وانپ فيز ايپيٽيڪسي (VPE) جي عمل دوران، پيادل جو ڪردار سبسٽرٽ کي سپورٽ ڪرڻ ۽ ترقي جي عمل دوران يونيفارم گرمي کي يقيني بڻائڻ آهي. پيادل جا مختلف قسم مختلف ترقي جي حالتن ۽ مادي نظام لاء مناسب آهن. هيٺيان ڪجھ عام طور تي استعمال ٿيل پيادل قسم جا وانپ مرحلن ۾ آھنepitaxy:
بيرل پيادل
بيرل پيادل عام طور تي افقي يا ٽائل ٿيل وانپ مرحلو ايپيٽيڪسي سسٽم ۾ استعمال ٿيندا آهن. اهي ذيلي ذخيري کي پڪڙي سگهن ٿا ۽ گئس کي ذيلي ذخيري تي وهڻ جي اجازت ڏين ٿا، جيڪا يونيفارم ايپيٽيڪسيل ترقي حاصل ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿي.
ڊسڪ جي شڪل وارو پيادل (عمودي پيادل)
ڊسڪ جي شڪل وارا پيادل عمودي وانپ فيز ايپيٽڪسي سسٽم لاءِ موزون آهن، جن ۾ سبسٽرٽ عمودي طور تي رکيل آهي. هي ڊزائين سبسٽٽ ۽ سسپيٽر جي وچ ۾ رابطي واري علائقي کي گھٽائڻ ۾ مدد ڪري ٿي، ان ڪري گرمي جي نقصان ۽ امڪاني آلودگي کي گھٽائي ٿي.
افقي susceptor
افقي susceptors وانپ مرحلو ايپيٽڪسي ۾ گهٽ عام آهن، پر ڪجهه مخصوص ترقي واري نظام ۾ استعمال ڪري سگهجن ٿيون ته جيئن افقي طرف ۾ ايپيٽيڪسيل واڌ جي اجازت ڏين.
Monolithic epitaxial ردعمل susceptor
monolithic epitaxial ردعمل susceptor هڪ واحد substrate لاء ٺهيل آهي، جيڪو وڌيڪ صحيح درجه حرارت ڪنٽرول ۽ بهتر حرارتي اڪيلائي مهيا ڪري سگهي ٿو، اعلي معيار جي ايپيٽيڪسيل تہن جي ترقي لاء مناسب.
پراڊڪٽ جي معلومات ۽ صلاح مشوري لاءِ اسان جي ويب سائيٽ تي ڀليڪار.
اسان جي ويب سائيٽ: https://www.vet-china.com/
پوسٽ جو وقت: جولاء-30-2024