Kuki kuruhande rwunamye mugihe cyo kumisha?

Kudahuza ibisasu bya ion

Kumakuriramubisanzwe ni inzira ihuza ingaruka zumubiri nubumara, aho ion bombardment nuburyo bwingenzi bwo gutobora umubiri. Mu gihe cyainzira, impanuka yibyabaye no gukwirakwiza ingufu za ion birashobora kuba bitaringaniye.

Niba inguni ya ion itandukanye kumyanya itandukanye kumuhanda, ingaruka zo guterwa na ion kumuhanda nazo zizaba zitandukanye. Mu bice bifite inguni nini yibyabaye, ingaruka zo guterwa na ion kumuhanda zirakomeye, ibyo bigatuma umuhanda wo muri kariya gace uhinduka cyane, bigatuma umuhanda wunama. Byongeye kandi, gukwirakwiza kutaringaniza ingufu za ion nabyo bizatanga ingaruka zisa. Ions ifite ingufu nyinshi zirashobora gukuraho ibikoresho neza, bikavamo kudahuzakuriradogere z'umuhanda ku myanya itandukanye, nayo igatera umuhanda kuruhande.

Ingaruka yumufotozi

Photoresist afite uruhare rwa mask mugukama kwumye, kurinda uduce tudakeneye gushirwa. Nyamara, uwifotora kandi yibasiwe na plasma bombe na reaction ya chimique mugihe cyo gutera, kandi imikorere yayo irashobora guhinduka.

Niba umubyimba wifotozi utaringaniye, igipimo cyo gukoresha mugihe cyo guterana ntigihuye, cyangwa gufatana hagati yifotozi na substrate bitandukanye ahantu hatandukanye, birashobora gutuma habaho kurinda kuringaniza kuruhande mugihe cyo guterana. Kurugero, uduce dufite amafoto yoroheje cyangwa gufatana intege nke birashobora gutuma ibikoresho byihishe byoroshye, bigatuma umuhanda wunama uhagarara aha hantu.

Itandukaniro muri substrate yibintu

Ibikoresho bya substrate ubwabyo birashobora kugira ibintu bitandukanye, nkicyerekezo gitandukanye cya kirisiti hamwe na doping yibanze mu turere dutandukanye. Itandukaniro rizagira ingaruka ku gipimo cyo guterana no guhitamo.
Kurugero, muri silicon kristaline, gahunda ya atome ya silicon mubyerekezo bitandukanye bya kristu iratandukanye, kandi reaction yabyo nigipimo cyayo hamwe na gaze ya gaz nayo izaba itandukanye. Mugihe cyo guswera, ibipimo bitandukanye byo guterwa biterwa no gutandukanya ibintu bifatika bizatuma ubujyakuzimu bwimbitse bwinzira nyabagendwa ahantu hatandukanye bidahuye, amaherezo biganisha ku kunama kuruhande.

Ibintu bijyanye nibikoresho

Imikorere n'imiterere y'ibikoresho byo guteramo nabyo bigira ingaruka zikomeye kubisubizo byo gutereta. Kurugero, ibibazo nkikwirakwizwa rya plasma itaringaniye mubyumba byabigenewe ndetse no kwambara kwa electrode itaringaniye bishobora kuganisha ku gukwirakwiza kuringaniza ibipimo nkubucucike bwa ion ningufu hejuru ya wafer mugihe cyo kuroba.

Byongeye kandi, kugenzura ubushyuhe butaringaniye bwibikoresho hamwe nihindagurika rito ryimyuka ya gazi birashobora no kugira ingaruka kumyanya yo guterana, biganisha ku kayira kegereye umuhanda.