Покрытие из карбида кремния,широко известное как покрытие SiC, относится к процессу нанесения слоя карбида кремния на поверхности с помощью таких методов, как химическое осаждение из паровой фазы (CVD), физическое осаждение из паровой фазы (PVD) или термическое напыление. Это керамическое покрытие из карбида кремния улучшает свойства поверхности различных подложек, придавая исключительную износостойкость, термическую стабильность и защиту от коррозии. Карбид кремния известен своими выдающимися физическими и химическими свойствами, включая высокую температуру плавления (около 2700 ℃), чрезвычайную твердость (9 баллов по шкале Мооса), отличную стойкость к коррозии и окислению, а также исключительные характеристики абляции.
Ключевые преимущества покрытия из карбида кремния в промышленном применении
Благодаря этим особенностям покрытие из карбида кремния широко используется в таких областях, как аэрокосмическая промышленность, оружейное оборудование и обработка полупроводников. В экстремальных условиях, особенно в диапазоне 1800–2000 ℃, покрытие SiC демонстрирует замечательную термическую стабильность и стойкость к абляции, что делает его идеальным для применения при высоких температурах. Однако карбиду кремния самому по себе не хватает структурной целостности, необходимой для многих применений, поэтому методы нанесения покрытия используются для использования его уникальных свойств без ущерба для прочности компонентов. В производстве полупроводников элементы с покрытием из карбида кремния обеспечивают надежную защиту и стабильность работы оборудования, используемого в процессах MOCVD.
Общие методы подготовки покрытия из карбида кремния
Ⅰ● Покрытие из карбида кремния методом химического осаждения из паровой фазы (CVD).
В этом методе покрытия SiC формируются путем помещения подложек в реакционную камеру, где в качестве прекурсора выступает метилтрихлорсилан (МТС). В контролируемых условиях — обычно при температуре 950–1300°C и отрицательном давлении — МТС подвергается разложению, и на поверхность осаждается карбид кремния. Этот процесс нанесения покрытия CVD SiC обеспечивает плотное, однородное покрытие с превосходной адгезией, идеально подходящее для высокоточного применения в полупроводниковой и аэрокосмической отраслях.
Ⅱ● Метод конверсии прекурсоров (полимерная пропитка и пиролиз – PIP).
Еще одним эффективным подходом к нанесению покрытия распылением карбида кремния является метод преобразования прекурсора, который включает погружение предварительно обработанного образца в раствор керамического предшественника. После вакуумирования резервуара для пропитки и давления на покрытие образец нагревается, что приводит к образованию покрытия из карбида кремния при охлаждении. Этот метод предпочтителен для компонентов, требующих равномерной толщины покрытия и повышенной износостойкости.
Физические свойства покрытия из карбида кремния
Покрытия из карбида кремния обладают свойствами, которые делают их идеальными для требовательного промышленного применения. Эти свойства включают в себя:
Теплопроводность: 120-270 Вт/м·К
Коэффициент теплового расширения: 4,3 × 10^(-6)/К (при 20~800℃)
Электрическое сопротивление: 10 ^5– 10^6Ом·см
Твердость: по шкале Мооса 9.
Применение покрытия из карбида кремния
В производстве полупроводников покрытие из карбида кремния для MOCVD и других высокотемпературных процессов защищает критически важное оборудование, такое как реакторы и токоприемники, обеспечивая как устойчивость к высоким температурам, так и стабильность. В аэрокосмической и оборонной промышленности керамические покрытия из карбида кремния наносятся на компоненты, которые должны выдерживать высокоскоростные удары и агрессивные среды. Кроме того, краска или покрытия из карбида кремния также могут использоваться на медицинских устройствах, которым требуется долговечность при процедурах стерилизации.
Почему стоит выбрать покрытие из карбида кремния?
Доказавшие свою эффективность в продлении срока службы компонентов, покрытия из карбида кремния обеспечивают непревзойденную долговечность и температурную стабильность, что делает их экономически эффективными при длительном использовании. Выбирая поверхность с покрытием из карбида кремния, промышленность получает выгоду от снижения затрат на техническое обслуживание, повышения надежности оборудования и повышения эксплуатационной эффективности.
Почему выбирают VET ENERGY?
VET ENERGY является профессиональным производителем и заводом по производству покрытий из карбида кремния в Китае. Основные продукты с покрытием SiC включают нагреватель керамического покрытия из карбида кремния,CVD-покрытие из карбида кремния MOCVD-токоприемник, Графитовый носитель MOCVD с покрытием CVD SiC, Графитовые базовые держатели с покрытием SiC, Графитовая подложка с покрытием из карбида кремния для полупроводников,Покрытие SiC/графитовая подложка с покрытием/лоток для полупроводников, Пресс-форма для лодки из углеродно-углеродного композита CVD с покрытием CVD SiC. VET ENERGY стремится предоставлять передовые технологии и решения для полупроводниковой промышленности. Мы искренне надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Время публикации: 02 сентября 2023 г.