سيمي ڪنڊڪٽر فيلڊ ۾ سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس جي درخواست

photolithography مشين جي سڌائي حصن لاء ترجيح مواد

سيمي ڪنڊڪٽر جي ميدان ۾،silicon carbide ceramicمواد خاص طور تي انٽيگريٽيڊ سرڪٽ جي پيداوار لاءِ اهم سامان ۾ استعمال ٿيندا آهن، جهڙوڪ سلکان ڪاربائيڊ ورڪ ٽيبل، گائيڊ ريل،عڪاسي ڪندڙ, سيرامڪ سکشن چيڪلٿوگرافي مشينن لاءِ هٿيار، گرائنڊنگ ڊسڪ، فڪسچر وغيره.

Silicon carbide ceramic حصنسيمي ڪنڊڪٽر ۽ بصري سامان لاء

● Silicon carbide ceramic پيسڻ ڊسڪ. جيڪڏهن گرائنڊنگ ڊسڪ ڪاسٽ آئرن يا ڪاربان اسٽيل مان ٺهيل آهي، ته ان جي سروس جي زندگي مختصر آهي ۽ ان جي حرارتي توسيع جي کوٽائي وڏي آهي. سلکان ويفر جي پروسيسنگ دوران، خاص طور تي تيز رفتار پيسڻ يا پالش ڪرڻ دوران، گرائننگ ڊسڪ جي لباس ۽ حرارتي خرابي کي سلکان ويفر جي برابري ۽ برابري کي يقيني بڻائڻ ڏکيو بڻائي ٿو. سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس مان ٺهيل پيسڻ واري ڊسڪ ۾ تمام گهڻي سختي ۽ گهٽ لباس آهي، ۽ حرارتي توسيع جي گنجائش بنيادي طور تي سلکان ويفرز جي برابر آهي، تنهنڪري ان کي تيز رفتار سان گرائونڊ ۽ پالش ڪري سگهجي ٿو.
● Silicon carbide ceramic ٺيڪي. ان کان علاوه، جڏهن سلڪون ويفرز پيدا ڪيا ويا آهن، انهن کي تيز گرمي جي گرمي علاج جي ضرورت آهي ۽ اڪثر ڪري سلکان ڪاربائيڊ فيڪٽرز استعمال ڪندي منتقل ڪيو ويندو آهي. اهي گرمي مزاحمتي ۽ غير تباهي وارا آهن. هيرن جهڙو ڪاربن (DLC) ۽ ٻيون ڪوٽنگون مٿاڇري تي لاڳو ڪري سگھجن ٿيون ڪارڪردگي کي وڌائڻ، ويفر جي نقصان کي گھٽائڻ، ۽ آلودگي کي پکڙجڻ کان روڪڻ لاءِ.
● Silicon carbide worktable. مثال طور ليٿوگرافي مشين ۾ ورڪ ٽيبل کي کڻڻ، ڪم جي ٽيبل بنيادي طور تي نمائش واري حرڪت کي مڪمل ڪرڻ جي ذميوار آهي، تيز رفتار، وڏي اسٽروڪ، ڇهين درجي جي آزادي جي نانو سطح جي الٽرا-پريزيئن حرڪت جي ضرورت آهي. مثال طور، ليٿوگرافي مشين لاءِ 100nm جي ريزوليوشن سان، 33nm جي اوورلي جي درستگي، ۽ 10nm جي چوٽي جي چوٽي، 10nm تائين پهچڻ لاءِ ڪم جي ٽيبل جي پوزيشن جي درستگي جي ضرورت آهي، ماسڪ-سلڪون ويفر هڪ ئي وقت ۾ قدم کڻڻ ۽ اسڪيننگ جي رفتار 150nm/ ۽ 120nm/s ترتيبوار، ۽ ماسڪ اسڪيننگ جي رفتار 500nm / s جي ويجهو آهي، ۽ ڪم جي ٽيبل کي تمام تيز رفتار جي درستگي ۽ استحڪام جي ضرورت آهي.

ڪم واري ٽيبل ۽ مائڪرو موشن ٽيبل جو اسڪيميٽڪ ڊراگرام (جزوي سيڪشن)

● Silicon carbide ceramic چورس آئيني. اهم انٽيگريٽيڊ سرڪٽ جي سامان ۾ اهم اجزاء جهڙوڪ ليٿوگرافي مشينن ۾ پيچيده شڪلون، پيچيده طول و عرض، ۽ گهٽيل هلڪي وزن واريون ساختون هونديون آهن، اهڙين سلکان ڪاربائيڊ سيرامڪ اجزاء کي تيار ڪرڻ ڏکيو آهي. في الحال، مکيه وهڪرو بين الاقوامي مربوط سرڪٽ سامان ٺاهيندڙن، جهڙوڪ هالينڊ ۾ ASML، NIKON ۽ جاپان ۾ CANON، وڏي مقدار ۾ مواد استعمال ڪندا آهن جهڙوڪ مائڪرو ڪرسٽل شيشي ۽ ڪنڊرائٽ چورس آئيني تيار ڪرڻ لاءِ، ليٿوگرافي مشينن جا بنيادي حصا، ۽ سلکان ڪاربائڊ استعمال ڪندا آهن. سيرامڪس ٻين اعلي ڪارڪردگي واري ساخت جي اجزاء کي سادي شڪلن سان تيار ڪرڻ لاء. بهرحال، چائنا بلڊنگ مواد ريسرچ انسٽيٽيوٽ جي ماهرن وڏي سائيز، پيچيده شڪل، انتهائي هلڪو وزن، مڪمل طور تي بند ٿيل سلکان ڪاربائڊ سيرامڪ چورس آئيني ۽ ٻين ساختماني ۽ فنڪشنل آپٽيڪل اجزاء جي تياري حاصل ڪرڻ لاءِ ملڪيت جي تياري واري ٽيڪنالاجي استعمال ڪئي آهي لٿوگرافي مشينن لاءِ.