريقو). ڊوپنگ، عام طور تي B يا P سان، گيس واري مواد کي شامل ڪندي حاصل ڪيو ويندو آهي.
پوسٽ ٽائيم: جون-07-2021