Карбид кремнияпредставляет собой твердое соединение, содержащее кремний и углерод, которое встречается в природе как чрезвычайно редкий минерал муассанит. Частицы карбида кремния можно скрепить вместе путем спекания с образованием очень твердой керамики, которая широко используется в приложениях, требующих высокой прочности, особенно в производстве полупроводников.
Физическая структура SiC
Что такое покрытие SiC?
Покрытие SiC представляет собой плотное, износостойкое покрытие из карбида кремния, обладающее высокой коррозионной и термостойкостью и отличной теплопроводностью. Это покрытие SiC высокой чистоты в основном используется в полупроводниковой и электронной промышленности для защиты подложек, оснований и нагревательных элементов от агрессивных и реактивных сред. Покрытие SiC также подходит для вакуумных печей и нагрева образцов в условиях высокого вакуума, реактивных и кислородных средах.
Поверхность покрытия SiC высокой чистоты
Что представляет собой процесс нанесения покрытия SiC?
На поверхность подложки наносится тонкий слой карбида кремния с помощьюCVD (химическое осаждение из паровой фазы). Осаждение обычно проводится при температурах 1200–1300°C, и поведение теплового расширения материала подложки должно быть совместимо с покрытием SiC, чтобы минимизировать термическое напряжение.
CVD-покрытие SIC ПЛЕНКА КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА
Физические свойства покрытия SiC в основном отражаются в его термостойкости, твердости, коррозионной стойкости и теплопроводности.
Типичные физические параметры обычно следующие:
Твердость: Покрытие SiC обычно имеет твердость по Виккерсу в диапазоне 2000-2500 HV, что придает им чрезвычайно высокую износостойкость и ударопрочность при промышленном применении.
Плотность: Покрытия SiC обычно имеют плотность 3,1-3,2 г/см³. Высокая плотность способствует механической прочности и долговечности покрытия.
Теплопроводность: Покрытия SiC обладают высокой теплопроводностью, обычно в диапазоне 120–200 Вт/мК (при 20°C). Это придает ему хорошую теплопроводность в условиях высоких температур и делает его особенно подходящим для оборудования термической обработки в полупроводниковой промышленности.
Температура плавления: карбид кремния имеет температуру плавления около 2730°C и обладает превосходной термической стабильностью при экстремальных температурах.
Коэффициент теплового расширения: Покрытия SiC имеют низкий линейный коэффициент теплового расширения (КТР), обычно в диапазоне 4,0–4,5 мкм/мК (при 25–1000 ℃). Это означает, что его размерная стабильность превосходна при больших перепадах температур.
Коррозионная стойкость: Покрытия SiC чрезвычайно устойчивы к коррозии в сильных кислотах, щелочах и окислительных средах, особенно при использовании сильных кислот (таких как HF или HCl), их коррозионная стойкость намного превосходит стойкость обычных металлических материалов.
Покрытия SiC можно наносить на следующие материалы:
Изостатический графит высокой чистоты (низкий КТР)
вольфрам
Молибден
Карбид кремния
Нитрид кремния
Углерод-углеродные композиты (CFC)
Изделия с покрытием SiC обычно используются в следующих областях:
Производство светодиодных чипов
Производство поликремния
Полупроводникрост кристаллов
Кремний иКарбид кремниевая эпитаксия
Термическая обработка и травление пластин
Почему стоит выбрать VET Energy?
VET Energy является ведущим производителем, новатором и лидером продуктов с покрытиями SiC в Китае. Основные продукты с покрытиями SiC включаютвафельный носитель с покрытием SiC, с покрытием SiCэпитаксиальный токоприемник, Графитовое кольцо с покрытием SiC, Детали полумесяца с покрытием SiC, Углеродный композит с покрытием SiC, Вафельные лодочки с карбидом кремния, Нагреватель с покрытием SiCи т. д. VET Energy стремится предоставлять полупроводниковой промышленности новейшие технологии и продуктовые решения, а также поддерживает услуги по индивидуальной настройке. Мы искренне надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Если у вас есть какие-либо вопросы или вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.
WhatsApp и Wechat: +86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Время публикации: 18 октября 2024 г.