Ubushyuhe bwa Oxideya ya Crystal Silicon imwe

Ihinduka rya dioxyde ya silicon hejuru ya silicon yitwa okiside, kandi kurema dioxyde ya silicon ihamye kandi yubahiriza cyane byatumye havuka tekinoroji ya tekinoroji ya silicon. Nubwo hariho inzira nyinshi zo gukura dioxyde ya silicon hejuru yubuso bwa silikoni, mubisanzwe bikorwa na okiside yumuriro, aribyo kwerekana silikoni mubushyuhe bwo hejuru bwa okiside (ogisijeni, amazi). Uburyo bwa okiside yubushyuhe burashobora kugenzura uburebure bwa firime hamwe na silicon / silicon dioxyde yimbere mugihe cyo gutegura firime ya dioxyde de silicon. Ubundi buhanga bwo gukura dioxyde ya silicon ni plasma anodisation na anodisation itose, ariko ntanubwo buryo bwakoreshejwe cyane mubikorwa bya VLSI.

Silicon yerekana impengamiro yo gukora dioxyde de silicon ihamye. Niba silikoni ishya neza ihuye nibidukikije bya okiside (nka ogisijeni, amazi), bizakora urwego ruto cyane (<20Å) ndetse no mubushyuhe bwicyumba. Iyo silicon ihuye na okiside yubushyuhe bwo hejuru, ubushyuhe bwa oxyde nini buzabyara umuvuduko mwinshi. Uburyo bwibanze bwo gukora dioxyde de silicon biva muri silicon birasobanutse neza. Deal na Grove bakoze imibare yerekana imibare isobanura neza imbaraga zo gukura kwa firime ya oxyde ifite uburebure burenga 300Å. Basabye ko okiside ikorwa mu buryo bukurikira, ni ukuvuga ko okiside (molekile y’amazi na molekile ya ogisijeni) ikwirakwizwa binyuze mu gice gisanzwe cya oxyde kugera kuri interineti ya Si / SiO2, aho okiside ikora na silikoni ikora dioxyde ya silicon. Igisubizo nyamukuru cyo gukora dioxyde ya silicon isobanurwa gutya:

Imyuka ya okiside iboneka kuri interineti ya Si / SiO2, iyo rero oxyde ya oxyde ikuze, silikoni ikomeza gukoreshwa kandi intera igenda yinjira muri silicon. Ukurikije ubucucike hamwe nuburemere bwa molekuline ya silicon na dioxyde ya silicon, urashobora gusanga silikoni yakoreshejwe kubwubunini bwurwego rwa nyuma rwa oxyde ni 44%. Muri ubu buryo, niba igice cya oxyde gikura 10,000Å, 4400Å ya silicon izakoreshwa. Iyi sano ni ngombwa kubara uburebure bwintambwe zakozwe kurisilicon wafer. Intambwe nigisubizo cyibipimo bitandukanye bya okiside ahantu hatandukanye hejuru ya silicon wafer.

Dutanga kandi ibicuruzwa byiza bya grafite na silicon karbide, bikoreshwa cyane mugutunganya wafer nka okiside, gukwirakwiza, hamwe na annealing.

Ikaze abakiriya bose baturutse impande zose zisi kugirango badusure kugirango tuganire kubindi biganiro!

https://www.vet-china.com/