КРЕМНИЕВАЯ ПЛАСТИНА
от Ситроника
Aвафляпредставляет собой кусочек кремния толщиной примерно 1 миллиметр, имеющий чрезвычайно плоскую поверхность благодаря очень сложным с технической точки зрения процедурам. Последующее использование определяет, какую процедуру выращивания кристаллов следует использовать. Например, в процессе Чохральского поликристаллический кремний плавится и затравочный кристалл толщиной с карандаш погружается в расплавленный кремний. Затем затравочный кристалл вращают и медленно тянут вверх. В результате получается очень тяжелая махина, монокристалл. Подобрать электрические характеристики монокристалла можно путем добавления небольших порций легирующих примесей высокой чистоты. Кристаллы легируются в соответствии с требованиями заказчика, затем полируются и нарезаются ломтиками. После различных дополнительных этапов производства заказчик получает указанные им пластины в специальной упаковке, что позволяет заказчику использоватьвафлясразу на своей производственной линии.
Сегодня большая часть монокристаллов кремния выращивается по методу Чохральского, который включает плавление поликристаллического кремния высокой чистоты в тигле из сверхчистого кварца и добавление легирующих примесей (обычно B, P, As, Sb). Тонкий монокристаллический затравочный кристалл погружают в расплавленный кремний. Затем из этого тонкого кристалла развивается большой кристалл CZ. Точное регулирование температуры и расхода расплавленного кремния, вращения кристалла и тигля, а также скорости вытягивания кристалла позволяет получить слиток монокристаллического кремния чрезвычайно высокого качества.
Время публикации: 03 июня 2021 г.