ان جي دريافت کان وٺي، silicon carbide وڏي پيماني تي ڌيان ڇڪايو آهي. سلڪون ڪاربائڊ اڌ سي ايٽمس ۽ اڌ سي ايٽمس تي مشتمل آهي، جيڪي اليڪٽران جوئر شيئرنگ sp3 هائبرڊ مدار ذريعي covalent بانڊن سان ڳنڍيل آهن. ان جي سنگل ڪرسٽل جي بنيادي ڍانچي واري يونٽ ۾، چار سي ايٽم هڪ باقاعده ٽيٽراهڊرل ڍانچي ۾ ترتيب ڏنل آهن، ۽ سي ايٽم باقاعده ٽيٽراهڊرن جي مرڪز تي واقع آهي. ان جي ابتڙ، Si ائٽم کي پڻ tetrahedron جو مرڪز سمجھي سگھجي ٿو، اھڙي طرح SiC4 يا CSi4 ٺھي ٿو. Tetrahedral جوڙجڪ. SiC ۾ covalent بانڊ انتهائي ionic آهي، ۽ silicon-carbon bond energy تمام گهڻي آهي، اٽڪل 4.47eV. گھٽ اسٽيڪنگ فالٽ توانائي جي ڪري، سلکان ڪاربائيڊ ڪرسٽل آساني سان ترقي جي عمل دوران مختلف پوليٽائپس ٺاهيندا آهن. اتي 200 کان وڌيڪ ڄاڻايل پولي ٽائپس آھن، جن کي ٽن وڏن ڀاڱن ۾ ورهائي سگھجي ٿو: ڪعبي، مسدس ۽ ٽڪنڊي.
هن وقت، سي سي ڪرسٽل جي مکيه ترقي جي طريقن ۾ شامل آهن فزيڪل وانپر ٽرانسپورٽ جو طريقو (PVT طريقو)، تيز درجه حرارت ڪيميائي وانپ جمع ڪرڻ (HTCVD طريقو)، مائع مرحلو طريقو، وغيره. وڏي پيداوار. جي
نام نهاد PVT طريقو صليب جي چوٽي تي SiC سيڊ ڪرسٽل رکڻ، ۽ سي سي پاؤڊر کي خام مال جي طور تي صليب جي تري ۾ رکڻ جي حوالي ڪري ٿو. تيز گرمي پد ۽ گهٽ دٻاءُ جي بند ماحول ۾، سي سي پاؤڊر تيز ٿي وڃي ٿو ۽ گرمي پد جي درجه بندي ۽ ڪنسنٽريشن فرق جي عمل هيٺ مٿي چڙهي ٿو. ان کي ٻج جي ڪرسٽل جي ڀرپاسي ۾ منتقل ڪرڻ جو هڪ طريقو ۽ پوء ان کي ٻيهر بحال ڪرڻ کان پوء هڪ سپر سيرت ٿيل حالت تي پهچڻ کان پوء. اهو طريقو سي سي ڪرسٽل سائيز ۽ مخصوص ڪرسٽل فارم جي ڪنٽرول قابل ترقي حاصل ڪري سگهي ٿو. جي
جڏهن ته، سي سي ڪرسٽل کي وڌائڻ لاءِ PVT طريقو استعمال ڪرڻ لاءِ هميشه ڊگھي مدي واري ترقي جي عمل دوران مناسب واڌ جي حالتن کي برقرار رکڻ جي ضرورت آهي، ٻي صورت ۾ اهو لٽيس خرابي جو سبب بڻجندو، اهڙي طرح ڪرسٽل جي معيار کي متاثر ڪندي. بهرحال، سي سي ڪرسٽل جي واڌ کي بند ٿيل جاء تي مڪمل ڪيو ويندو آهي. ڪجھ موثر مانيٽرنگ جا طريقا ۽ ڪيترائي متغير آھن، تنھنڪري عمل جو ڪنٽرول مشڪل آھي.
PVT طريقي سان SiC ڪرسٽل کي وڌائڻ جي عمل ۾، اسٽيپ فلو گروٿ موڊ (Step Flow Growth) کي هڪ واحد ڪرسٽل فارم جي مستحڪم واڌ لاءِ مکيه ميکانيزم سمجهيو ويندو آهي.
بخار ٿيل سي ايٽمس ۽ سي ايٽمس ترجيحي طور تي ڪرسٽل سطح جي ايٽمس سان ڪنڪ پوائنٽ تي بانڊ ڪندا، جتي اهي نيوڪليٽ ٿيندا ۽ وڌندا، جنهن جي ڪري هر قدم اڳتي وڌڻ لاء متوازي طور تي وهندو. جڏهن ڪرسٽل جي مٿاڇري تي قدم جي ويڪر ايڊٽمس جي ڊفيوشن فري واٽ کان تمام گهڻي وڌي وڃي ٿي، ته ايڊيٽمز جو هڪ وڏو تعداد گڏ ٿي سگهي ٿو، ۽ ٻه طرفي ٻيٽ جهڙو ترقي وارو موڊ ٺهي ٿو، جنهن جي نتيجي ۾ 4H جي ضايع ٿيڻ جي نتيجي ۾ قدم جي وهڪري جي واڌ جي موڊ کي تباهه ڪري ڇڏيندو. کرسٽل ڍانچي جي ڄاڻ، نتيجي ۾ گھڻن خرابين جي نتيجي ۾. تنهن ڪري، پروسيس جي پيٽرولن جي ترتيب کي سطح جي قدم جي جوڙجڪ جي ڪنٽرول حاصل ڪرڻ گهرجي، اهڙي طرح پوليمورفڪ خرابين جي نسل کي دٻائڻ، هڪ واحد ڪرسٽل فارم حاصل ڪرڻ جو مقصد حاصل ڪرڻ، ۽ آخرڪار اعلي معيار جي ڪرسٽل تيار ڪرڻ.
جيئن ته ابتدائي ترقي يافته SiC ڪرسٽل جي ترقي جو طريقو، جسماني بخار جي نقل و حمل جو طريقو هن وقت SiC ڪرسٽل کي وڌائڻ لاء سڀ کان وڏو مکيه طريقو آهي. ٻين طريقن جي مقابلي ۾، هن طريقي ۾ ترقي جي سامان لاء گهٽ گهربل آهن، هڪ سادي ترقي وارو عمل، مضبوط ڪنٽرول قابليت، نسبتا مڪمل ترقياتي تحقيق، ۽ اڳ ۾ ئي صنعتي ايپليڪيشن حاصل ڪري چڪو آهي. HTCVD طريقي جو فائدو اهو آهي ته اهو conductive (n, p) ۽ اعلي-پاڪ نيم-انسوليٽنگ ويفرز کي وڌائي سگھي ٿو، ۽ ڊاپنگ ڪنسنٽريشن کي ڪنٽرول ڪري سگھي ٿو ته جيئن ويفر ۾ ڪيريئر ڪنسنٽريشن 3 × 1013 ~ 5 × 1019 جي وچ ۾ ترتيب ڏئي سگهجي. /cm3. نقصان اعلي ٽيڪنيڪل حد ۽ گهٽ مارڪيٽ شيئر آهن. جيئن ته مائع-مرحلي سي سي ڪرسٽل ترقي جي ٽيڪنالاجي پختگي جاري رکي ٿي، اهو مستقبل ۾ پوري سي سي صنعت کي اڳتي وڌائڻ ۾ وڏي صلاحيت ڏيکاريندو ۽ سي سي ڪرسٽل جي ترقي ۾ هڪ نئين پيش رفت واري نقطي جو امڪان آهي.
پوسٽ جو وقت: اپريل-16-2024